1. ئۆلچەملىك ئېنىقلىق
تەكشىلىكى: ئاساسى يۈزىنىڭ تەكشىلىكى ناھايىتى يۇقىرى ئۆلچەمگە يېتىشى ، تەكشىلىكتىكى خاتالىق 100 مىللىمېتىر × 100 مىللىمېتىرلىق رايوندا 0.5 مىللىمېتىردىن ئېشىپ كەتمەسلىكى كېرەك. پۈتكۈل ئاساسى ئايروپىلانغا نىسبەتەن تەكشىلىك خاتالىقى mm 1μm ئىچىدە كونترول قىلىنىدۇ. بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاساسلىق زاپچاسلىرى ، مەسىلەن تاش مەتبەئە ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاشكارلىنىش بېشى ۋە ئۆزەكنى تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىسىنىڭ تەكشۈرۈش جەدۋىلى قاتارلىق يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئايروپىلانغا مۇقىم ئورنىتىلىپ مەشغۇلات قىلىشقا ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئوپتىكىلىق يولى ۋە توك يولى ئۇلىنىشىنىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىشىدىن كېلىپ چىققان زاپچاسلارنىڭ يۆتكىلىش ئېنىقسىزلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
تۈز: بازىنىڭ ھەر بىر چېتىنىڭ تۈز بولۇشى ئىنتايىن مۇھىم. ئۇزۇنلۇق يۆنىلىشىدە ، تۈز خاتالىق 1m دىن 1 mm دىن ئېشىپ كەتمەسلىكى كېرەك. دىئاگونال تۈز تۈز خاتالىق ± 1.5μm ئىچىدە كونترول قىلىنىدۇ. يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تاش مەتبەئە ماشىنىسىنى مىسالغا ئالساق ، ئۈستەل بازىنىڭ يېتەكچى تۆمۈر يولىنى بويلاپ ماڭغاندا ، ئۇچىنىڭ گىرۋىكىنىڭ تۈز بولۇشى ئۈستەلنىڭ يۆنىلىش توغرىلىقىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. ئەگەر تۈزلىكى ئۆلچەمگە يەتمىسە ، تاش مەتبەئە ئەندىزىسى بۇرمىلىنىپ شەكلى ئۆزگىرىپ ، ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىش مەھسۇلات مىقدارى تۆۋەنلەيدۇ.
پاراللېللىق: ئاساسنىڭ ئۈستۈنكى ۋە تۆۋەنكى يۈزىنىڭ پاراللېللىق خاتالىقىنى mm 1 mm ئىچىدە كونترول قىلىش كېرەك. ياخشى پاراللېللىق ئۈسكۈنىلەر ئورنىتىلغاندىن كېيىن ئومۇمىي ئېغىرلىق مەركىزىنىڭ مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ ، ھەر بىر زاپچاسنىڭ كۈچى بىردەك. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېر ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە ، ئەگەر بازىنىڭ ئۈستۈنكى ۋە تۆۋەنكى يۈزى پاراللېل بولمىسا ، ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەش جەريانىدا يانتۇ بولۇپ ، قىرىش ۋە سىرلاش قاتارلىق جەريانلارنىڭ بىردەكلىكىگە تەسىر كۆرسىتىپ ، ئۆزەكنىڭ ئىقتىدارىنىڭ ئىزچىللىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ئىككىنچى ، ماددى ئالاھىدىلىك
قاتتىقلىقى: گرانىت ئاساسى ماتېرىيالنىڭ قاتتىقلىقى قىرغاقنىڭ قاتتىقلىقى HS70 ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى بولۇشى كېرەك. قاتتىقلىق قاتتىقلىقى ئۈسكۈنىلەرنىڭ مەشغۇلات جەريانىدا دائىم ھەرىكەتلىنىش ۋە زاپچاسلارنىڭ سۈركىلىشىدىن كېلىپ چىققان ئۇپراشقا ئۈنۈملۈك قارشى تۇرالايدۇ ، ئۇزۇن مۇددەت ئىشلەتكەندىن كېيىن بۇ بازىنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىق دەرىجىسىنى ساقلاپ قالالايدۇ. ئۆزەك ئوراپ قاچىلاش ئۈسكۈنىلىرىدە ، ماشىنا ئادەم قولى دائىم ئۆزەكنى تۇتۇپ بازىغا قويىدۇ ، ئاساسى قاتتىقلىقى يەر يۈزىنىڭ سىزىلماسلىقىنى ئاسانلاشتۇرالايدۇ ھەمدە ماشىنا ئادەم قول ھەرىكىتىنىڭ توغرىلىقىنى ساقلايدۇ.
زىچلىقى: ماتېرىيال زىچلىقى 2.6-3.1 g / cm between ئارىلىقىدا بولۇشى كېرەك. مۇۋاپىق زىچلىق بازىنى ياخشى سۈپەتلىك مۇقىملىققا ئىگە قىلىدۇ ، بۇ ئۈسكۈنىلەرنى قوللاشنىڭ يېتەرلىك قاتتىقلىقىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ ، ئېغىرلىقى ئېشىپ كەتكەنلىكتىن ئۈسكۈنىلەرنى ئورنىتىش ۋە توشۇشقا قىيىنچىلىق ئېلىپ كەلمەيدۇ. چوڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرىدە ، مۇقىم ئاساسىي زىچلىق ئۈسكۈنىلەر مەشغۇلات جەريانىدا تەۋرىنىشنى ئازايتىشقا ۋە بايقاشنىڭ توغرىلىقىنى ئاشۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ.
ئىسسىقلىق مۇقىملىقى: سىزىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى 5 × 10⁻⁶ / than دىن تۆۋەن. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىگە ئىنتايىن سەزگۈر ، بازىنىڭ ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ئۈسكۈنىلەرنىڭ توغرىلىقى بىلەن بىۋاسىتە مۇناسىۋەتلىك. تاش مەتبەئە جەريانىدا ، تېمپېراتۇرىنىڭ داۋالغۇشى بازىنىڭ كېڭىيىشىنى ياكى تارىيىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ، نەتىجىدە ئاشكارلىنىش ئەندىزىسىنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ئۆزگىرىپ كېتىدۇ. تۆۋەن سىزىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى بار گرانىت ئاساسى ئۈسكۈنىلەرنىڭ مەشغۇلات تېمپېراتۇرىسى (ئادەتتە 20 ~ 30 سېلسىيە گرادۇس) ئۆزگەرگەندە چوڭ-كىچىكلىك ئۆزگىرىشىنى كونترول قىلالايدۇ ، تاش مەتبەئەنىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ئۈچىنچى ، يەر يۈزى سۈپىتى
يىرىكلىكى: يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكى Ra قىممىتى 0.05 مىللىمېتىردىن ئېشىپ كەتمەيدۇ. دەرىجىدىن تاشقىرى سىلىق يەر يۈزى چاڭ-توزان ۋە بۇلغانمىلارنىڭ سۈمۈرۈلۈشىنى ئازايتىپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىنىڭ پاكىزلىقىغا بولغان تەسىرىنى ئازايتالايدۇ. ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىشنىڭ چاڭ-توزانسىز سېخىدا ، كىچىك زەررىچىلەر ئۆزەكنىڭ قىسقا توك يولى قاتارلىق كەمتۈكلۈكلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن ، بازىنىڭ سىلىق يۈزى سېخنىڭ پاكىز مۇھىتىنى قوغداشقا ۋە ئۆزەكنىڭ مەھسۇلات مىقدارىنى ئاشۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ.
مىكروسكوپتىكى كەمتۈكلۈكلەر: تېگىنىڭ يۈزىدە كۆرۈنەرلىك يېرىق ، قۇم تۆشۈكلىرى ، تەر تۆشۈكچىلىرى ۋە باشقا كەمتۈكلۈكلەرنىڭ بولۇشىغا يول قويۇلمايدۇ. مىكروسكوپ سەۋىيىسىدە ، ھەر كۋادرات سانتىمېتىر دىئامېتىرى 1 مىللىمېتىردىن ئېشىپ كەتكەن نۇقسانلارنىڭ سانى ئېلېكترونلۇق مىكروسكوپ ئارقىلىق 3 دىن ئېشىپ كەتمەسلىكى كېرەك. بۇ نۇقسانلار قۇرۇلمىنىڭ كۈچلۈكلۈكى ۋە يەر يۈزىنىڭ تەكشىلىكىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ ، ئاندىن ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇقىملىقى ۋە توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
تۆتىنچى ، مۇقىملىق ۋە زەربىگە قارشى تۇرۇش
ھەرىكەتچان مۇقىملىق: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىنىڭ مەشغۇلاتى كەلتۈرۈپ چىقارغان تەقلىدىي تەۋرىنىش مۇھىتىدا (تەۋرىنىش چاستوتىسى دائىرىسى 10-1000Hz ، ئامپلتۇدى 0.01-0.1mm) ، ئاساسى ئاچقۇچ نۇقتىلىرىنىڭ تەۋرىنىش ئورنىنى ± 0.05μm ئىچىدە كونترول قىلىش كېرەك. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سىناق ئۈسكۈنىسىنى مىسالغا ئالساق ، مەشغۇلات جەريانىدا ئۈسكۈنىنىڭ ئۆزىنىڭ تەۋرىنىشى ۋە ئەتراپتىكى مۇھىت تەۋرىنىشى بازىغا يەتكۈزۈلسە ، سىناق سىگنالىنىڭ توغرىلىقىغا دەخلى يەتكۈزۈشى مۇمكىن. ياخشى ھەرىكەتچان مۇقىملىق ئىشەنچلىك سىناق نەتىجىسىگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ.
يەر تەۋرەشكە قارشى تۇرۇش كۈچى: بازا چوقۇم ناھايىتى ياخشى يەر تەۋرەش ئىقتىدارىغا ئىگە بولۇشى كېرەك ، ئۇ تۇيۇقسىز سىرتقى تەۋرىنىشكە دۇچ كەلگەندە تەۋرىنىش ئېنېرگىيىسىنى تېزلىكتە يېقىنلاشتۇرالايدۇ (يەر تەۋرەش دولقۇنى تەقلىد قىلىش تەۋرىنىشى دېگەندەك) ، ھەمدە ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇھىم زاپچاسلىرىنىڭ نىسپىي ئورنىنىڭ 0.1 مىللىمېتىر ئىچىدە ئۆزگىرىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. يەر تەۋرەش كۆپ يۈز بېرىدىغان رايونلاردىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتلاردا يەر تەۋرەشكە چىداملىق بازىلار قىممەت باھالىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنى ئۈنۈملۈك قوغدىيالايدۇ ، تەۋرىنىش سەۋەبىدىن ئۈسكۈنىلەرنىڭ بۇزۇلۇش ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈزۈلۈپ قېلىش خەۋپىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
5. خىمىيىلىك مۇقىملىق
چىرىشكە چىداملىق: گرانىت بازىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا كۆپ ئۇچرايدىغان خىمىيىلىك ماددىلارنىڭ چىرىشىگە قارشى تۇرۇشى كېرەك ، مەسىلەن گىدروفلوئور كىسلاتاسى ، ئاكۇۋا رېگىيىسى قاتارلىقلار. ئاكۇۋا رايونىغا (گىدروخلورىك كىسلاتانىڭ نىترىت كىسلاتاسىنىڭ ھەجىم نىسبىتى 3: 1) 12 سائەت چىلاپ قويۇڭ ، يەر يۈزىدە چىرىشنىڭ ئېنىق ئىزلىرى يوق. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى ھەر خىل خىمىيىلىك چىرىش ۋە تازىلاش جەريانىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، بازىنىڭ ياخشى چىرىشكە چىدامچانلىقى خىمىيىلىك مۇھىتتا ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىتىشنىڭ بۇزۇلماسلىقىغا ، توغرىلىقى ۋە قۇرۇلمىسىنىڭ مۇكەممەللىكىنى ساقلىيالايدۇ.
بۇلغىنىشقا قارشى تۇرۇش: ئاساسىي ماتېرىيالنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا كۆپ ئۇچرايدىغان بۇلغىمىلارنىڭ سۈمۈرۈلۈشى ئىنتايىن تۆۋەن ، مەسىلەن ئورگانىك گاز ، مېتال ئىئون قاتارلىقلار. 10 PPM ئورگانىك گاز (مەسىلەن بېنزول ، تولۇئېن) ۋە 1ppm مېتال ئىئون (مەسىلەن ، مىس ئىئون ، تۆمۈر ئىئونى) بار مۇھىتقا قويۇلغاندا ، يەر يۈزىدىكى بۇلغىمىلارنىڭ سۈمۈرۈلۈشىدىكى ئاساسلىق ئۆزگىرىشلەر. بۇ بۇلغىمىلارنىڭ ئاساسىي يۈزىدىن ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىش رايونىغا يۆتكىلىشى ۋە ئۆزەك سۈپىتىگە تەسىر كۆرسىتىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
يوللانغان ۋاقتى: 28-مارتتىن 2025-يىلغىچە