يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ ئارقىسىدىكى «تاش كۈچ» نى يېشىش - گرانىت ئېنىقلىق زاپچاسلىرى ئۆزەك ياساشنىڭ ئېنىق چېگراسىنى قانداق ئۆزگەرتەلەيدۇ؟

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىكى ئېنىق ئىنقىلاب: گرانىت مىكرو تېخنىكا بىلەن ئۇچراشقاندا
1.1 ماتېرىيال ئىلمىدىكى كۈتۈلمىگەن بايقاشلار
2023-يىللىق SEMI خەلقئارا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەمئىيىتىنىڭ دوكلاتىغا قارىغاندا ، دۇنيادىكى% 63 ئىلغار فابلار ئەنئەنىۋى مېتال سۇپىلارنىڭ ئورنىغا گرانىت بازىسىنى ئىشلىتىشكە باشلىغان. يەر شارىنىڭ چوڭقۇرلۇقىدىكى ماگما قويۇقلۇقىدىن ھاسىل بولغان بۇ تەبىئىي تاش ، يېرىم فىزىكىلىق خۇسۇسىيەتكە ئىگە بولغاچقا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش تارىخىنى قايتا يازىدۇ:

ئىسسىقلىق ئىنېرتسىيە ئەۋزەللىكى: گرانىت 4.5 × 10⁻⁶ / the نىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى داتلاشماس پولاتنىڭ پەقەت 1/5 ى بولۇپ ، تاش مەتبەئە ماشىنىسىنىڭ ئۇدا خىزمىتىدە .00 0.001 مىللىمېتىرلىق ئۆلچەملىك مۇقىملىق ساقلىنىدۇ.

تەۋرىنىشنى پەسەيتىش ئالاھىدىلىكى: ئىچكى سۈركىلىش كوئېففىتسېنتى قۇيۇلغان تۆمۈرنىڭكىدىن 15 ھەسسە يۇقىرى ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ مىكرو تەۋرىنىشى ئۈنۈملۈك سۈمۈرۈلىدۇ.

نۆل ماگنىتلاشتۇرۇش خاراكتېرى: لازېر ئۆلچەشتىكى ماگنىتلىق خاتالىقنى پۈتۈنلەي يوقىتىدۇ

1.2 مىتافوروز كېسەللىكى مىنادىن فابغىچە
ZHHIMG نىڭ شەندۇڭدىكى ئەقلىي ئىقتىدارلىق ئىشلەپچىقىرىش بازىسىنى مىسالغا ئالساق ، بىر پارچە خام گرانىتنى باشتىن كەچۈرۈشى كېرەك:

دەرىجىدىن تاشقىرى ئىنچىكە پىششىقلاپ ئىشلەش: بەش ئوقلۇق ئۇلىنىش پىششىقلاپ ئىشلەش مەركىزى 200 سائەت ئۇدا ئۈزۈش ، يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكى Ra0.008 mm غا يېتىدۇ.

سۈنئىي قېرىشنى داۋالاش: دائىملىق تېمپېراتۇرا ۋە نەملىك سېخىدا 48 سائەت تەبىئىي بېسىم قويۇپ بېرىش ، مەھسۇلاتنىڭ مۇقىملىقىنى% 40 ئۆستۈرىدۇ.
ئىككىنچىدىن ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىكى «تاش ھەل قىلىش» تىن ئىبارەت ئالتە ئېنىق مەسىلىنى ھەل قىلىڭ.
2.1 Wafer پارچىلىنىش نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىش پىلانى

دېلو مىسالى: گېرمانىيەدىكى ئۆزەك زاۋۇتى بىزنىڭ گاز لەيلىمە گرانىت سۇپىمىزنى قوللانغاندىن كېيىن:

Wafer دىئامېتىرى	ئۆزەك نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىش	تەكشىلىكنى ياخشىلاش
12 دىيۇم	67%	.00.001mm
18 دىيۇم	82%	≤0.0005mm

2.2 لىتروگرافىك توغرىلاش توغرىلىق بۆسۈش لايىھىسى

تېمپېراتۇرا تولۇقلىما سىستېمىسى: قىستۇرۇلغان ساپال سېنزور شەكىل ئۆزگىرىشىنى دەل ۋاقتىدا نازارەت قىلىدۇ ۋە سۇپىنىڭ مايىللىقىنى ئاپتوماتىك تەڭشەيدۇ.
ئۆلچەملىك سانلىق مەلۇمات: 28 ℃ ± 5 of نىڭ تەۋرىنىشى ئاستىدا ، قىستۇرما توغرىلىق دەرىجىسى 0.12 mm دىن تۆۋەن بولىدۇ.