ۋافېر تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرىنى تاللاش قوللانمىسى: گرانىت ۋە چويۇننىڭ 10 يىللىق ئۆلچەم مۇقىملىقىنى سېلىشتۇرۇش.

?
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ساھەسىدە، ۋافېر تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ توغرىلىقى بىۋاسىتە چىپلارنىڭ سۈپىتى ۋە ئۈنۈمىنى بەلگىلەيدۇ. يادرولۇق بايقاش زاپچاسلىرىنى قوللايدىغان ئاساس بولۇش سۈپىتى بىلەن، ئۈسكۈنە ئاساسى ماتېرىيالىنىڭ ئۆلچەملىك مۇقىملىقى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشلىتىش ئىقتىدارىدا مۇھىم رول ئوينايدۇ. گرانىت ۋە چويۇن ۋافېر تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرىدە كۆپ ئىشلىتىلىدىغان ئىككى ئاساسىي ماتېرىيال. 10 يىللىق سېلىشتۇرما تەتقىقات ئۇلارنىڭ ئۆلچەملىك مۇقىملىق جەھەتتىكى مۇھىم پەرقىنى ئاشكارىلىدى، بۇ ئۈسكۈنە تاللاش ئۈچۈن مۇھىم پايدىلىنىش ماتېرىياللىرى بىلەن تەمىنلىدى.
تەجرىبە ئارقا كۆرۈنۈشى ۋە لايىھىسى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېر ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنىڭ بايقاش توغرىلىقىغا بولغان تەلىپى ئىنتايىن يۇقىرى. ھەتتا مىكرومېتىر دەرىجىسىدىكى ئۆلچەم ئۆزگىرىشىمۇ چىپنىڭ ئىقتىدارىنىڭ تۆۋەنلىشىگە ياكى ھەتتا قالدۇققا ئايلىنىشىغا ئېلىپ كېلىشى مۇمكىن. ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشلىتىش جەريانىدا گرانىت ۋە چويۇننىڭ ئۆلچەم مۇقىملىقىنى تەكشۈرۈش ئۈچۈن، تەتقىقات گۇرۇپپىسى ھەقىقىي خىزمەت مۇھىتىنى تەقلىد قىلىدىغان سىناقلارنى لايىھەلىدى. ئوخشاش ئۆلچەمدىكى گرانىت ۋە چويۇن ئەۋرىشكىلىرى تاللىنىپ، تېمپېراتۇرا 15℃ دىن 35℃ گىچە، نەملىك 30% تىن 70% RH غىچە ئۆزگىرىدىغان مۇھىت كامېراسىغا قويۇلدى. ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلىتىلىش جەريانىدىكى مېخانىكىلىق تەۋرىنىش تىترەش جەدۋىلى ئارقىلىق تەقلىد قىلىندى. ئەۋرىشكىلەرنىڭ ئاساسلىق ئۆلچەملىرى ھەر پەسىلدە يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى لازېرلىق ئارىلاشما ئۆلچەش ئۈسكۈنىسى ئارقىلىق ئۆلچەندى، ھەمدە سانلىق مەلۇماتلار 10 يىل ئۈزلۈكسىز خاتىرىلەندى.

تەجرىبە نەتىجىسى: گرانىتنىڭ مۇتلەق ئەۋزەللىكى
ئون يىللىق تەجرىبە سانلىق مەلۇماتلىرىدىن قارىغاندا، گرانىت ئاساسىي قىسمى ھەيران قالارلىق مۇقىملىققا ئىگە. ئۇنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى ئىنتايىن تۆۋەن بولۇپ، ئوتتۇرىچە 4.6 × 10⁻⁶/℃. تېمپېراتۇرا زور دەرىجىدە ئۆزگەرگەندە، ئۆلچەم ئۆزگىرىشى ھەمىشە ±0.001mm ئىچىدە كونترول قىلىنىدۇ. نەملىك ئۆزگىرىشىگە دۇچ كەلگەندە، گرانىتنىڭ زىچ قۇرۇلمىسى ئۇنىڭغا دېگۈدەك تەسىر كۆرسەتمەيدۇ، ھەمدە ئۆلچىگىلى بولىدىغان ئۆلچەم ئۆزگىرىشى يۈز بەرمەيدۇ. مېخانىكىلىق تىترەش مۇھىتىدا، گرانىتنىڭ ئەلا سۈپەتلىك سۈمۈرۈش خۇسۇسىيىتى تىترەش ئېنېرگىيەسىنى ئۈنۈملۈك سۈمۈرەلەيدۇ، ئۆلچەم ئۆزگىرىشى ئىنتايىن كىچىك.
بۇنىڭغا سېلىشتۇرغاندا، چويۇن ئاساسىي ماتېرىيالىنىڭ ئوتتۇرىچە ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ غا يېتىدۇ، 10 يىل ئىچىدە تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان ئەڭ چوڭ ئۆلچەم ئۆزگىرىشى ±0.05mm. نەم مۇھىتتا، چويۇن داتلىشىش ۋە چىرىشكە مايىل. بەزى ئەۋرىشكىلەردە يەرلىك دېفورماتسىيە كۆرۈلىدۇ، ئۆلچەم ئۆزگىرىشى تېخىمۇ ئاشىدۇ. مېخانىكىلىق تەۋرىنىشنىڭ تەسىرىدە، چويۇننىڭ تەۋرىنىشنى پەسەيتىش ئىقتىدارى ناچار، ئۇنىڭ چوڭلۇقى دائىم ئۆزگىرىپ تۇرىدۇ، بۇ بولسا ۋافېر تەكشۈرۈشىنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىق تەلىپىگە يېتىشنى قىيىنلاشتۇرىدۇ.
مۇقىملىقتىكى پەرقنىڭ ئاساسلىق سەۋەبى
گرانىت يۈز مىليون يىللار داۋامىدا گېئولوگىيەلىك جەريانلار ئارقىلىق شەكىللەنگەن. ئۇنىڭ ئىچكى قۇرۇلمىسى زىچ ۋە بىردەك بولۇپ، مىنېرال كرىستاللىرى مۇقىم ئورۇنلاشتۇرۇلغان بولۇپ، تەبىئىي ھالدا ئىچكى بېسىمنى يوقىتىدۇ. بۇ ئۇنى تېمپېراتۇرا، نەملىك ۋە تىترەش قاتارلىق تاشقى ئامىللارنىڭ ئۆزگىرىشىگە ئىنتايىن سەزگۈر قىلمايدۇ. چويۇن قۇيۇش ئۇسۇلى ئارقىلىق ياسىلىدۇ ۋە ئىچىدە تۆشۈك ۋە قۇم تۆشۈكلىرى قاتارلىق مىكروسكوپ نۇقسانلار بار. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، قۇيۇش جەريانىدا پەيدا بولغان قالدۇق بېسىم تاشقى مۇھىتنىڭ تەسىرىدە ئۆلچەم ئۆزگىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. چويۇننىڭ مېتال خۇسۇسىيىتى ئۇنىڭ نەملىك سەۋەبىدىن داتلىشىشىغا، قۇرۇلمىنىڭ بۇزۇلۇشىنى تېزلىتىشىگە ۋە ئۆلچەم مۇقىملىقىنى تۆۋەنلىتىشىگە سەۋەب بولىدۇ.
ۋافېر تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرىگە تەسىرى
گرانىت ئاساسقا ئاساسلانغان ۋافېر تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرى مۇقىم ئۆلچەملىك ئىقتىدارى بىلەن تەكشۈرۈش سىستېمىسىنىڭ ئۇزۇن مۇددەت يۇقىرى ئېنىقلىقنى ساقلىشىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ توغرىلىق ئۆزگىرىشىدىن كېلىپ چىققان خاتا ھۆكۈم ۋە بايقاشنىڭ قولدىن كېتىشىنى ئازايتىدۇ ھەمدە مەھسۇلاتنىڭ مەھسۇلات مىقدارىنى كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە ياخشىلايدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، تۆۋەن ئاسراش تەلىپى ئۈسكۈنىلەرنىڭ پۈتۈن ئۆمرىنىڭ تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ. چويۇن ئاساس ئىشلىتىلگەن ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۆلچەملىك مۇقىملىقى ناچار بولغاچقا، دائىم تەڭشەش ۋە ئاسراشنى تەلەپ قىلىدۇ. بۇ پەقەت ئىشلىتىش تەننەرخىنى ئاشۇرۇپلا قالماي، يەنە ئېنىقلىقنىڭ يېتەرلىك بولماسلىقى سەۋەبىدىن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش سۈپىتىگە تەسىر كۆرسىتىپ، ئىقتىسادىي زىيانلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە يۇقىرى سۈپەتكە ئىنتىلىشى يۈزلىنىشى ئاستىدا، گرانىتنى لېنتا تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاساسىي ماتېرىيالى قىلىپ تاللاش، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارىنى كاپالەتلەندۈرۈش ۋە كارخانىلارنىڭ رىقابەت كۈچىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن، شۈبھىسىزكى، ئەقىللىق بىر قەدەم.