مور قانۇنىنى قوغلىشىش جەريانىدا، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ئاتوم دەرىجىسىدىكى ئېنىقلىق ئۆلچەم بولغان، مۇستەسنا ئەمەس بىر ساھەگە كىردى. بىز بارغانسېرى كىچىكرەك جەريان تۈگۈنلىرىگە قاراپ ئىلگىرىلەۋاتقاندا، كرېمنىي ۋاپېرلىرى پىششىقلاپ ئىشلەنگەن مۇھىت ئەنئەنىۋى قۇرۇلۇش ماتېرىياللىرىغا ئىنتايىن قارشىلىق كۆرسىتىپ كەلدى. بولۇپمۇ، ئىلغار چۆكمە ۋە ئويۇش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان يۇقىرى ۋاكۇئۇم كامېرالىرىدا، ماشىنا ئاساسىنى تاللاش پەقەت ئېغىرلىق ۋە قاتتىقلىق بىلەنلا چەكلىنىپ قالمايدۇ. بۈگۈنكى كۈندە، دۇنيادىكى ئالدىنقى قاتاردىكى OEM شىركەتلىرى مۇھىم بىر سوئالنى سورىماقتا: ئىچكى قۇرۇلمىلىرىمىزنىڭ ماتېرىيالى ۋاكۇئۇمنىڭ ئۆزىنىڭ پۈتۈنلۈكىگە قانداق تەسىر كۆرسىتىدۇ؟ بۇ يەردە تېخنىكىلىق ئۈستۈنلۈكنى نامايان قىلىدۇ.گاز چىقىرىش مىقدارى تۆۋەن گرانىت ئاساسلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچقوللىنىش كەسىپنى بەلگىلەيدىغان ئامىلغا ئايلىنىۋاتىدۇ.
گاز چىقىرىش ھادىسىسى - قاتتىق ماتېرىيالدىن تۇتۇلغان گازلارنىڭ قويۇپ بېرىلىشى - ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا ئاپەت خاراكتېرلىك بولۇشى مۇمكىن. ھەتتا مىكروسكوپ زەررىچىلەر ياكى گاز مولېكۇلالىرىمۇ ۋافېرنى بۇلغىشى مۇمكىن، بۇ زور مىقداردا مەھسۇلات مىقدارىنىڭ تۆۋەنلىشىگە ئېلىپ كېلىدۇ. ئەنئەنىۋى بىرىكمە ماتېرىياللار ياكى بىر تەرەپ قىلىنغان مېتاللار كۆپىنچە يۇقىرى ۋاكۇئۇم ماسلىشىشچانلىقىنىڭ قاتتىق تەلىپىگە يېتىشتە قىينىلىدۇ. تەبىئىي قارا گرانىت، مۇتەخەسسىسلەر تەرىپىدىن ئىنچىكە پىششىقلاپ تازىلانغاندا، تەبىئىي ئىنېرتلىق پىروفىل بىلەن تەمىنلەيدۇ. ZHHIMG گۇرۇھى ئۈچۈن، گرانىت تەركىبلىرىمىزنىڭ بۇ تۆۋەن گاز چىقىرىش ئۆلچىمىگە يېتىشىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىش ئۈچۈن پەقەت ئەڭ يۇقىرى زىچلىقتىكى، ئەڭ تۆۋەن تۆشۈكلۈكتىكى تاش تاللىنىدىغان خاس تاللاش جەريانى بار. بۇ، ۋاكۇئۇم ئەسلىگە كېلىش ۋاقتىنىڭ ئەڭ تۆۋەن چەكتە ساقلىنىشىغا ۋە بىر تەرەپ قىلىش مۇھىتىنىڭ ساپلىقىنىڭ ساقلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ۋاكۇئۇم پۈتۈنلۈكىدىن باشقا، فوتولىتوگرافىيە جەريانىدىكى قۇرۇلما ئاساسىنىڭ رولىمۇ ئوخشاشلا مۇھىم. يورۇقلۇق مەنبەلىرى ئەڭ يۇقىرى ئۇلترابىنەفشە نۇرغا (EUV) ئۆتكەندە، ۋافېر ۋە تورنى ئېلىپ يۈرىدىغان ھەرىكەت سىستېمىسى ئەنئەنىۋى مېخانىكىلىق چەكلىمىلەرگە قارشى تۇرىدىغان ماسلىشىشچانلىق دەرىجىسىدە ھەرىكەت قىلىشى كېرەك. Aفوتولىتگرافىيە ماشىنىسى ئۈچۈن گرانىت سەھنەبۇ ئېنىقلىق ئۈچۈن زۆرۈر بولغان غايەت زور، تەۋرىنىشنى پەسەيتىدىغان پايدىلىنىش تۈزلەڭلىكىنى تەمىنلەيدۇ. گرانىتنىڭ ئىچكى ماسسىسى تۆۋەن ئۆتكۈزۈشچانلىق سۈزگۈچ رولىنى ئوينايدۇ، بولمىسا نەپىس ئوپتىكىلىق تۈۋرۈكلەر تەرىپىدىن كۈچەيتىلىدىغان يۇقىرى چاستوتىلىق يەر تەۋرىنىشىنى سۈمۈرىدۇ. بۇ ئېغىر، مۇقىم ئاساس بولمىسا، زامانىۋى مىكروچىپلار ئۈچۈن تەلەپ قىلىنىدىغان نانومېتىردىن تۆۋەن قاپلاش توغرىلىقىغا ئېرىشىش فىزىكىلىق جەھەتتىن مۇمكىن ئەمەس ئىدى.
ئىسسىقلىق باشقۇرۇش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىكى يەنە بىر مۇھىم توسالغۇ بولۇپ قالدى. ئۈزلۈكسىز ئىشلەۋاتقان سائەتلەردە، يۇقىرى سۈرئەتلىك سىزىقلىق ماتورلار ھاسىل قىلغان ئىسسىقلىق ماشىنا ئاساسىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. مېتاللار تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىگە ئەگىشىپ كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە كېڭىيىپ، قىسقىرايدىغان بولسىمۇ، گرانىت تېمپېراتۇرا كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى ئىنتايىن تۆۋەن. بۇ ئۆلچەملىك مۇقىملىق ... نى كاپالەتلەندۈرىدۇ.فوتولىتگرافىيە ماشىنىسى ئۈچۈن گرانىت سەھنەكۈچلۈك ئىشلەپچىقىرىش دەۋرىيلىكىدىمۇ گېئومېتىرىيەلىك جەھەتتىن مۇكەممەل ساقلىنىدۇ. بۇ ئىشەنچلىكلىك كالىبراتسىيە ئارىلىقىنى ئۇزارتىشقا يول قويىدۇ، بۇ بىۋاسىتە كرېمنىي ۋادىسى ۋە درېسدېن ۋە ئېيندخوۋېندىكى ياۋروپا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ مەركەزلىرى قاتارلىق رايونلاردىكى زاۋۇت مەشغۇلاتچىلىرىنىڭ ئىش ۋاقتىنىڭ ئېشىشى ۋە پايدا نىسبىتىنىڭ ئېشىشىغا تۈرتكە بولىدۇ.
ZHHIMG نىڭ كۆزىتىشىچە، بۇ تەركىبلەرنى بىرلەشتۈرۈش ئۈچۈن پاكىز ئۆي قائىدىلىرىنى چوڭقۇر چۈشىنىش كېرەك. پەقەت يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تاش بىلەن تەمىنلەشلا يېتەرلىك ئەمەس؛ ئۇ «پاكىز ئۆيگە تەييار» بولۇشى كېرەك. بۇ دېگەنلىك، گرانىت زەررىچىلەرنىڭ تۆكۈلۈشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن بىر تەرەپ قىلىنىشى ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئەسلىھەلەردە ئىشلىتىلىدىغان ئاكتىپ تازىلاش دورىلىرى بىلەن ماس كېلىشى كېرەك. دىققەتنى مەركەزلەشتۈرۈش ئارقىلىقگاز چىقىرىش مىقدارى تۆۋەن گرانىت ئاساسلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچچارى سۈپىتىدە، ZHHIMG پەقەت قوللاش قۇرۇلمىسىلا ئەمەس، بەلكى بۇلغىنىشنى كونترول قىلىش ئىستراتېگىيىسىنىڭ تولۇق بىر گەۋدىلەشكەن تەركىبىي قىسمى بولغان مەھسۇلات بىلەن تەمىنلەيدۇ. بۇ قۇرۇلۇشقا بولغان ئومۇميۈزلۈك قاراش ئۆلچەملىك سانائەت تەمىنلىگۈچىسىنى كەسپىي يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ھەمراھىدىن پەرقلەندۈرىدۇ.
بۇنىڭدىن باشقا، زامانىۋى لىتوگرافىيە قوراللىرىنىڭ مۇرەككەپلىكى گرانىتنىڭ ئۆزىدىكى مۇرەككەپ ئىچكى گېئومېتىرىيەنى تەلەپ قىلىدۇ. مۇرەككەپ كابېل باشقۇرۇش قاناللىرىدىن تارتىپ بىرلەشتۈرۈلگەن ھاۋا كۆتۈرۈش يۈزىگىچە، بىر ... نى ياساش ...فوتولىتگرافىيە ماشىنىسى ئۈچۈن گرانىت سەھنەبۇ جەريان يۈزلىگەن سائەتلىك يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى CNC پىششىقلاپ ئىشلەشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، ئاندىن قولدا ئىنچىكە چاپلاش ئېلىپ بېرىلىدۇ. ZHHIMG شىركىتىدە، بىز ئىلگىرى تەبىئىي تاش ئۈچۈن مۇمكىن ئەمەس دەپ قارالغان يۈزەكى پۇراقلىق ۋە تۈزلۈككە چىداملىقلىق دەرىجىسىگە ئېرىشىمىز. قەدىمكى ماتېرىيال ۋە كەلگۈسى تېخنىكىسىنىڭ بۇ بىرلىشىشى رەقەملىك دۇنيانىڭ قۇرۇلۇشىنىڭ ئاساسى بولۇپ، دۇنيا ئىقتىسادىمىزنى ھەرىكەتلەندۈرىدىغان سېنزورلار، بىر تەرەپ قىلغۇچلار ۋە ئىچكى ساقلىغۇچ چىپلىرىنى قوللايدۇ.
خۇلاسە قىلىپ ئېيتقاندا، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى 1nm دىن تۆۋەن دەۋرگە قاراپ داۋاملىق ئالغا ئىلگىرىلەۋاتقان بولغاچقا، ماددىي ئاساسنىڭ مۇھىملىقىنى ئاشۇرۇپ ئېيتىشقا بولمايدۇ. بىر ماشىنا پەقەت ئۇنىڭ ئاساسى قانچىلىك كۈچلۈك بولسا، شۇنچىلىك ئىقتىدارلىق بولىدۇ. بىرنى ئالدىنقى ئورۇنغا قويۇش ئارقىلىقگاز چىقىرىش مىقدارى تۆۋەن گرانىت ئاساسلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچئەڭ يۇقىرى سۈپەتلىك قۇرۇلۇشقا ئاساس سېلىش ۋە مەبلەغ سېلىشفوتولىتگرافىيە ماشىنىسى ئۈچۈن گرانىت سەھنەزاپچاسلار، ئۈسكۈنە ئىشلەپچىقارغۇچىلار كېيىنكى ئون يىللىق يېڭىلىق يارىتىش ئۈچۈن تەلەپ قىلىنىدىغان مۇقىملىق ۋە ساپلىقنى كاپالەتلەندۈرمەكتە. ZHHIMG گۇرۇھى ماتېرىيال ئىلمىنىڭ چېگراسىنى كېڭەيتىشكە سادىق بولۇپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ ئاساسىنىڭ ئۆزى قوللايدىغان تېخنىكىغا ئوخشاش پۇختا ۋە ئېنىق بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 3-ئاينىڭ 3-كۈنى