يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشقا ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتىنىڭ ئالاھىدە تەسىرى.

?
ئەڭ يۇقىرى ئېنىقلىقنى قوغلىشىدىغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ساھەسىدە، ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى مەھسۇلات سۈپىتى ۋە ئىشلەپچىقىرىش مۇقىملىقىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان ئاساسلىق پارامېتىرلارنىڭ بىرى. فوتولىتوگرافىيە، ئويۇشتىن تارتىپ ئورالمىغىچە بولغان پۈتۈن جەرياندا، ماتېرىياللارنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتلىرىدىكى پەرق ئىشلەپچىقىرىشنىڭ توغرىلىقىغا ھەر خىل ئۇسۇللار بىلەن تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن. قانداقلا بولمىسۇن، ئىنتايىن تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتىغا ئىگە گرانىت ئاساسى بۇ مەسىلىنى ھەل قىلىشنىڭ ئاچقۇچىغا ئايلاندى.
لىتوگرافىيە جەريانى: ئىسسىقلىق دېفورماسىيەسى شەكىل ئۆزگىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ
فوتولىتوگرافىيە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئاساسلىق باسقۇچ. فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسى ئارقىلىق، ماسكىدىكى توك يولى شەكىللىرى فوتورېزىست بىلەن قاپلانغان ۋافلىنىڭ يۈزىگە يۆتكىلىدۇ. بۇ جەرياندا، فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ئىچىدىكى ئىسسىقلىق باشقۇرۇش ۋە خىزمەت ئۈستىلىنىڭ مۇقىملىقى ئىنتايىن مۇھىم. مىسال قىلىپ ئەنئەنىۋى مېتال ماتېرىياللارنى ئالساق. ئۇلارنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى تەخمىنەن 12×10⁻⁶/℃. فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ ئىشلىشى جەريانىدا، لازېر نۇر مەنبەسى، ئوپتىكىلىق لىنزا ۋە مېخانىكىلىق زاپچاسلار تەرىپىدىن ھاسىل قىلىنغان ئىسسىقلىق ئۈسكۈنىنىڭ تېمپېراتۇرىسىنى 5-10 ℃ ئۆرلىتىۋېتىدۇ. ئەگەر لىتوگرافىيە ماشىنىسىنىڭ خىزمەت ئۈستىلى مېتال ئاساس ئىشلەتسە، 1 مېتىر ئۇزۇنلۇقتىكى ئاساس 60-120 μm كېڭىيىش دېفورماتسىيەسىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن، بۇ ماسكا بىلەن ۋافلىنىڭ نىسپىي ئورنىنىڭ ئۆزگىرىشىگە ئېلىپ كېلىدۇ.
ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىدا (مەسىلەن، 3nm ۋە 2nm)، ترانزىستور ئارىلىقى پەقەت بىر قانچە نانومېتىرلا بولىدۇ. بۇنداق كىچىككىنە ئىسسىقلىق دېفورماسىيەسى فوتولىتوگرافىيە ئەندىزىسىنىڭ خاتا تەڭشىلىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، ترانزىستور ئۇلىنىشىنىڭ نورمالسىزلىقى، قىسقا توك يولى ياكى ئۈزۈلۈپ قېلىش قاتارلىق مەسىلىلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، چىپ ئىقتىدارىنىڭ مەغلۇب بولۇشىغا بىۋاسىتە سەۋەب بولىدۇ. گرانىت ئاساسىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى 0.01μm/°C غىچە (يەنى (1-2) ×10⁻⁶/℃) بولۇپ، ئوخشاش تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىدىكى دېفورماسىيە پەقەت مېتالنىڭ 1/10-1/5 قىسمىغا تەڭ. ئۇ فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسى ئۈچۈن مۇقىم يۈك كۆتۈرۈش سۇپىسى بىلەن تەمىنلىيەلەيدۇ، فوتولىتوگرافىيە ئەندىزىسىنىڭ ئېنىق يۆتكىلىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ ۋە چىپ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە ئۆستۈرىدۇ.

ئويۇش ۋە چۆكمە: قۇرۇلمىنىڭ ئۆلچەم توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ
ئويۇش ۋە چۆكمە قىلىش ۋافلىنىڭ يۈزىدە ئۈچ ئۆلچەملىك توك يولى قۇرۇلمىسىنى قۇرۇشنىڭ ئاچقۇچلۇق جەريانلىرى. ئويۇش جەريانىدا، ئاكتىپ گاز ۋافلىنىڭ يۈزەكى ماتېرىيالى بىلەن خىمىيىلىك رېئاكسىيەگە ئۇچرايدۇ. بۇ ئارىدا، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىچىدىكى رادىئو چاستوتا توك بىلەن تەمىنلەش ۋە گاز ئېقىمىنى كونترول قىلىش قاتارلىق زاپچاسلار ئىسسىقلىق ھاسىل قىلىپ، ۋافلىنىڭ تېمپېراتۇرىسىنىڭ ئۆرلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئەگەر ۋافلى توشۇغۇچى ياكى ئۈسكۈنە ئاساسىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى ۋافلىنىڭكىگە ماس كەلمىسە (كرېمنىي ماتېرىيالىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى تەخمىنەن 2.6×10⁻⁶/℃)، تېمپېراتۇرا ئۆزگەرگەندە ئىسسىقلىق بېسىمى پەيدا بولىدۇ، بۇ ۋافلىنىڭ يۈزىدە كىچىك يېرىقلار ياكى بۇرمىلىنىشلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.
بۇ خىل دېفورماتسىيە ئويۇش چوڭقۇرلۇقى ۋە يان تامنىڭ تىكلىكىگە تەسىر كۆرسىتىپ، ئويۇلغان ئويما ئۆڭكۈرلەرنىڭ، تۆشۈكلەر ۋە باشقا قۇرۇلمىلارنىڭ چوڭ-كىچىكلىكىنىڭ لايىھە تەلىپىدىن چەتنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. شۇنىڭغا ئوخشاش، نېپىز پەردە قويۇش جەريانىدا، ئىسسىقلىق كېڭىيىشىدىكى پەرق، قويۇلغان نېپىز پەردىدە ئىچكى بېسىمنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، پەردىنىڭ يېرىلىشى ۋە سويۇلۇشى قاتارلىق مەسىلىلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن، بۇ بولسا چىپنىڭ ئېلېكتر ئىقتىدارى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىكىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ. كرېمنىي ماتېرىياللىرىغا ئوخشاش ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى بار گرانىت ئاساسلىرىنى ئىشلىتىش ئىسسىقلىق بېسىمىنى ئۈنۈملۈك تۆۋەنلىتىپ، ئويۇش ۋە قويۇش جەريانلىرىنىڭ مۇقىملىقى ۋە توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ.
ئورالما باسقۇچى: ئىسسىقلىق ماس كەلمەسلىكى ئىشەنچلىكلىك مەسىلىسىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئورالما باسقۇچىدا، چىپ بىلەن ئورالما ماتېرىيالى (مەسىلەن، ئېپوكسى قەۋىتى، ساپال قاتارلىقلار) ئوتتۇرىسىدىكى ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتىنىڭ ماسلىشىشى ئىنتايىن مۇھىم. چىپنىڭ يادرولۇق ماتېرىيالى بولغان كرېمنىينىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى نىسبەتەن تۆۋەن، كۆپىنچە ئورالما ماتېرىياللىرىنىڭكى بولسا نىسبەتەن يۇقىرى. ئىشلىتىش جەريانىدا چىپنىڭ تېمپېراتۇرىسى ئۆزگەرگەندە، ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتىنىڭ ماس كەلمەسلىكى سەۋەبىدىن چىپ بىلەن ئورالما ماتېرىيالى ئوتتۇرىسىدا ئىسسىقلىق بېسىمى پەيدا بولىدۇ.
بۇ ئىسسىقلىق بېسىمى، قايتا-قايتا تېمپېراتۇرا دەۋرىيلىكىنىڭ تەسىرىدە (مەسىلەن، چىپنىڭ ئىشلىشى جەريانىدا قىزىتىش ۋە سوۋۇتۇش)، چىپ بىلەن ئورالما ئاساسى ئوتتۇرىسىدىكى لېھىملەش ئۇچىنىڭ چارچاپ يېرىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ياكى چىپ يۈزىدىكى باغلاش سىملىرىنىڭ چۈشۈپ كېتىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، ئاخىرىدا چىپنىڭ ئېلېكتر ئۇلىنىشى ئۈزۈلۈپ قالىدۇ. كرېمنىي ماتېرىياللىرىغا يېقىن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى بار ئورالما ئاساسى ماتېرىياللىرىنى تاللاش ۋە ئورالما جەريانىدا توغرىلىقنى بايقاش ئۈچۈن ئېسىل ئىسسىقلىق مۇقىملىقىغا ئىگە گرانىت سىناق سۇپىلىرىنى ئىشلىتىش ئارقىلىق، ئىسسىقلىق ماس كەلمەسلىك مەسىلىسىنى ئۈنۈملۈك ئازايتقىلى، ئورالمىنىڭ ئىشەنچلىكلىكىنى ئاشۇرغىلى ۋە چىپنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرىنى ئۇزارتقىلى بولىدۇ.
ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىنى كونترول قىلىش: ئۈسكۈنىلەر ۋە زاۋۇت بىنالىرىنىڭ ماسلىشىشچان مۇقىملىقى
ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىشتىن باشقا، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتلىرىنىڭ ئومۇمىي مۇھىت كونتروللۇقى بىلەنمۇ مۇناسىۋەتلىك. چوڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش سېخلىرىدا، ھاۋا تەڭشىگۈچ سىستېمىسىنىڭ قوزغىلىشى ۋە توختىتىلىشى ۋە ئۈسكۈنىلەر توپىنىڭ ئىسسىقلىق تارقىلىشى قاتارلىق ئامىللار مۇھىت تېمپېراتۇرىسىنىڭ ئۆزگىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. ئەگەر زاۋۇت پول، ئۈسكۈنە ئاساسى ۋە باشقا ئۇل ئەسلىھەلەرنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى بەك يۇقىرى بولسا، ئۇزۇن مۇددەتلىك تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى پولنىڭ يېرىلىشىنى ۋە ئۈسكۈنە ئاساسىنىڭ يۆتكىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇنىڭ بىلەن فوتولىتوگرافىيە ماشىنىسى ۋە ئويۇش ماشىنىسى قاتارلىق ئېنىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
گرانىت ئاساسلىرىنى ئۈسكۈنە تىرەش قىلىپ ئىشلىتىش ۋە ئۇلارنى ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى تۆۋەن بولغان زاۋۇت قۇرۇلۇش ماتېرىياللىرى بىلەن بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق، مۇقىم ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتى يارىتىلىپ، مۇھىت ئىسسىقلىق دېفورماتسىيەسى كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان ئۈسكۈنىلەرنى تەڭشەش ۋە ئاسراش تەننەرخىنى ئازايتقىلى، ھەمدە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىنىڭ ئۇزۇن مۇددەتلىك مۇقىم ئىشلىشىگە كاپالەتلىك قىلغىلى بولىدۇ.
ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ پۈتۈن ھاياتلىق دەۋرىيلىكىنى، ماتېرىيال تاللاش، جەرياننى كونترول قىلىشتىن تارتىپ ئوراپ قاچىلاش ۋە سىناق قىلىشقىچە بولغان جەرياننى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئىسسىقلىق كېڭىيىشنىڭ تەسىرىنى ھەر بىر ھالقىدا قاتتىق ئويلىشىش كېرەك. گرانىت ئاساسلىرى، ئىنتايىن تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى ۋە باشقا ئېسىل خۇسۇسىيەتلىرى بىلەن، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن مۇقىم فىزىكىلىق ئاساس بىلەن تەمىنلەيدۇ ھەمدە چىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىققا قاراپ تەرەققىي قىلىشىنى ئىلگىرى سۈرۈشنىڭ مۇھىم كاپالىتىگە ئايلىنىدۇ.