يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئاليۇمىن كېرامىكا ئۆلچەش ئەسۋابلىرى: 10 يىللىق تەڭداشسىز ئېنىقلىق مۇقىملىقى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە، بىر مىكرون يۇقىرى مەھسۇلات مىقدارى بىلەن قىممەت باھالىق مەغلۇبىيەتنىڭ پەرقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان بولغاچقا، ئۆلچەش ماتېرىيالىنى تاللاش ئىنتايىن مۇھىم. لىتوگرافىيە ۋە لېنتا تەكشۈرۈش فىزىكىنىڭ چېگرىسىنى كېڭەيتىۋاتقانلىقتىن، ئەنئەنىۋى مېتال ۋە ھەتتا يۇقىرى دەرىجىلىك گرانىتمۇ چېكىگە يەتمەكتە.

ئاليۇمىن كېرامىكا (Al2O3) يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئۈچۈن ئەڭ ئاخىرقى ھەل قىلىش چارىسى سۈپىتىدە ئوتتۇرىغا چىقتى. ئەنئەنىۋى ماتېرىياللاردىن 10 يىلدىن ئارتۇق ۋاقىت ساقلاشقا بولىدىغان ئېنىقلىق ساقلاش ۋاقتى بىلەن، كېرامىكا ئەمدى ھەشەمەتلىك بۇيۇم ئەمەس، بەلكى قۇرۇلما جەھەتتىكى زۆرۈرىيەتكە ئايلاندى.

نېمىشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەردە ئاليۇمىن كېرامىكا ئىشلىتىلىدۇ؟

قوللىنىشقا كىرىشتىن بۇرۇن، بۇ ماتېرىيالنىڭ ئۆزگىچە «ئۈچ خىل تەھدىت» ئالاھىدىلىكىنى چۈشىنىش كېرەك:

• ئىسسىقلىق مۇقىملىقى: ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتىنىڭ تۆۋەن بولۇشى (≈7 × 10^{-6}/K) يۇقىرى سۈرئەتلىك ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىسسىقلىق چىقىرىشىغا قارىماي ئۆلچەش نەتىجىسىنىڭ مۇقىم بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

• ماگنىتلىق ئەمەس ۋە ئۆتكۈزمەيدۇ: ۋاكۇئۇم مۇھىتى ۋە ماگنىتلىق ئارىلىشىش نۇرلارنى يۆتكىۋېتەلەيدىغان سەزگۈر ئېلېكترون نۇرى لىتوگرافىيەسى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.

• نۆل چىرىش: پولاتتىن پەرقلىق ھالدا، كېرامىكا خىمىيىلىك جەھەتتىن ئىنېرتلىق بولۇپ، پاكىز ئۆي تازىلاش قائىدىلىرى ۋە چىرىشچان گاز مۇھىتىغا ماس كېلىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىدىكى 5 مۇھىم قوللىنىشچانلىق

1. لىتوگرافىيە ماشىنىسى باسقۇچلىرى

زامانىۋى فوتولىتوگرافىيە نانومېتىر دەرىجىسىدىكى ئورۇن بەلگىلەشنى تەلەپ قىلىدۇ. كېرامىكا كۋادراتلار ۋە قۇرۇلما زاپچاسلىرى ۋافېر باسقۇچى ئۈچۈن «ئاساسلىق پايدىلىنىش ماتېرىيالى» بولۇپ خىزمەت قىلىدۇ. ئۇلارنىڭ يۇقىرى قاتتىقلىق-ئېغىرلىق نىسبىتى ئېغىر ماتېرىياللار بىلەن مۇناسىۋەتلىك تىترەش ياكى «چىڭىراق»سىز تېز سۈرئەتتە تېزلىنىشنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.

2. ۋافېر تەكشۈرۈش ۋە مېترولوگىيە

ۋافېر گېئومېتىرىيە سىستېمىسىدا، كېرامىكا ئاساسلىق كۋادراتلىرى سىكانىرلاش ئوقىنىڭ تىكلىكى ۋە تۈزلۈكىنى تەڭشەشكە ئىشلىتىلىدۇ. كېرامىكا ئون يىل ئىچىدە شەكلىنى ساقلاپ قالغاچقا، بۇ ماشىنىلار قايتا تەڭشەش دەۋرىيلىكىنى تېخىمۇ ئاز تەلەپ قىلىدۇ، بۇ زاۋۇتنىڭ ئىشلەش ۋاقتىنى ئەڭ چوڭ چەككە يەتكۈزىدۇ.

3. ۋاكۇئۇم كامېرالىرىنى ئېنىق يىغىش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچنى يىغىش كۆپىنچە مايلاش مىقدارى چەكلىك بولغان ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا ئېلىپ بېرىلىدۇ. كېرامىك ئۆلچەش ئەسۋابلىرى «قۇرۇق» ئېنىقلىق ئۆلچىمى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئۆلچەم ۋاكۇئۇمنى گاز چىقىرىپ قويمايدۇ ياكى بۇلغىمايدۇ، ئىچكى زاپچاسلارنىڭ مىكروندىن تۆۋەن چىدامچانلىققا ماسلىشىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

4. يۇقىرى چاستوتىلىق ئېلېكترونلۇق سىناق

يۇقىرى سۈرئەتلىك چىپ سىنىقىدا، ئۆلچەش قورالىدىن كېلىپ چىققان ھەر قانداق ماگنىتلىق ياكى ئۆتكۈزگۈچلۈك توسالغۇ نەتىجىلەرنى بۇرمىلىشى مۇمكىن. ئاليۇمىن كېرامىكىنىڭ ماگنىتسىز تەبىئىتى ئۇنى زوند كارتىسى ئۈسكۈنىلىرى ۋە تەڭشەش ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى ماتېرىيالغا ئايلاندۇرىدۇ.

5. پاكىز ئۆينى كالىبراتسىيەلەش ئۇستىلىرى

ISO 1-دەرىجىلىك تازىلىق ئۆيلىرىدە، دات چەكلەنگەن بۇلغىما ھېسابلىنىدۇ. پولات ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ئوكسىدلىنىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن ماي پەردىسىنى ئىشلىتىشنى تەلەپ قىلىدۇ، بۇ بولسا چوڭ بۇلغىنىش خەۋپى. كېرامىكا ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ماي تەلەپ قىلمايدۇ، ئۇلارنى ئىزوپروپىل ئىسپىرتى بىلەن تازىلاشقا بولىدۇ، بۇ ئارقىلىق 10 يىلدىن ئارتۇق ۋاقىت «نۆل زەررىچە» ھالىتىنى ساقلايدۇ.

«10 يىللىق ئەۋزەللىك»

مېتال ئۆلچەش ئەسۋابلىرى بىر قانچە يىل قاتتىق ئىشلىتىلگەندىن كېيىن بۇرمىلىنىپ ياكى ئۇپراپ كېتىشى مۇمكىن بولسىمۇ، يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىننىڭ مولېكۇلا قۇرۇلمىسى ئىنتايىن مۇقىم. كېرامىكا چاسا ياكى تۈز قىر سۈپىتىدە ئىشلىتىلگەندە، بۇ ماتېرىيالنىڭ قاتتىقلىقى (ياقۇتنىڭ قاتتىقلىقىغا يېقىنلىشىدۇ) مىكروسكوپ يۈزىنىڭ بۇزۇلۇشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ، بۇ ئادەتتە ۋاقىتنىڭ ئۆتۈشىگە ئەگىشىپ ئېنىقلىقنىڭ «يۈز بېرىشى»گە سەۋەب بولىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ OEM ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئۈچۈن، بۇ ئۇزۇن مۇددەتلىك ئاسراش چىقىمىنىڭ 10 ھەسسە تۆۋەنلىشى ۋە ماشىنىنىڭ ئۆمرىدىكى توغرىلىقىغا بولغان ئىشەنچنىڭ كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە يۇقىرىلىشىنى بىلدۈرىدۇ.