يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئارقىسىدىكى «تاش كۈچى» نىڭ شىفىرىنى يېشىش - گرانىت ئېنىقلىق زاپچاسلىرى قانداق قىلىپ چىپ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئېنىقلىق چېگرىسىنى ئۆزگەرتەلەيدۇ

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئېنىقلىق ئىنقىلابى: گرانىت مىكرون تېخنىكىسى بىلەن ئۇچراشقاندا
1.1 ماتېرىيال ئىلمىدىكى كۈتۈلمىگەن بايقاشلار
2023-يىلدىكى SEMI خەلقئارا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەمئىيىتىنىڭ دوكلاتىغا قارىغاندا، دۇنيادىكى ئىلغار زاۋۇتلارنىڭ %63 ى ئەنئەنىۋى مېتال سۇپىلارنىڭ ئورنىغا گرانىت ئاساسلىرىنى ئىشلىتىشكە باشلىغان. بۇ تەبىئىي تاش يەر شارىنىڭ چوڭقۇر قىسمىدىكى ماگما قويۇقلىشىشىدىن كېلىپ چىققان بولۇپ، ئۆزىنىڭ ئۆزگىچە فىزىكىلىق خۇسۇسىيىتى سەۋەبىدىن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش تارىخىنى قايتا يېزىۋاتىدۇ:

ئىسسىقلىق ئېنېرتسىيەسى ئەۋزەللىكى: گرانىت 4.5×10⁻⁶/℃ نىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى پەقەت داتلاشماس پولاتنىڭ 1/5 قىسمىغا تەڭ، لىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ئۈزلۈكسىز ئىشلىشىدە ±0.001mm ئۆلچەملىك مۇقىملىقى ساقلىنىدۇ.

تىترەشنى پەسەيتىش خۇسۇسىيىتى: ئىچكى سۈركىلىش كوئېففىتسېنتى چويۇننىڭكىدىن 15 ھەسسە يۇقىرى بولۇپ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ مىكرو تىترەشىنى ئۈنۈملۈك سۈمۈرۈۋالىدۇ

نۆل ماگنىتلىنىش خاراكتېرى: لازېر ئۆلچەشتىكى ماگنىت خاتالىقىنى پۈتۈنلەي يوقىتىدۇ

1.2 مېنىڭ زاۋۇتىمدىن زاۋۇتقا ئۆزگىرىش سەپىرى
ZHHIMG نىڭ شەندۇڭدىكى ئەقلىي ئىقتىدارلىق ئىشلەپچىقىرىش بازىسىنى مىسالغا ئالساق، بىر پارچە خام گرانىت تۆۋەندىكىدەك سىناقلاردىن ئۆتۈشى كېرەك:

ئىنتايىن ئېنىق پىششىقلاپ ئىشلەش: بەش ئوقلۇق ئۇلىنىش پىششىقلاپ ئىشلەش مەركىزى 200 سائەت ئۈزلۈكسىز فرېزلاش، يۈزەكى پۇختىلىقى Ra0.008μm غىچە

سۈنئىي قېرىتىش داۋالاش ئۇسۇلى: تېمپېراتۇرا ۋە نەملىك سېخىدا 48 سائەت تەبىئىي بېسىمنى قويۇپ بېرىش، مەھسۇلاتنىڭ مۇقىملىقىنى %40 يۇقىرى كۆتۈرىدۇ.
ئىككىنچىدىن، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ «تاش ئېرىتمىسى» نىڭ ئالتە ئېنىقلىق مەسىلىسىنى يېشىش.
2.1 ۋافېر پارچىلىنىش نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىش لايىھىسى

مىسال كۆرسىتىش: گېرمانىيەدىكى بىر چىپس قۇيۇش زاۋۇتى بىزنىڭ گازلىق سۇ ئۈستىدە قېلىۋاتقان گرانىت سۇپىمىزنى ئىشلەتكەندىن كېيىن:

ۋافرا دىئامېتىرى	چىپ نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىش	تۈزلۈكنى ياخشىلاش
12 دىيۇم	67%	≤0.001mm
18 دىيۇم	82%	≤0.0005mm

2.2 لىتوگرافىك تەڭشەش توغرىلىقى بۆسۈش لايىھىسى

تېمپېراتۇرا تولۇقلىما سىستېمىسى: ئىچىگە ئورنىتىلغان كېرامىك سېنزور شەكىل ئۆزگەرگۈچىسىنى ھەقىقىي ۋاقىتتا نازارەت قىلىدۇ ۋە سۇپا يانتۇلۇقىنى ئاپتوماتىك تەڭشەيدۇ
ئۆلچەنگەن سانلىق مەلۇماتلار: 28℃±5℃ تەۋرىنىشى ئاستىدا، كىرگۈزۈش توغرىلىقى 0.12μm دىن تۆۋەن بولىدۇ