يەككە ئوق ھاۋاسىنىڭ قوللىنىشچان مەيدانى گرانىت بازىسىدىن پايدىلىنىپ لەيلىمە دەرىجىدىن تاشقىرى ئېنىقلىق ھەرىكەت مودۇلى.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش: ئۆزەك ياساش جەريانىدا ، فوتوگرافلىق جەريان توك يولى ئەندىزىسىنى دەل ۋافېرغا يۆتكىشى كېرەك. يەككە ئوق ھاۋا لەيلىمە دەرىجىدىن تاشقىرى ئېنىقلىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ گرانىت ئاساسى تاش مەتبەئە ئۈسكۈنىلىرىدىكى ۋافېر جەدۋىلىنى يۇقىرى ئېنىق ئورۇن بەلگىلەش ۋە مۇقىم قوللاش بىلەن تەمىنلەيدۇ. مەسىلەن ، ASML ۋە خەلقئاراغا داڭلىق تاش مەتبەئە ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئۆزلىرىنىڭ ئالىي دەرىجىلىك ئۈسكۈنىلىرىدە گرانىت ئاساسى ھاۋا لەيلىمە ھەرىكەت مودۇلى ئىشلىتىدۇ ، ئۇلار نانومېتىر سەۋىيىسىدىكى ۋافېرنىڭ ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقىنى كونترول قىلىپ ، تاش مەتبەئە ئەندىزىسىنىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ ، بۇ ئارقىلىق ئۆزەكنىڭ بىرىكىشى ۋە ئىقتىدارىنى ئۆستۈرىدۇ.
ئېنىق ئۆلچەش مەيدانى: CMM ئادەتتە سانائەت ئىشلەپچىقىرىشىدا ئىشلىتىلىدىغان ئېنىق ئۆلچەش ئۈسكۈنىسى بولۇپ ، ئەسەرنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ، شەكلى ۋە ئورنىنىڭ توغرىلىقىنى ئۆلچەشكە ئىشلىتىلىدۇ. گرانىت بازىسىدا لەيلەپ تۇرىدىغان يەككە ئوق ھاۋاسىنىڭ دەرىجىدىن تاشقىرى ئېنىقلىق ھەرىكەت مودۇلىنى CMM نىڭ ھەرىكەت سۇپىسى قىلىپ ئىشلىتىشكە بولىدۇ ، ئۇ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سىزىقلىق ھەرىكەتنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ ۋە ئۆلچەش ئەسۋابى ئۈچۈن مۇقىم ھەرىكەت يۆنىلىشىنى تەمىنلەيدۇ. مەسىلەن ، Hexagon نىڭ يۇقىرى سەپلىمىلىك CMM بۇ بىرىكمىسى ئارقىلىق چوڭ ۋە مۇرەككەپ زاپچاسلارنى ئۆلچەش ئارقىلىق مىكرو ئۆلچەملىك سەۋىيەگە يېتىدۇ ، ماشىنا ، ئالەم قاتنىشى ۋە باشقا ساھەلەردىكى زاپچاسلارنىڭ سۈپىتىنى كونترول قىلىشقا كۈچلۈك كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ئالەم قاتنىشى مەيدانى: ئالەم بوشلۇقى زاپچاسلىرىنى بىر تەرەپ قىلىش ۋە سىناق قىلىشتا ، يۇقىرى ئېنىقلىق تەلەپ قىلىنىدۇ. مەسىلەن ، ئايروپىلان ماتورىنىڭ تىغلىرىنى پىششىقلاپ ئىشلەش قورالنىڭ ھەرىكەت يۆنىلىشىنى ئېنىق كونترول قىلىپ ، تىغ ئارخىپىنىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. يەككە ئوق ھاۋا لەيلىمە دەرىجىدىن تاشقىرى ئېنىقلىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ گرانىت بازىسىنى بەش ئوقلۇق ماشىنا مەركىزى ۋە باشقا ئۈسكۈنىلەرگە ئىشلىتىپ ، قورالنى يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ھەرىكەت كونتروللۇقى بىلەن تەمىنلەپ ، تىغنىڭ پىششىقلاپ ئىشلەشنىڭ توغرىلىق دەرىجىسى لايىھىلەش تەلىپىگە ماسلىشالايدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، ئاۋىئاتسىيە ماتورىنى قۇراشتۇرۇش جەريانىدا ، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرىنى ئىشلىتىپ زاپچاسلارنىڭ قۇراشتۇرۇش توغرىلىقىنى بايقاش كېرەك. گرانىت بازىسىنىڭ ھاۋا لەيلىمە ھەرىكەت مودۇلى ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرىنى مۇقىم قوللاش ۋە توغرا ھەرىكەت بىلەن تەمىنلەپ ، قۇراشتۇرۇش سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ.
ئوپتىكىلىق تەكشۈرۈش مەيدانى: ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى ياساش ۋە سىناق قىلىش جەريانىدا ، ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى يۇقىرى ئېنىقلىق ئورنى ۋە ئۆلچەش ئېلىپ بېرىش زۆرۈر. مەسىلەن ، ئەينەك ۋە لىنزا قاتارلىق يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى ئىشلەپچىقارغاندا ، ئارىلىق ئارىلىقى ۋە باشقا ئۈسكۈنىلەرنى ئىشلىتىپ ، يەر يۈزىنىڭ توغرىلىقىنى ئېنىقلاش كېرەك. يەككە ئوق ھاۋا لەيلىمە دەرىجىدىن تاشقىرى ئېنىقلىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ گرانىت بازىسىنى ئىنتېرفېرومېتىرنىڭ ھەرىكەت سۇپىسى قىلىپ ئىشلىتىشكە بولىدۇ ، ئۇ مىكرو مىكرو ئورۇننىڭ توغرىلىقىنى ھېس قىلالايدۇ ۋە ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى بايقاشقا توغرا سانلىق مەلۇمات بىلەن تەمىنلەيدۇ. بۇنىڭدىن باشقا ، لازېر پىششىقلاپ ئىشلەش ئۈسكۈنىلىرىدە يەنە يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ھەرىكەت سۇپىسىدىن پايدىلىنىپ لازېر نۇرىنىڭ سىكانېرلاش يۆنىلىشىنى كونترول قىلىش كېرەك ، ھاۋا لەيلىمە ھەرىكەت مودۇلىنىڭ گرانىت ئاساسى بۇ تەلەپنى قاندۇرالايدۇ ، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى لازېر بىر تەرەپ قىلىشنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.