گرانىت ئېنىق سۇپىلىرىنىڭ تەكشىلىكىنى بايقاش ئۇسۇللىرى.

ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئىلمىي تەتقىقات ساھەسىدە ، گرانىت ئېنىقلىق سۇپىسىنىڭ تەكشىلىكى ئۈسكۈنىلەرنىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدىغان مۇھىم كۆرسەتكۈچ. تۆۋەندىكىسى بىر قانچە ئاساسىي ئېقىننى بايقاش ئۇسۇللىرى ۋە ئۇلارنىڭ سىز ئۈچۈن مەشغۇلات تەرتىپلىرى ھەققىدە تەپسىلىي تونۇشتۇرۇش. ?
I. لازېر ئارىلىقىنى ئۆلچەش ئۇسۇلى
لازېرلىق ئىنتېرفېرومېتىر يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تەكشىلىكنى ياخشى كۆرىدىغان قورال. ZYGO GPI XP لازېرلىق ئىنتېرفېرومېتىرنى مىسالغا ئالساق ، ئۇنىڭ ئېنىقلىق دەرىجىسى 0.1nm غا يېتىدۇ. بايقاشنى ئېلىپ بارغاندا ، ئالدى بىلەن ئارىلىق ئارىلىقىنىڭ يورۇقلۇق مەنبەسىنى سۇپا بىلەن توغرىلاپ ، سۇپا يۈزىنى 50 مىللىمېتىر × 50 مىللىمېتىرلىق تور رايونىغا بۆلۈڭ. ئۇنىڭدىن كېيىن ، دەخلى-تەرۇز گىرۋىكىدىكى سانلىق مەلۇماتلار بىر-بىرلەپ يىغىۋېلىندى ، سانلىق مەلۇماتلار Zernike كۆپ قۇتۇپلۇق ئارقىلىق ماسلاشتۇرۇلۇپ ئانالىز قىلىندى. بۇ ئۇسۇل يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سۇپىلارغا ماس كېلىدىغان بولۇپ ، ≤0.5μm / m² تەكشىلىكتىكى خاتالىقلارنى بايقىيالايدۇ. ئۇ ئادەتتە فوتوگرافلىق ماشىنا ۋە ئالىي دەرىجىلىك ئۈچ كوئوردېنات ئۆلچەش ماشىنىسى سۇپىسىنى بايقاشتا ئىشلىتىلىدۇ. ?
Ii. ئېلېكترونلۇق دەرىجىدىكى Array ئۇسۇلى
ئېلېكترونلۇق دەرىجىدىكى سانلار گۇرپىسىنى بايقاش ئاددىي ھەم يۇقىرى ئۈنۈملۈك. TESA A2 ئېلېكترونلۇق سەۋىيىسى (ئېنىقلىق دەرىجىسى 0.01μm / m) تاللانغان ۋە سۇپىنىڭ X / Y ئوق يۆنىلىشى بويىچە 9 × 9 سانلار گۇرپىسىغا ئورۇنلاشتۇرۇلغان. ھەر بىر دەرىجىدىكى يانتۇ سانلىق مەلۇماتلارنى ماس قەدەمدە توپلاپ ، ئاندىن ھېسابلاش ئۈچۈن ئەڭ ئاز كۋادرات ئۇسۇلنى قوللانسىڭىز ، تەكشىلىك قىممىتىگە توغرا ئېرىشكىلى بولىدۇ. بۇ ئۇسۇل سۇپىنىڭ يەرلىك ماسلىشىشچانلىقى ۋە تۇتاشتۇرۇش شارائىتىنى ئۈنۈملۈك پەرقلەندۈرەلەيدۇ. مەسىلەن ، 50 مىللىمېتىر دائىرىدە 0.2μm لىك تەۋرىنىشنىمۇ بايقىغىلى بولىدۇ ، بۇ تۈركۈملەپ ئىشلەپچىقىرىشتا تېز بايقاشقا ماس كېلىدۇ. ?
Iii. ئوپتىك تالا كىرىستال ئۇسۇلى
ئوپتىكىلىق تەكشى كىرىستال ئۇسۇلى كىچىك رايون سۇپىلىرىنى بايقاشقا ماس كېلىدۇ. ئوپتىكىلىق تەكشى كرىستالنى يەر يۈزىگە مەھكەم باغلاپ ، سۇپىدا سىناق قىلىنىپ ، يەككە نۇر مەنبەسىنىڭ (ناترىي چىرىغىغا ئوخشاش) يورۇتۇلۇشى ئاستىدا ئۇلار ئوتتۇرىسىدا شەكىللەنگەن ئارىلىشىش گىرۋەكلىرىنى كۆزىتىڭ. ئەگەر سىزىقلار پاراللېل تۈز سىزىق بولسا ، ياخشى تەكشىلىكنى كۆرسىتىدۇ. ئەگەر ئەگرى سىزىقلار كۆرۈنسە ، تۈز سىزىقنىڭ ئەگرى سىزىق دەرىجىسىگە ئاساسەن تەكشىلىك خاتالىقىنى ھېسابلاڭ. ھەر بىر ئەگرى سىزىقنىڭ ئېگىزلىكى 0.316 mm غا ۋەكىللىك قىلىدۇ ، ئاددىي ئۆزگەرتىش ئارقىلىق تەكشى سانلىق مەلۇماتقا ئېرىشكىلى بولىدۇ. ?
تۆت. ئۈچ كوئوردېنات ئۆلچەش ماشىنىسىنى تەكشۈرۈش ئۇسۇلى
ئۈچ كوئوردېنات ئۆلچەش ماشىنىسى ئۈچ ئۆلچەملىك بوشلۇقتا يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئۆلچەشنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ. گرانىت سۇپىسىنى ئۆلچەش ماشىنىسىنىڭ خىزمەت جەدۋىلىگە قويۇپ ، تەكشۈرۈش ئەسۋابى ئارقىلىق سۇپىنىڭ يۈزىدىكى كۆپ ئۆلچەش نۇقتىلىرىدىكى سانلىق مەلۇماتلارنى بىردەك توپلاڭ. ئۆلچەش ماشىنىسى سىستېمىسى بۇ سانلىق مەلۇماتلارنى بىر تەرەپ قىلىپ ئانالىز قىلىپ ، سۇپىنىڭ تەكشىلىك دوكلاتىنى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ ئۇسۇل تەكشىلىكنى بايقاپلا قالماي ، يەنە بىرلا ۋاقىتتا سۇپىنىڭ باشقا گېئومېتىرىيەلىك پارامېتىرلىرىغا ئېرىشەلەيدۇ ، ھەمدە چوڭ گرانىت سۇپىلىرىنى ئەتراپلىق بايقاشقا ماس كېلىدۇ. ?
بۇ بايقاش ئۇسۇللىرىنى ئىگىلەش سىزنىڭ گرانىت ئېنىقلىق سۇپىسىنىڭ تەكشىلىكىنى توغرا باھالىشىڭىزغا ياردەم بېرىدۇ ھەمدە ئېنىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇقىم ئىشلىشىگە ئىشەنچلىك كاپالەت بىلەن تەمىنلەيدۇ.