ئېلېكترو ماگنىتلىق ئارىلىشىشتىن ۋاكۇئۇم ماسلىشىشچانلىقىغىچە: لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىدىكى گرانىت ئاساسلىرىنىڭ ئورنىنى ئالالماسلىقى.

?
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ساھەسىدە، چىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنىڭ ئېنىقلىقىنى بەلگىلەيدىغان يادرولۇق ئۈسكۈنە بولۇش سۈپىتى بىلەن، فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ئىچكى مۇھىتىنىڭ مۇقىملىقى ئىنتايىن مۇھىم. ئەڭ يۇقىرى ئۇلترابىنەفشە نۇر مەنبەسىنىڭ قوزغىلىشىدىن تارتىپ نانو ئۆلچەملىك ئېنىقلىق ھەرىكەت سۇپىسىنىڭ ئىشلىشىگىچە، ھەر بىر ھالقىدا ئەڭ كىچىككىنە پەرق بولۇشى مۇمكىن ئەمەس. بىر قاتار ئۆزگىچە خۇسۇسىيەتلەرگە ئىگە گرانىت ئاساسلىرى فوتولىتوگرافىيە ماشىنىلىرىنىڭ مۇقىم ئىشلىشىنى كاپالەتلەندۈرۈش ۋە فوتولىتوگرافىيەنىڭ ئېنىقلىقىنى ئاشۇرۇشتا مىسلىسىز ئەۋزەللىكلەرنى نامايان قىلىدۇ.
ئېلېكترو ماگنىتلىق قوغداش ئىقتىدارى ئالاھىدە ياخشى
فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ئىچكى قىسمى مۇرەككەپ ئېلېكترو ماگنىتلىق مۇھىت بىلەن تولغان. ئەگەر ئىنتايىن ئۇلترابىنەفشە نۇر مەنبەسى، قوزغاتقۇچ ماتور ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق توك بىلەن تەمىنلەش قاتارلىق زاپچاسلار تەرىپىدىن ھاسىل قىلىنغان ئېلېكترو ماگنىتلىق توسالغۇ (EMI) ئۈنۈملۈك كونترول قىلىنمىسا، ئۈسكۈنىنىڭ ئىچىدىكى ئېنىق ئېلېكترونلۇق زاپچاسلار ۋە ئوپتىكىلىق سىستېمىلارنىڭ ئىقتىدارىغا ئېغىر تەسىر كۆرسىتىدۇ. مەسىلەن، توسالغۇ فوتولىتوگرافىيە ئەندىزىسىدە ئازراق پەرقلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىدا، بۇ چىپتىكى ترانسىستور ئۇلىنىشىنىڭ خاتا بولۇشىغا سەۋەب بولۇپ، چىپنىڭ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىدۇ.
گرانىت مېتال ئەمەس ماتېرىيال بولۇپ، ئۆزى توك ئۆتكۈزمەيدۇ. مېتال ماتېرىياللاردىكىگە ئوخشاش، ئىچىدىكى ئەركىن ئېلېكترونلارنىڭ ھەرىكىتى سەۋەبىدىن ئېلېكترو ماگنىت ئىندۇكسىيە ھادىسىسى يۈز بەرمەيدۇ. بۇ خۇسۇسىيەت ئۇنى تەبىئىي ئېلېكترو ماگنىتلىق قوغداش جىسىمىغا ئايلاندۇرىدۇ، بۇ ئىچكى ئېلېكترو ماگنىتلىق ئارىلىشىشنىڭ يەتكۈزۈش يولىنى ئۈنۈملۈك توسالايدۇ. سىرتقى ئېلېكترو ماگنىتلىق ئارىلىشىش مەنبەسى ھاسىل قىلغان ئۆزگىرىشچان ماگنىت مەيدانى گرانىت ئاساسىغا تارقالغاندا، گرانىت ماگنىتلىق ئەمەس ۋە ماگنىتلاشتۇرغىلى بولمىغاچقا، ئۆزگىرىشچان ماگنىت مەيدانىغا كىرىش تەس بولۇپ، بۇ ئارقىلىق ئاساسقا ئورنىتىلغان فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ يادرولۇق زاپچاسلىرىنى، مەسىلەن ئېنىقلىق سېنزورلىرى ۋە ئوپتىكىلىق لىنزا تەڭشەش ئۈسكۈنىلىرىنى ئېلېكترو ماگنىتلىق ئارىلىشىشنىڭ تەسىرىدىن قوغدايدۇ ۋە فوتولىتوگرافىيە جەريانىدا نەقىشنىڭ يۆتكىلىشىنىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

ۋاكۇئۇمغا ماسلىشىشچانلىقى ناھايىتى ياخشى
چۈنكى ھەددىدىن زىيادە ئۇلترابىنەفشە نۇر (EUV) ھاۋا قاتارلىق بارلىق ماددىلار تەرىپىدىن ئاسانلا سۈمۈرۈلۈۋالىدۇ، شۇڭا EUV لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا ئىشلىشى كېرەك. بۇ ۋاقىتتا، ئۈسكۈنە زاپچاسلىرىنىڭ ۋاكۇئۇم مۇھىتى بىلەن ماسلىشىشى ئالاھىدە مۇھىم بولۇپ قالىدۇ. ۋاكۇئۇم ئىچىدە، ماتېرىياللار ئېرىپ، سۈمۈرۈلۈپ، گاز قويۇپ بېرىشى مۇمكىن. قويۇپ بېرىلگەن گاز پەقەت EUV نۇرىنى سۈمۈرۈۋېلىپلا قالماي، نۇرنىڭ كۈچلۈكلۈكى ۋە ئۆتكۈزۈش ئۈنۈمىنى تۆۋەنلىتىپلا قالماي، يەنە ئوپتىكىلىق ئەينەكلەرنى بۇلغىشى مۇمكىن. مەسىلەن، سۇ پارى ئەينەكلەرنى ئوكسىدلىنىشى مۇمكىن، كاربون سۇ بىرىكمىلىرى ئەينەكلەرگە كاربون قەۋىتىنى قويۇپ، لىتوگرافىيە سۈپىتىگە ئېغىر تەسىر كۆرسىتىدۇ.
گرانىت مۇقىم خىمىيىلىك خۇسۇسىيەتكە ئىگە بولۇپ، ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا گاز قويۇپ بەرمەيدۇ. كەسپىي سىناقلارغا ئاساسلانغاندا، فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا (مەسىلەن، ئاساسلىق كامېرادىكى يورۇتۇش ئوپتىكىلىق سىستېمىسى ۋە سۈرەتكە ئېلىش ئوپتىكىلىق سىستېمىسى جايلاشقان، H₂O < 10⁻⁵ Pa، CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa تەلەپ قىلىدىغان ئالاھىدە پاكىز ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا)، گرانىت ئاساسىنىڭ گاز چىقىرىش نىسبىتى ئىنتايىن تۆۋەن بولۇپ، مېتال قاتارلىق باشقا ماتېرىياللارغا قارىغاندا خېلىلا تۆۋەن. بۇ فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ئىچكى قىسمىنىڭ ئۇزۇن ۋاقىت يۇقىرى ۋاكۇئۇم دەرىجىسى ۋە پاكىزلىقىنى ساقلاپ، يەتكۈزۈش جەريانىدا EUV نۇرىنىڭ يۇقىرى ئۆتكۈزۈشچانلىقىنى ۋە ئوپتىكىلىق ئەينەكلەر ئۈچۈن ئالاھىدە پاكىز ئىشلىتىش مۇھىتىنى كاپالەتلەندۈرۈپ، ئوپتىكىلىق سىستېمىنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ ۋە فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ئومۇمىي ئىقتىدارىنى يۇقىرى كۆتۈرىدۇ.
كۈچلۈك تىترەش قارشىلىقى ۋە ئىسسىقلىق مۇقىملىقى
فوتولىتوگرافىيە جەريانىدا، نانومېتىر دەرىجىسىدىكى ئېنىقلىق فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ئەڭ كىچىك تەۋرىنىش ياكى ئىسسىقلىق دېفورماسىيەسى بولماسلىقىنى تەلەپ قىلىدۇ. باشقا ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلىشى ۋە سېختىكى خادىملارنىڭ ھەرىكىتىدىن پەيدا بولغان مۇھىت تەۋرىنىشى، شۇنداقلا فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ئۆزى ئىشلەۋاتقاندا پەيدا قىلغان ئىسسىقلىق، فوتولىتوگرافىيەنىڭ توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن. گرانىت يۇقىرى زىچلىق ۋە قاتتىق تېكىستۇراغا ئىگە بولۇپ، ئۇنىڭ تەۋرىنىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ناھايىتى يۇقىرى. ئۇنىڭ ئىچكى مىنېرال كرىستال قۇرۇلمىسى ئىخچام بولۇپ، تەۋرىنىش ئېنېرگىيەسىنى ئۈنۈملۈك تۆۋەنلىتىپ، تەۋرىنىشنىڭ تارقىلىشىنى تېز سۈرئەتتە باستۇرالايدۇ. تەجرىبە سانلىق مەلۇماتلىرىدىن مەلۇم بولۇشىچە، ئوخشاش تەۋرىنىش مەنبەسى ئاستىدا، گرانىت ئاساسى 0.5 سېكۇنت ئىچىدە تەۋرىنىش ئامپلىتۇدىسىنى %90 تىن ئارتۇق تۆۋەنلىتىدۇ. مېتال ئاساسى بىلەن سېلىشتۇرغاندا، ئۇ ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇقىملىقىنى تېخىمۇ تېز ئەسلىگە كەلتۈرۈپ، فوتولىتوگرافىيە ئەينىكى بىلەن ۋافلىنىڭ ئېنىق نىسپىي ئورنىنى كاپالەتلەندۈرۈپ، تەۋرىنىش سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان ئەندىزىنىڭ تۇتۇقلىشىشى ياكى ماسلىشىشسىزلىقىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، گرانىتنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى ئىنتايىن تۆۋەن بولۇپ، تەخمىنەن (4-8) ×10⁻⁶/℃ بولۇپ، مېتال ماتېرىياللارغا قارىغاندا خېلىلا تۆۋەن. فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ئىشلىشى جەريانىدا، يورۇقلۇق مەنبەسىدىن ئىسسىقلىق ھاسىل بولۇش ۋە مېخانىكىلىق زاپچاسلارنىڭ سۈركىلىشى قاتارلىق ئامىللار تۈپەيلىدىن ئىچكى تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىپ تۇرسىمۇ، گرانىت ئاساسى ئۆلچەملىك مۇقىملىقنى ساقلىيالايدۇ ھەمدە ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە قىسقىرىشى سەۋەبىدىن كۆرۈنەرلىك دېفورماتسىيەگە ئۇچرىمايدۇ. ئۇ ئوپتىكىلىق سىستېما ۋە ئېنىقلىق ھەرىكەت سۇپىسىغا مۇقىم ۋە ئىشەنچلىك تىرەك بىلەن تەمىنلەيدۇ، فوتولىتوگرافىيە توغرىلىقىنىڭ مۇقىملىقىنى ساقلايدۇ.