يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئىشلەپچىقىرىش دۇنياسىدا - چىدامچانلىقى 5 مىكروندىن تۆۋەنگە چۈشۈپ، يۈزەكى رەڭلەر ئوپتىكىلىق سۈپەتكە يېقىنلاشقاندا - بىز تايىنىدىغان قوراللار ئەنئەنىۋىيلىكتىن ھالقىپ تەرەققىي قىلىشى كېرەك. نەچچە ئون يىلدىن بۇيان پولات ۋە گرانىت مېترولوگىيە ساھەسىدە ئۈستۈنلۈكنى ئىگىلىدى. ئەمما يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى، ئاۋىئاتسىيە ئوپتىكىسى ۋە داۋالاش مىكرو ئۈسكۈنىلىرى قاتارلىق كەسىپلەر ئىسسىقلىق يۆتكىلىشى ياكى مىكروسكوپتىكى ئۇپراشنىڭ قوبۇل قىلىنمايدىغان خاتالىقلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان ساھەلەرگە قاراپ ئىلگىرىلىگەندە، يېڭى بىر خىل پايدىلىنىش قوراللىرى بارلىققا كېلىۋاتىدۇ: مېتال ياكى تاشتىن ئەمەس، بەلكى ئىلغار تېخنىكىلىق كېرامىكىلاردىن ياسالغان قوراللار.
ZHHIMG دا، بىز پەقەت تەمىنلەشتىن ھالقىپ كەتتۇقكېرامىكا تۈز سىزىقچىياكى كېرامىك چاسا سىزىقچى مەھسۇلاتلىرى. بىز تۈز قىرنىڭ نېمە ئىكەنلىكىنى قايتىدىن ئېنىقلىماقتىمىز — ئىنتايىن مۇقىم كېرامىك ماتېرىياللارنى ئەڭ ئىلغار لايىھە بىلەن بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق، بۇنىڭ ئىچىدە نانومېتىر دەرىجىسىدىكى تەكرارلىنىشنى تەمىنلەش بىلەن بىرگە، مېخانىكىلىق تېگىشنى پۈتۈنلەي يوقىتىدىغان يېڭىلىق يارىتىش كېرامىك ھاۋا لەيلىمە سىزىقچىمىزنىمۇ ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
نېمىشقا كېرامىكا؟ جاۋاب مولېكۇلا سەۋىيىسىدىن باشلىنىدۇ. تېمپېراتۇرا بىلەن زور دەرىجىدە كېڭىيىدىغان پولات ياكى مۇقىملىقىغا قارىماي، تۆشۈكلۈك ۋە كۆپ خىللىقنى ساقلايدىغان گرانىتتىن پەرقلىق ھالدا، زىركونىيە بىلەن چىداملىق ئاليۇمىن (ZTA) ۋە كرېمنىي نىترىد قاتارلىق قۇرۇلۇش كېرامىكىلىرى نۆلگە يېقىن تۆشۈكلۈك، ئالاھىدە قاتتىقلىق (1400–1800 HV) ۋە 3–4 µm/m·°C غىچە بولغان ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى بىلەن تەمىنلەيدۇ. بۇ دېگەنلىك، ZHHIMG نىڭ كېرامىكا تۈز قىرلىق گىرۋىكى ئادەتتىكى قوراللارنى بىر قانچە مىكرون بۇرمىلايدىغان تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىدە ئۆزىنىڭ گېئومېتىرىيەسىنى ساقلايدۇ.
لېكىن پەقەت ماتېرىياللا يېتەرلىك ئەمەس. بىزنىڭ كېرامىكا سىزغۇچلىرىمىزنى ھەقىقىي پەرقلەندۈرىدىغان نەرسە ئۇلارنىڭ ياسىلىش دەرىجىسىنىڭ ئېنىقلىقىدۇر. ISO 5-دەرىجىلىك تازىلىق ئۆيلىرىدە ئالماس سىلىقلاش، دىئافراگما ئاستىنى سىلىقلاش ۋە لازېر ئارىلىشىش ئۆلچىمىنى تەكشۈرۈش ئارقىلىق، بىز 500 مىللىمېتىردىن يۇقىرى 0.8 µm دىن يۇقىرى تۈزلۈككە چىدامچانلىق كۆرسىتىمىز - بۇ پەقەت يەتكۈزۈش جەريانىدالا ئەمەس، بەلكى NIST ۋە PTB ئۆلچەملىرىگە ماس كېلىدىغان تولۇق كالىبراتسىيە دوكلاتلىرىدا خاتىرىلەنگەن. ھەر بىركېرامىكا چاسا سىزىقچىئېلېكترونلۇق ئاپتوماتىك توپلاش ئارقىلىق تىك يۆنىلىش سىنىقىدىن ئۆتۈپ، بۇلۇڭنىڭ 1 سېكۇند ئىچىدە ساقلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ (100 مىللىمېتىردا ≈0.5 µm چەتنەش).
بۇلار نەزەرىيەۋى ئۆلچەملەر ئەمەس. ئۇلار ئەمدى مۇرەسسە قىلالمايدىغان خېرىدارلار ئۈچۈن مەشغۇلات رېئاللىقى. ئالدىنقى قاتاردىكى EUV لىتوگرافىيە زاپچاسلىرى تەمىنلىگۈچىسى ھازىر بىزنىڭ كېرامىكا تۈز سىزىقچىمىزنى پەقەت ئەينەك تىرەك رامكىسىنى تەڭشەش ئۈچۈن ئىشلىتىدۇ. ئۇلارنىڭ باش مېترولوگى بىزگە مۇنداق دېدى: «پولات سىزىقچىلار ئۇزۇن مۇددەتلىك ئاشكارلىنىش دەۋرىيلىكىدە بۇرمىلىنىپ قالىدۇ. گرانىت زەررىچىلەرنى تۇتۇۋالدى. كېرامىكا نۇسخىسى؟ ئۇ 18 ئايدىن بۇيان مۇقىم تۇرىدۇ - قايتا تەڭشەشنىڭ ھاجىتى يوق».
ئەمما مۇكەممەل گېئومېتىرىيەمۇ تېگىش ئارقىلىق بۇزۇلۇشى مۇمكىن. سىزغۇچنى يۈزە سۆرەپ يۈرسىڭىز، مىكرو چىزىقلار، ماي پەردىسىنىڭ ئارىلىشىشى ياكى ئېلاستىكىلىق دېفورماتسىيە خەۋپىگە دۇچ كېلىسىز - بولۇپمۇ يۇمشاق مېتاللار ياكى سىلىقلانغان ئوپتىكىلاردا. ZHHIMG نىڭ يېڭىلىق يارىتىشى خاسلاشتۇرۇلغان كېرامىك ھاۋا لەيلىمە سىزغۇچ بىلەن ئىلگىرىلەش نۇقتىسى.
بۇ پەقەت تۆشۈكلىرى بار كېرامىك تۈز گىرۋەك ئەمەس. ئۇ تولۇق لايىھەلەنگەن ئائېروستاتىك سىستېما بولۇپ، ھېسابلاش سۇيۇقلۇقى دىنامىكىسى ئارقىلىق لايىھەلەنگەن بولۇپ، سىزغۇچنىڭ پۈتۈن ئۇزۇنلۇقى بويىچە بىردەك، لامىنار ھاۋا ئېقىمىنى تەمىنلەيدۇ. پاكىز، قۇرۇق ھاۋا (ياكى سەزگۈر مۇھىتتا ئازوت) بىلەن بېسىمغا ئۇچرىغاندا، سىزغۇچ ئىشلەنگەن بۇيۇمنىڭ ئۈستىدە 5-10 مىكرون ئېگىزلىكتە لەيلەپ تۇرىدۇ، بۇنىڭ بىلەن بىرگە مۇكەممەل ماسلىشىشنى ساقلايدۇ. نەتىجە نېمە؟ تۈزلۈك، تۈزلۈك ياكى قەدەم ئېگىزلىكىنى تەكشۈرۈش ئۈچۈن ھەقىقىي ماسلاشمايدىغان ئۆلچەش، تەكرارلىنىشچانلىقى ±0.2 مىكرومېتىرغىچە.
شىۋىتسارىيەدىكى بىر كۋانت ھېسابلاش تەجرىبىخانىسى ھازىر 600 مىللىمېتىرلىق خاسلاشتۇرۇلغان كېرامىك ھاۋا لەيلىمە سىزغۇچنى ئىشلىتىپ، ئۆتكۈر ئۆتكۈزگۈچ چىپ توشۇغۇچىلىرىنى تەكشۈرىدۇ. ئۇلارنىڭ جەريان ئىنژېنېرى مۇنداق دېدى: «ھەر قانداق تېگىش - ھەتتا يۇمشاق قەلەم بىلەن بولسىمۇ - قۇبىتنىڭ ئىقتىدارىنى ئۆزگەرتىدىغان بېسىمنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ھاۋا لەيلىمە كېرامىك سىزغۇچ بىزگە زاپچاسقا تەگمەي تۇرۇپلا كېرەكلىك پايدىلىنىش ئۇچۇرىنى بېرىدۇ. بۇ ئىنتايىن مۇھىم ۋەزىپىگە ئايلاندى».
بۇنى مۇمكىن قىلغان نەرسە ZHHIMG نىڭ ماتېرىيال ئىلمى، ئېنىقلىق ماشىنىلاشتۇرۇش ۋە ئۆلچەش تېخنىكىسىنى ئۆزگىچە بىرلەشتۈرۈشىدۇر. نۇرغۇن تەمىنلىگۈچىلەر كېرامىكىنى قۇرۇلما زاپچاسلىرى دەپ قارىسىمۇ، بىز ئۇلارنى ئۆلچەش بۇيۇملىرى سۈپىتىدە ئەلالاشتۇرىمىز. بىزنىڭ كېرامىكا چاسا سىزىقچى لايىھەلىرىمىزدە يېرىلىپ كېتىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن قىيسىق گىرۋەكلەر، تەكشۈرۈش چىرىغى ئاستىدا پارقىراقلىقنى ئازايتىش ئۈچۈن مات رەڭ بىلەن بېزەلگەن ئارقا تەرەپ ۋە ئاپتوماتىك كۆرۈش سىستېمىسى ئۈچۈن قوشۇمچە بەلگە بار. پاكىز ئۆيلەردە ئىشلىتىلىدىغان يۈزلەر زەررىچىلەرنىڭ چاپلىشىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئۈچۈن Ra < 0.02 µm غىچە سىلىقلىنىدۇ.
ھەر بىر قوللىنىش ئۇسۇلى ئوخشىمايدىغان بولغاچقا، بىز ھەممىگە ماس كېلىدىغان بىر خىل ئۇسۇلغا ئىشەنمەيمىز. تەكشۈرۈش جەريانىدا نېپىز ۋاپېرلارنى تۇتۇپ تۇرۇش ئۈچۈن ئورنىتىلغان ۋاكۇئۇم قاناللىرى بار كېرامىك تۈز قىرلىق قىرغا ئېھتىياجلىقمۇ؟ بىز ئۇنى ياساپ چىقتۇق. تەلەپ قىلىنىدۇچاسا سىزىقچىCMM زوند ئۇچىغا ماسلاشتۇرۇلغان تۆشۈكلەر بىلەنمۇ؟ تامام. بېسىم سېنزورى ۋە رەقەملىك تەڭشەش ئىنكاسى بار خاسلاشتۇرۇلغان كېرامىك ھاۋا لەيلىمە سىزغۇچ ئىزدەۋاتامسىز؟ بۇ ئاللىقاچان 1-دەرىجىلىك ئاۋىئاتسىيە خېرىدارى بىلەن سىناق قىلىنىۋاتىدۇ.
كەسىپ ساھەسىدە ئېتىراپ قىلىنىشقا ئېرىشتى. 2025-يىللىق دۇنياۋى ئىلغار ئۆلچەش تەكشۈرۈشىدە، ZHHIMG تولۇق گېئومېتىرىيىلىك دەلىللەش ۋە رەقەملىك ئىز قوغلاش ئىقتىدارىغا ئىگە، سۇ ئۈستىدە قېلىۋاتقان نۇسخىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان تولۇق گۇۋاھنامىلىك كېرامىكا پايدىلىنىش قوراللىرىنى تەمىنلەيدىغان بىردىنبىر شىركەت دەپ كۆرسىتىلدى. ئەمما ئەڭ مۇھىمى، قوللىنىش سۈرئىتى تېزلىشىۋاتىدۇ: بىزنىڭ كېرامىكا سىزغۇچ زاكازلىرىمىزنىڭ %60 تىن كۆپرەكى ئىلگىرى بۇ خىل قوراللارنى «ئارتۇقچە» دەپ قارىغان كەسىپلەردىن كېلىدۇ، ئۇلار پەرقنى ئۆلچەپ بولغۇچە.
نېرۋا ئىمپىلانتلىرىنى ئىشلەپچىقىرىدىغان داۋالاش ئۈسكۈنىلىرىنى باشلاش شىركىتى پولاتتىن كېرامىك چاسا سىزىقچىغا ئالماشتۇردى ۋە ئۇلارنىڭ تۇنجى قېتىم ئىشلىتىش ئۈنۈمى %22 ئاشتى. «كونا چاسا سىزىق تىتان قاپلىرىدا مىكرو سىزىقلارنى قالدۇردى» دېدى ئۇلارنىڭ سۈپەت تەكشۈرۈش باشقۇرغۇچىسى. «بىز ئالماشتۇرغۇچە بۇنى ھېس قىلمىغان ئىدۇق. ھازىر ھەر بىر قىسىم تۇنجى قېتىمدىلا كۆرۈش ۋە ئۆلچەم تەكشۈرۈشىدىن ئۆتتى».
شۇڭا كېيىنكى مېترولوگىيە يېڭىلاشنى باھالىغاندا، ئۆزىڭىزدىن سوراڭ: مېنىڭ ھازىرقى تۈز يۆنىلىشىم ئېنىقسىزلىقنى ئاشۇرۇۋاتامدۇ ياكى ئۇنى يوقىتىۋاتامدۇ؟
ئەگەر سىزنىڭ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىڭىز بايقاشنىڭ ئەڭ يۇقىرى چېكىدە بولسا، جاۋاب كېرامىكىلاردا بولۇشى مۇمكىن - بۇ يېڭىلىق ئەمەس، بەلكى زۆرۈرىيەت. ZHHIMG دا، بىز پەقەت كېرامىكا تۈز سىزىقلىق لىنىيىسى، كېرامىكا كۋادرات سىزىقلىق لىنىيىسى ياكى كېرامىكا تۈز سىزىقلىق لىنىيىسى قوراللىرىنىلا ئىشلەپچىقارمايمىز. بىز ھەر بىر مىكرونغا ئىشەنچ سىڭدۈرىمىز.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2025-يىلى 12-ئاينىڭ 31-كۈنى