گرانىتنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئېنىقلىق باسقۇچلىرى ۋە ئىلغار ئۆلچەشتىكى مۇھىم رولى

دۇنياۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ھازىر ترانسىستورنىڭ ئۆلچىمى پەقەت بىر قانچە ئاتومنىڭ كەڭلىكى بىلەن ئۆلچەنىدىغان «ئانگستروم دەۋرى»نى داۋاملىق قوغلاش بىلەن شۇغۇللىنىۋاتىدۇ. لىتوگرافىيە ۋە تەكشۈرۈش قوراللىرى بۇ مىكروسكوپ ئۆلچەملىرىگە ئۆتكەندە، قۇرۇلما مۇقىملىقىغا بولغان ئېھتىياج «ماكرو» دىن «نانو» غا ئۆزگەردى. بۇ ئىنقىلابنىڭ مەركىزىدە يەرشارىنىڭ ئۆزىدەك قەدىمكى بىر ماتېرىيال بار: ئېنىق گرانىت.

نۇرغۇن كىشىلەر گرانىتنى ئاددىي تاش دەپ قارىسىمۇ، ئەمما بۇنىڭ بىر مەزمۇنىدانانوئورنىلاشتۇرۇش باسقۇچىياكى يۇقىرى سۈرئەتلىك ۋافېر تەكشۈرۈش سىستېمىسى، ئۇ مۇرەككەپ قۇرۇلۇش كېرامىكىسى. ئاساسىي ئۆلچەش قوراللىرى بىلەن ئىلغار ھەرىكەت سۇپىلىرىنىڭ پەرقىنى چۈشىنىش، كرېمنىي ئىشلەپچىقىرىشتىكى مۇمكىن بولغان چەكلەرنى كېڭەيتىشنى ئۈمىد قىلىدىغان OEM شىركەتلىرى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.

گرانىت CMM بىلەن گرانىت يۈز تاختىسىنىڭ پەرقى: قۇرۇلۇش ئۆزگىرىشىنى چۈشىنىش

نۇرغۇن سۈپەت كونترول تەجرىبىخانىلىرىدا،گرانىت يۈز تاختىسىقولدا ئۆلچەش ئۈچۈن ئىشەنچلىك، تۈز پايدىلىنىش ماتېرىيالى بولغان ھەممە يەردە ئىشلىتىلىدىغان ئۈسكۈنە. قانداقلا بولمىسۇن، يۈزەكى تاختا ۋە گرانىت CMM (كوئوردىنات ئۆلچەش ماشىنىسى) ئاساسىنىڭ ئۆزئارا ئالماشتۇرۇلىدىغانلىقى توغرىسىدا كەڭ تارقالغان خاتا قاراش بار. قۇرۇلۇش نۇقتىسىدىن قارىغاندا، ئۇلار ئىككى خىل مۇرەككەپلىك دەرىجىسىنى ئىپادىلەيدۇ.

يۈزەكى تاختاي تۇراقلىق مۇقىملىق ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. ئۇنىڭ ئاساسلىق ۋەزىپىسى مۇقىم يۈك ئاستىدا تەكشى تۇرۇش. ئەكسىچە، CMM ياكى ئېنىقلىق باسقۇچ ئۈچۈن گرانىت ئاساسى دىنامىك يۈكلەرگە بەرداشلىق بېرىشى كېرەك. CMM نىڭ كۆۋرۈكى ھەرىكەت قىلغاندا ياكى سىزىقلىق ماتور بىر قانچە Gs سۈرئىتىنى ئاشۇرغاندا، گرانىت پەقەت ئېگىلىشكە ئەمەس، بەلكى بۇرۇلۇش ۋە گارمونىك رېزونانسقا قارشى تۇرۇشى كېرەك.

ZHHIMG ئىنژېنېرلىرى يۇقىرى زىچلىق ۋە نېپىز دانچە قۇرۇلمىسى سەۋەبىدىن دىنامىك قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن «قارا گرانىت» نى ئالاھىدە تاللايدۇ. ئۆلچەملىك يۈزەكى تاختا تېخىمۇ كۆپ تۆشۈكلۈك خىلنى ئىشلىتىشى مۇمكىن، ئەمما CMM ئاساسى يۇقىرى سۈرئەتلىك ھەرىكەتنىڭ «چىرقىرىشى» نىڭ ئۆلچەش سانلىق مەلۇماتلىرىنى بۇزۇۋېتىدىغان قۇرۇلما ئۈزۈكىگە ئايلىنىپ كەتمەسلىكىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ئەڭ يۇقىرى يوڭ مودۇلىنى تەلەپ قىلىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئېنىقلىق باسقۇچلىرى: مەھسۇلاتنىڭ ئاساسى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا، ئىشلەپچىقىرىش مىقدارى ۋە مەھسۇلات مىقدارى ئەڭ مۇھىم ئىككى ئۆلچەم. ھەر ئىككىسى بىۋاسىتە ئىقتىدارغا باغلىقئېنىقلىق باسقۇچلىرىDUV/EUV لىتوگرافىيە ماشىنىسىدىكى ۋافېر باسقۇچى بولسۇن ياكى ئاپتوماتىك ئوپتىكىلىق تەكشۈرۈش (AOI) قورالىدىكى ئورۇن بەلگىلەش سىستېمىسى بولسۇن، ئاساسىي ماتېرىيال نانومېتىردىن تۆۋەن تەكرارلىنىشنى قولايلاشتۇرۇشى كېرەك.

بۇ زاۋۇتتىكى ئاساسلىق قىيىنچىلىق ئىسسىقلىق. سىزىقلىق ماتورلار ۋە ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچلەر زور مىقداردا ئىسسىقلىق ئېنېرگىيەسى ھاسىل قىلىدۇ. ئەگەر سەھنە ئاساسى ئاليۇمىن ياكى پولاتتىن ياسالغان بولسا، نەتىجىدە پەيدا بولغان ئىسسىقلىق كېڭىيىشى لېنتىنىڭ تەڭشىلىنىشىدىن چىقىپ، «ئۈستۈنكى قەۋەت خاتالىقى» نى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، پۈتۈن بىر تۈركۈم چىپلارنى ۋەيران قىلىدۇ.

گرانىتنىڭ ئىنتايىن تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى (CTE) ماتور قىزىغان تەقدىردىمۇ، سەھنىنىڭ فىزىكىلىق «خەرىتىسى» نىڭ مۇقىم تۇرۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، ZHHIMG ئۆزىگە خاسلاشتۇرۇلغان گرانىت زاپچاسلىرىنى بىرلەشتۈرۈلگەن ھاۋا كۆتۈرۈش ئۇسۇلى بىلەن تەمىنلەيدۇ. گرانىتنى ئەينەككە ئوخشاش تۈز قىلىپ چاپلىغىلى بولغاچقا، ئۇ ھاۋا كۆتۈرۈش ئۈچۈن ئەڭ مۇكەممەل قارشى تەرەپ بولۇپ، سەھنىلەرنىڭ نېپىز ھاۋا پەردىسىدە نۆل سۈركىلىش ۋە نۆل چاپلىشىش كۈچى بىلەن «سۇ ئۈستىدە» تۇرۇشىغا شارائىت ھازىرلايدۇ.

نانوئورنىلاشتۇرۇش باسقۇچى ئاساسىنىڭ فىزىكىسى

بىز دۇنياسىغا كىرگەندەنانوئورنىلاشتۇرۇش باسقۇچى، بىز ئىنسان چېچىدىن 10،000 ھەسسە كىچىك ھەرىكەتلەرگە دۇچ كېلىۋاتىمىز. بۇ دەرىجىدە تىترەش دۈشمەن. ئۆلچەملىك سانائەت پوللىرى HVAC سىستېمىسى، پىيادىلەر قاتنىشى ۋە يېقىن ئەتراپتىكى ماشىنا-ئۈسكۈنىلەر سەۋەبىدىن ئۈزلۈكسىز تىترەيدۇ.

گرانىت چوڭ كۆلەملىك تۆۋەن ئۆتكۈزۈشچانلىق فىلتىرى رولىنى ئوينايدۇ. ئۇنىڭ يۇقىرى ماسسىسى ۋە يۇقىرى ئىچكى سۈمۈرۈشچانلىقى سەۋەبىدىن، ئۇ يۇقىرى چاستوتىلىق تەۋرىنىشلەرنى سەزگۈر سېنزورلارغا ياكى ۋافېرنىڭ ئۆزىگە يېتىشتىن بۇرۇن تەبىئىي ھالدا سۈمۈرۈۋالىدۇ. بۇ «پاسسىپ ئايرىش» دۇنيادىكى ئالدىنقى قاتاردىكى لىتوگرافىيە تەمىنلىگۈچىلىرىنىڭ ۋاكۇئۇمغا ماس كېلىدىغان باسقۇچلىرى ئۈچۈن ئېغىر، مۇقىم ئاساس بىلەن تەمىنلەشتە ZHHIMG غا تايىنىشىنىڭ سەۋەبى. بىزنىڭ گرانىتىمىز نۆل گاز چىقىرىشنى كاپالەتلەندۈرۈش ئۈچۈن ئالاھىدە بىر تەرەپ قىلىنغان بولۇپ، ئۇنى ئېلېكترون نۇرى ۋە EUV جەريانلىرى ئۈچۈن تەلەپ قىلىنىدىغان يۇقىرى ۋاكۇئۇم مۇھىتىغا ماسلاشتۇرىدۇ.

چەككە يەتكەن سۈرئەتتە ئايلىنىش: ZHHIMG نىڭ ئەۋزەللىكى

خام تاش پارچىسىدىن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ دەرىجىلىك زاپچاسقا ئۆتۈش ئىنتايىن سەۋرچانلىقنى تەلەپ قىلىدىغان بىر سەپەر. CNC ئۇۋىلاش بىزنى يېقىنلاشتۇرسىمۇ، ئەڭ ئاخىرقى «ئىنتايىن ئېنىقلىق» دەرىجىسى قولدا ئۇۋىلاش ئارقىلىق قولغا كەلتۈرۈلىدۇ. بۇ جەرياندا ZHHIMG تېخنىكلىرى بىر قېتىمدا مىكروننىڭ بىر قىسمىنى قىرىپ تاشلاش ئۈچۈن سۈرتكۈچ چاپلاق ۋە قول ھەرىكىتىنى ئىشلىتىدۇ.

بىر ئۈچۈننانوئورنىلاشتۇرۇش باسقۇچى، تۈزلۈك بىردىنبىر تەلەپ ئەمەس؛ يېتەكلىگۈچ يۈزلەرنىڭ پاراللېللىقى ۋە تىكلىكى ئوخشاشلا مۇھىم. بىزنىڭ ئەسلىھەمىز ھەر بىر ئوقنىڭ مۇكەممەل تەڭشەلگەنلىكىنى جەزملەشتۈرۈش ئۈچۈن 0.1 ئوق-سېكۇنت ئېنىقلىقتىكى لازېرلىق ئىز قوغلىغۇچ ۋە ئېلېكترونلۇق سەۋىيەنى ئىشلىتىدۇ. بۇ دەرىجىدىكى قول ھۈنەرۋەنچىلىك خېرىدارنىڭ سىزىقلىق ماتور ۋە كودلىغۇچنى ئورناتقاندا، مېخانىكىلىق ئاساسنىڭ فىزىكا يول قويغاندەك «مۇكەممەل» گە يېقىنلىشىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

كەلگۈسىگە كاپالەتلىك قىلىدىغان Fab

سانائەت 2nm تۈگۈن ۋە ئۇنىڭدىنمۇ ئېشىپ كەتكەنچە، ماتېرىيال ساپلىقى ۋە ئۆلچەم مۇقىملىقىغا بولغان تەلەپ تېخىمۇ كۈچىيىدۇ. گرانىتنى باشقا ئىلغار ماتېرىياللار - مەسىلەن، كاربون تالا كۆۋرۈكلىرى ياكى كېرامىكا ۋاكۇئۇم چاقلىرى بىلەن بىرلەشتۈرۈش ھەرىكەتنى كونترول قىلىشتىكى كېيىنكى چەكلىمە.

ZHHIMG پەقەت تەمىنلىگۈچىدىن باشقا، بەلكى دۇنياۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەمىنلەش زەنجىرىدىكى ھەمكارلىق شېرىكى بولۇشقا سادىق. كېيىنكى ئەۋلاد ئېنىقلىق باسقۇچلىرى ئۈچۈن زۆرۈر بولغان ئىنتايىن مۇقىم ئاساس بىلەن تەمىنلەش ئارقىلىق، كەلگۈسىنى قۇرىدىغان ماشىنىلارنى قۇرۇشقا ياردەم بېرىۋاتىمىز.