لىتوگرافىيە ئۈسكۈنىلىرىدىن لازېر ئارىلىشىش ئۆلچەش ئەسۋابلىرىغىچە بولغان يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئوپتىكىلىق سىستېمىلار ساھەسىدە، تەڭشەش توغرىلىقى سىستېمىنىڭ ئىقتىدارىنى بەلگىلەيدۇ. ئوپتىكىلىق تەڭشەش سۇپىلىرى ئۈچۈن ئاساسىي ماتېرىيالنى تاللاش پەقەت مەۋجۇتلۇقنى تاللاش ئەمەس، بەلكى ئۆلچەش توغرىلىقى، ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىكىگە تەسىر كۆرسىتىدىغان مۇھىم قۇرۇلۇش قارارى. بۇ تەھلىلدە مىقدار سانلىق مەلۇماتلىرى ۋە كەسىپتىكى ئەڭ ياخشى ئەمەلىيەتلەر بىلەن قوللايدىغان، ئېنىقلىقتىكى ئەينەك ئاساسىي ماتېرىياللارنى ئوپتىكىلىق تەڭشەش سىستېمىسى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى تاللاش قىلىدىغان بەش مۇھىم ئۆلچەم تەكشۈرۈلىدۇ.
كىرىش سۆز: ئاساسىي ماتېرىياللارنىڭ ئوپتىكىلىق تەڭشەشتىكى مۇھىم رولى
ئوپتىكىلىق تەڭشەش سىستېمىسى ئالاھىدە ئۆلچەملىك مۇقىملىقنى ساقلاپ، ئەلا سۈپەتلىك ئوپتىكىلىق خۇسۇسىيەتلەرنى تەمىنلەيدىغان ماتېرىياللارنى تەلەپ قىلىدۇ. فوتون تەركىبلىرىنى ئاپتوماتىك ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا تەڭشەش بولسۇن ياكى مېترولوگىيە تەجرىبىخانىلىرىدا ئارىلىشىشچان پايدىلىنىش يۈزلىرىنى ساقلاش بولسۇن، ئاساسىي ماتېرىيال ئوخشىمىغان ئىسسىقلىق يۈكى، مېخانىكىلىق بېسىم ۋە مۇھىت شارائىتى ئاستىدا مۇقىم ھەرىكەت قىلىشى كېرەك.
ئاساسىي خىرىس:
ئادەتتىكى ئوپتىكىلىق تەڭشەش ئەھۋالىنى كۆزدە تۇتۇڭ: فوتونىك يىغىش سىستېمىسىدا ئوپتىكىلىق تالالارنى تەڭشەش ±50 نانومېتىر دائىرىسىدە ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقىنى تەلەپ قىلىدۇ. ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى (CTE) 7.2 × 10⁻⁶ /K (ئادەتتىكى ئاليۇمىن ئۈچۈن) بولغاندا، 100 مىللىمېتىرلىق ئاساسىي تاختىنىڭ تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى پەقەت 1°C بولۇپ، 720 نانومېتىرلىق ئۆلچەم ئۆزگىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇ تەلەپ قىلىنىدىغان تەڭشەش چىدامچانلىقىنىڭ 14 ھەسسىسىدىن ئارتۇق. بۇ ئاددىي ھېسابلاش ماتېرىيال تاللاشنىڭ ئىككىنچى قارار ئەمەس، بەلكى ئاساسىي لايىھەلەش پارامېتىرى ئىكەنلىكىنى تەكىتلەيدۇ.
1-تەلەپ: ئوپتىكىلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە سپېكتر ئىقتىدارى
پارامېتىر: بەلگىلەنگەن دولقۇن ئۇزۇنلۇقى دائىرىسىدە (ئادەتتە 400-2500 nm) %92 تىن يۇقىرى يەتكۈزۈش، يۈزەكى پۇختىلىقى Ra ≤ 0.5 nm.
نېمىشقا ماسلاشتۇرۇش سىستېمىسى ئۈچۈن مۇھىم:
ئوپتىكىلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى بىۋاسىتە تەڭشەش سىستېمىلىرىنىڭ سىگنال-شاۋقۇن نىسبىتىگە (SNR) تەسىر كۆرسىتىدۇ. ئاكتىپ تەڭشەش جەريانلىرىدا، ئوپتىكىلىق قۇۋۋەت ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ياكى فوتودېتېكتورلار سىستېما ئارقىلىق يەتكۈزۈشنى ئۆلچەپ، زاپچاسلارنىڭ ئورنىنى ئەلالاشتۇرىدۇ. يۇقىرى ئاساسىي سۇبسترات ئۆتكۈزۈشچانلىقى ئۆلچەش توغرىلىقىنى ئاشۇرىدۇ ۋە تەڭشەش ۋاقتىنى قىسقارتىدۇ.
مىقدار تەسىرى:
ئوپتىكىلىق تەڭشەش سىستېمىسى ئارقىلىق ئۆتكۈزۈشنى تەڭشەش (تەڭشەش نۇرلىرى ئاساسىي قاتلامدىن ئۆتىدىغان) قوللىنىلىدۇ، ئۆتكۈزۈشچانلىقىنىڭ ھەر %1 ئېشىشى تەڭشەش دەۋرىيلىكى ۋاقتىنى %3-5 قىسقارتالايدۇ. ئاپتوماتىك ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا، ئىشلەپچىقىرىش مىقدارى مىنۇتىغا بىر قىسىم بىلەن ئۆلچەنگەندە، بۇ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنىڭ زور دەرىجىدە ئېشىشىغا ئېلىپ كېلىدۇ.
ماتېرىيال سېلىشتۇرۇش:
| ماتېرىيال | كۆرۈنگەن ئۆتكۈزۈشچانلىقى (400-700 نانومېتىر) | يېقىن ئىنفىرا قىزىل نۇر ئۆتكۈزۈشچانلىقى (700-2500 nm) | يۈزەكى پۇختىلىق ئىقتىدارى |
|---|---|---|---|
| N-BK7 | >95% | >95% | Ra ≤ 0.5 nm |
| ئېرىتىلگەن كرېمنىي | >95% | >95% | Ra ≤ 0.3 nm |
| Borofloat®33 | ~92% | ~90% | Ra ≤ 1.0 nm |
| AF 32® ئېكولوگىيىلىك | ~93% | >93% | Ra < 1.0 nm RMS |
| Zerodur® | يوق (كۆرۈنۈشلۈك ھالەتتە تۇتۇق ئەمەس) | يوق | Ra ≤ 0.5 nm |
يۈزە سۈپىتى ۋە چېچىلىش:
يۈزەكى پۇراقلىق چېچىلىش زىيىنى بىلەن بىۋاسىتە مۇناسىۋەتلىك. Rayleigh چېچىلىش نەزەرىيىسىگە ئاساسلانغاندا، چېچىلىش زىيىنى يۈزەكى پۇراقلىقنىڭ دولقۇن ئۇزۇنلۇقىغا نىسبەتەن ئالتىنچى دەرىجىسى بىلەن تەڭلىشىدۇ. 632.8 nm HeNe لازېر تەڭشەش نۇرى ئۈچۈن، يۈزەكى پۇراقلىقنى Ra = 1.0 nm دىن Ra = 0.5 nm غىچە تۆۋەنلىتىش چېچىلىش نۇرىنىڭ كۈچلۈكلۈكىنى %64 تۆۋەنلىتىپ، تەڭشەش توغرىلىقىنى كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە ياخشىلىيالايدۇ.
رېئال دۇنيادىكى قوللىنىشچان پروگراممىلار:
ۋافېر دەرىجىلىك فوتونىك تەڭشەش سىستېمىسىدا، Ra ≤ 0.3 nm يۈزەكى يۈزىگە ئىگە ئېرىتىلگەن كرېمنىي ئاساسلىرىنى ئىشلىتىش 20 nm دىن ياخشى تەڭشەش توغرىلىقىنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ، بۇ 10 μm دىن تۆۋەن ھالەت مەيدانى دىئامېتىرىغا ئىگە كرېمنىي فوتونىك ئۈسكۈنىلەر ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
2-تەلەپ: يۈزەكى تۈزلۈك ۋە ئۆلچەملىك مۇقىملىق
پارامېتىر: يۈزەكى تۈزلۈك ≤ λ/20، 632.8 nm (تەخمىنەن 32 nm PV)، قېلىنلىقى بىردەكلىكى ±0.01 مىللىمېتىر ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى.
نېمىشقا ماسلاشتۇرۇش سىستېمىسى ئۈچۈن مۇھىم:
يۈزە تۈزلۈكى تەڭشەش ئاساسى، بولۇپمۇ نۇر قايتۇرۇش ئوپتىكىلىق سىستېمىلار ۋە ئارىلىشىشچان قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن ئەڭ مۇھىم ئۆلچەم. تۈزلۈكتىن چەتنىش دولقۇن يۈزى خاتالىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇ بىۋاسىتە تەڭشەش توغرىلىقى ۋە ئۆلچەش توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
تۈزلۈك فىزىكىسىنىڭ تەلىپى:
632.8 nm HeNe لازېرى بار لازېر ئارىلاشما ئۆلچەش ئەسۋابى ئۈچۈن، يۈزەكى تۈزلۈك λ/4 (158 nm) نورمال چۈشۈشتە يېرىم دولقۇن (يۈزەكىنىڭ ئىككى ھەسسىسى) دولقۇن يۈزى خاتالىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ 100 nm دىن ئېشىپ كېتىدىغان ئۆلچەش خاتالىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن، بۇ ئېنىقلىق ئۆلچەش قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن قوبۇل قىلىنمايدۇ.
قوللىنىش ئۇسۇلى بويىچە تۈرگە ئايرىش:
| تۈزلۈك ئۆلچىمى | قوللىنىش سىنىپى | ئادەتتىكى ئىشلىتىش ئەھۋاللىرى |
|---|---|---|
| ≥1λ | سودا دەرىجىسى | ئادەتتىكى يورۇتۇش، مۇھىم ئەمەس تەڭشەش |
| λ/4 | ئىشلەۋاتقان دەرىجىلىك | تۆۋەن-ئوتتۇرا قۇۋۋەتلىك لازېرلار، سۈرەتكە تارتىش سىستېمىلىرى |
| ≤λ/10 | ئېنىقلىق دەرىجىسى | يۇقىرى قۇۋۋەتلىك لازېرلار، مېترولوگىيە سىستېمىلىرى |
| ≤λ/20 | ئىنتايىن ئېنىق | ئىنتېرفېرومېتىرىيە، لىتوگرافىيە، فوتونىك يىغىش |
ئىشلەپچىقىرىشتىكى قىيىنچىلىقلار:
چوڭ ئاساسىي قاتلاملاردا (200 مىللىمېتىردىن يۇقىرى) λ/20 تەكشىلىككە ئېرىشىش ئىشلەپچىقىرىشتا زور قىيىنچىلىقلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئاساسىي قاتلام چوڭلۇقى بىلەن ئېرىشكىلى بولىدىغان تەكشىلىك ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەت بىر كۋادرات قانۇنىغا ئەمەل قىلىدۇ: ئوخشاش بىر پىششىقلاش سۈپىتى ئۈچۈن، تەكشىلىك خاتالىقى دىئامېتىرنىڭ كۋادراتىغا ئاساسەن تەخمىنەن چوڭىيىدۇ. ئاساسىي قاتلام چوڭلۇقىنى 100 مىللىمېتىردىن 200 مىللىمېتىرغىچە ئىككى ھەسسە ئاشۇرۇش تەكشىلىك ئۆزگىرىشىنى 4 ھەسسە ئاشۇرۇۋېتىدۇ.
رېئال دۇنيادىكى ئەھۋال:
بىر لىتوگرافىيە ئۈسكۈنىسى ئىشلەپچىقارغۇچى دەسلەپتە ماسكا تەڭشەش باسقۇچلىرى ئۈچۈن λ/4 تۈزلۈكلۈكتىكى بوروسىلىكات ئەينەك ئاساس ماتېرىياللىرىنى ئىشلەتكەن. تەڭشەش تەلىپى 30 nm دىن تۆۋەن بولغان 193 nm چوڭقۇرلۇقتىكى چىلاش لىتوگرافىيەسىگە ئۆتكەندە، ئۇلار λ/20 تۈزلۈكلۈكتىكى ئېرىتىلگەن كرېمنىي ئاساس ماتېرىياللىرىغا ئۆزگەرتىلگەن. نەتىجىدە تەڭشەش توغرىلىقى ±80 nm دىن ±25 nm غىچە ياخشىلانغان، ھەمدە نۇقسان نىسبىتى %67 تۆۋەنلىگەن.
ۋاقىتنىڭ ئۆتۈشىگە ئەگىشىپ مۇقىملىق:
يۈزەكى تۈزلۈك پەقەت دەسلەپتە قولغا كەلتۈرۈلۈپلا قالماي، يەنە زاپچاسنىڭ ئۆمرى بويى ساقلىنىشى كېرەك. ئەينەك ئاساسىي تاختىلار ئۇزۇن مۇددەتلىك ئەلا مۇقىملىقنى نامايان قىلىدۇ، نورمال تەجرىبىخانا شارائىتىدا تۈزلۈك ئۆزگىرىشى ئادەتتە يىلدا λ/100 دىن تۆۋەن بولىدۇ. ئەكسىچە، مېتال ئاساسىي تاختىلار بېسىمنىڭ يېنىكلىشى ۋە سۈركىلىشىنى كۆرسىتىپ، بىر قانچە ئاي ئىچىدە تۈزلۈكنىڭ بۇزۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
3-ئۆلچەم: ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى (CTE) ۋە ئىسسىقلىق مۇقىملىقى
پارامېتىر: CTE نىڭ ئارىلىقى نۆلگە يېقىن (±0.05 × 10⁻⁶/K) دىن باشلاپ، كرېمنىي ماسلاشتۇرۇش ئۈچۈن 3.2 × 10⁻⁶/K غىچە.
نېمىشقا ماسلاشتۇرۇش سىستېمىسى ئۈچۈن مۇھىم:
ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ئوپتىكىلىق تەڭشەش سىستېمىسىدىكى ئۆلچەملىك مۇقىمسىزلىقنىڭ ئەڭ چوڭ مەنبەسىنى ئىپادىلەيدۇ. ئاساسىي ماتېرىياللار ئىشلىتىش، مۇھىت دەۋرىيلىكى ياكى ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىدا تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى ئاستىدا ئەڭ ئاز ئۆلچەم ئۆزگىرىشىنى كۆرسىتىشى كېرەك.
ئىسسىقلىق كېڭىيىش مەسىلىسى:
200 مىللىمېتىرلىق تەڭشەش ئاساسى ئۈچۈن:
| CTE (×10⁻⁶/K) | ھەر بىر °C دىكى ئۆلچەم ئۆزگىرىشى | ھەر 5 سېلسىيە گرادۇسلۇق ئۆزگىرىشنىڭ ئۆلچىمى |
|---|---|---|
| 23 (ئاليۇمىن) | 4.6 مىكرومېتىر | 23 مىكرومېتىر |
| 7.2 (پولات) | 1.44 مىكرومېتىر | 7.2 مىكرومېتىر |
| 3.2 (AF 32® ئېكولوگىيىلىك) | 0.64 مىكرومېتىر | 3.2 مىكرومېتىر |
| 0.05 (ULE®) | 0.01 مىكرومېتىر | 0.05 مىكرومېتىر |
| 0.007 (Zerodur®) | 0.0014 μm | 0.007 مىكرومېتىر |
CTE بويىچە ماتېرىيال سىنىپلىرى:
ئىنتايىن تۆۋەن كېڭىيىشچان ئەينەك (ULE®, Zerodur®):
- CTE: 0 ± 0.05 × 10⁻⁶/K (ULE) ياكى 0 ± 0.007 × 10⁻⁶/K (Zerodur)
- قوللىنىشچانلىقى: ئىنتايىن ئېنىق ئىنتېرفېرومېتىرىيە، ئالەم تېلېسكوپلىرى، لىتوگرافىيە پايدىلىنىش ئەينىكى
- ئالماشتۇرۇش: يۇقىرى باھا، كۆرۈنگەن سپېكتىردا ئوپتىكىلىق يەتكۈزۈش چەكلىك
- مىسال: Hubble ئالەم تېلېسكوپىنىڭ ئاساسلىق ئەينەك ئاساسى CTE < 0.01 × 10⁻⁶/K بولغان ULE ئەينەكنى ئىشلىتىدۇ.
كىرىمنىي ماسلاشتۇرۇلغان ئەينەك (AF 32® eco):
- CTE: 3.2 × 10⁻⁶/K (كىرىمنىينىڭ 3.4 × 10⁻⁶/K بىلەن ئوخشاش)
- قوللىنىشچانلىقى: MEMS ئورالمىسى، كرېمنىي فوتونىك بىرلەشتۈرۈش، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سىنىقى
- ئەۋزەللىكى: چاپلانغان قۇرۇلمىلاردىكى ئىسسىقلىق بېسىمىنى تۆۋەنلىتىدۇ
- ئىقتىدار: كرېمنىي ئاساسى بىلەن %5 تىن تۆۋەن CTE ماس كەلمەسلىكىنى قوللايدۇ
ئۆلچەملىك ئوپتىكىلىق ئەينەك (N-BK7, Borofloat®33):
- CTE: 7.1-8.2 × 10⁻⁶/K
- قوللىنىشچانلىقى: ئادەتتىكى ئوپتىكىلىق تەڭشەش، ئوتتۇراھال ئېنىقلىق تەلىپى
- ئەۋزەللىكى: ئوپتىكىلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ناھايىتى ياخشى، باھاسى تۆۋەن
- چەكلىمىسى: يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن ئاكتىپ تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش تەلەپ قىلىنىدۇ
ئىسسىقلىق سوقۇلۇشىغا قارشىلىق كۆرسىتىش:
CTE چوڭلۇقىدىن باشقا، ئىسسىقلىق سوقۇلۇشىغا قارشى تۇرۇش تېمپېراتۇرىنىڭ تېز ئۆزگىرىشى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. ئېرىتىلگەن كرېمنىي ۋە بوروسىلىكات ئەينەكلىرى (Borofloat®33 نى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ) ئىنتايىن ياخشى ئىسسىقلىق سوقۇلۇشىغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىغا ئىگە بولۇپ، 100 سېلسىيە گرادۇستىن ئېشىپ كەتكەن تېمپېراتۇرا پەرقىگە بەرداشلىق بېرىپ، سۇنۇپ كەتمەيدۇ. بۇ خۇسۇسىيەت تېز مۇھىت ئۆزگىرىشىگە ياكى يۇقىرى قۇۋۋەتلىك لازېرلارنىڭ يەرلىك قىزىشىغا ئۇچرايدىغان تەڭشەش سىستېمىلىرى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
رېئال دۇنيادىكى قوللىنىشچان پروگراممىلار:
ئوپتىك تالا ئۇلىغۇچ ئۈچۈن فوتونىك تەڭشەش سىستېمىسى 24/7 ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا، تېمپېراتۇرا ±5 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان ئۆزگىرىشلەر بىلەن ئىشلەيدۇ. ئاليۇمىن ئاساس ماتېرىياللىرىنى ئىشلىتىش (CTE = 23 × 10⁻⁶/K) ئۆلچەم ئۆزگىرىشى سەۋەبىدىن ئۇلىغۇچ ئۈنۈمىنىڭ ئۆزگىرىشىنى ±15% كە يەتكۈزدى. AF 32® ئېكو ئاساس ماتېرىياللىرىغا (CTE = 3.2 × 10⁻⁶/K) ئۆزگەرتىش ئۇلىغۇچ ئۈنۈمىنىڭ ئۆزگىرىشىنى ±2% تىن تۆۋەنگە چۈشۈرۈپ، مەھسۇلاتنىڭ مەھسۇلات مىقدارىنى كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە ياخشىلىدى.
تېمپېراتۇرا گرادىئېنتىنى كۆزدە تۇتۇش:
CTE قىممىتى تۆۋەن ماتېرىياللار بىلەنمۇ، ئاساسىي قاتلامدىكى تېمپېراتۇرا گرادىيېنتى يەرلىك بۇرمىلىنىشلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. 200 مىللىمېتىرلىق ئاساسىي قاتلامدىكى λ/20 تۈزلۈككە چىداملىق بولۇش ئۈچۈن، CTE ≈ 3 × 10⁻⁶/K بولغان ماتېرىياللار ئۈچۈن تېمپېراتۇرا گرادىيېنتى 0.05°C/mm دىن تۆۋەن ساقلىنىشى كېرەك. بۇ ماتېرىيال تاللاش ۋە مۇۋاپىق ئىسسىقلىق باشقۇرۇش لايىھىسىنى تەلەپ قىلىدۇ.
4-تەلەپ: مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەت ۋە تىترەشنى پەسەيتىش
پارامېتىر: يۇڭ مودۇلى 67-91 GPa، ئىچكى سۈركىلىش Q⁻¹ > 10⁻⁴ ۋە ئىچكى بېسىم قوش سىنىشىنىڭ يوقلۇقى.
نېمىشقا ماسلاشتۇرۇش سىستېمىسى ئۈچۈن مۇھىم:
مېخانىكىلىق مۇقىملىق يۈك ئاستىدا ئۆلچەملىك قاتتىقلىق، تىترەشنى پەسەيتىش خۇسۇسىيىتى ۋە بېسىم كەلتۈرۈپ چىقارغان قوش سىنىشقا قارشى تۇرۇش قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، بۇلارنىڭ ھەممىسى دىنامىك مۇھىتتا تەڭشەش ئېنىقلىقىنى ساقلاش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
ئېلاستىكلىق مودۇلى ۋە قاتتىقلىق:
يۇقىرى ئېلاستىكىلىق مودۇلى يۈك ئاستىدا ئېگىلىشكە قارشى تۇرۇشنىڭ يۇقىرى بولۇشىنى بىلدۈرىدۇ. ئاددىي تىرەشلىك نۇر ئۈچۈن، ئۇزۇنلۇقى L، قېلىنلىقى t ۋە ئېلاستىكىلىق مودۇلى E ئۈچۈن، يۈك ئاستىدا ئېگىلىش L³/(Et³) بىلەن تەڭ بولىدۇ. بۇ قېلىنلىق بىلەن تەتۈر كۇب مۇناسىۋىتى ۋە ئۇزۇنلۇق بىلەن بىۋاسىتە مۇناسىۋەت چوڭ ئاساسىي تاختىلار ئۈچۈن قاتتىقلىقنىڭ نېمە ئۈچۈن مۇھىم ئىكەنلىكىنى تەكىتلەيدۇ.
| ماتېرىيال | ياڭنىڭ مودۇلى (GPa) | ئۆزگىچە قاتتىقلىق (E/ρ، 10⁶ m) |
|---|---|---|
| ئېرىتىلگەن كرېمنىي | 72 | 32.6 |
| N-BK7 | 82 | 34.0 |
| AF 32® ئېكولوگىيىلىك | 74.8 | 30.8 |
| ئاليۇمىن 6061 | 69 | 25.5 |
| پولات (440C) | 200 | 25.1 |
كۆزىتىش: پولات ئەڭ يۇقىرى مۇتلەق قاتتىقلىققا ئىگە بولسىمۇ، ئۇنىڭ ئۆزگىچە قاتتىقلىقى (قاتتىقلىق-ئېغىرلىق نىسبىتى) ئاليۇمىنغا ئوخشايدۇ. ئەينەك ماتېرىياللىرى مېتاللارغا ئوخشاش ئۆزگىچە قاتتىقلىقنى تەمىنلەيدۇ، قوشۇمچە پايدىلىرى: ماگنىتسىز خۇسۇسىيەت ۋە قۇيرۇق توك يوقىتىشىنىڭ يوقلۇقى.
ئىچكى سۈركىلىش ۋە سۇسلاشتۇرۇش:
ئىچكى سۈركىلىش كۈچى (Q⁻¹) ماتېرىيالنىڭ تەۋرىنىش ئېنېرگىيەسىنى تارقىتىش ئىقتىدارىنى بەلگىلەيدۇ. ئەينەك ئادەتتە Q⁻¹ ≈ 10⁻⁴ دىن 10⁻⁵ غىچە بولۇپ، ئاليۇمىن (Q⁻¹ ≈ 10⁻³) قاتارلىق كىرىستال ماتېرىياللارغا قارىغاندا يۇقىرى چاستوتىلىق سۈمۈرۈشنى ياخشىلايدۇ، ئەمما پولىمېرلارغا قارىغاندا تۆۋەن. بۇ ئوتتۇراھال سۈمۈرۈش خۇسۇسىيىتى تۆۋەن چاستوتىلىق قاتتىقلىققا تەسىر كۆرسەتمەي تۇرۇپ يۇقىرى چاستوتىلىق تەۋرىنىشنى باستۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ.
تىترەش ئىزولياتسىيەسى ئىستراتېگىيىسى:
ئوپتىكىلىق تەڭشەش سۇپىلىرى ئۈچۈن، ئاساسىي ماتېرىيال ئايرىش سىستېمىسى بىلەن ماسلىشىپ ئىشلىشى كېرەك:
- تۆۋەن چاستوتا ئايرىش: 1-3 گېرتس رېزونانس چاستوتىلىق پنېۋماتىك ئايرىغۇچلار ئارقىلىق تەمىنلىنىدۇ
- ئوتتۇرا چاستوتالىق سۈمۈرگۈچ: ئاساسىي قاتلامنىڭ ئىچكى سۈركىلىشى ۋە قۇرۇلما لايىھىسى تەرىپىدىن باستۇرۇلىدۇ
- يۇقىرى چاستوتىلىق سۈزۈش: ماسسا يۈكى ۋە ئىمپېدانس ماس كەلمەسلىكى ئارقىلىق ئەمەلگە ئاشۇرۇلىدۇ
بېسىم قوش سۆڭەكلىك كېسىلى:
ئەينەك ئامورف ماتېرىيال بولغاچقا، ئۇنىڭدا ھېچقانداق قوش نۇر سۇنماسلىقى كېرەك. قانداقلا بولمىسۇن، بىر تەرەپ قىلىش جەريانىدا پەيدا بولغان بېسىم ۋاقىتلىق قوش نۇر سۇنماسلىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، قۇتۇپلاشتۇرۇلغان نۇر تەڭشەش سىستېمىسىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. قۇتۇپلاشتۇرۇلغان نۇرلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئېنىق تەڭشەش قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن، قالغان بېسىم 5 nm/cm دىن تۆۋەن بولۇشى كېرەك (632.8 nm دە ئۆلچەنگەن).
بېسىمنى يېنىكلىتىش جەريانى:
مۇۋاپىق قىزىتىش ئىچكى بېسىمنى يوقىتىدۇ:
- ئادەتتىكى قىزىتىش تېمپېراتۇرىسى: 0.8 × Tg (ئەينەك ئۆتكۈنچى تېمپېراتۇرىسى)
- قىزىتىش ۋاقتى: 25 مىللىمېتىر قېلىنلىقتا 4-8 سائەت (قېلىنلىق كۋادرات شەكلىدە)
- سوۋۇتۇش سۈرئىتى: سوۋۇتۇش نۇقتىسى ئارقىلىق سائىتىگە 1-5°C
رېئال دۇنيادىكى ئەھۋال:
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەكشۈرۈش تەڭشەش سىستېمىسى 150 گېرتس چاستوتا بىلەن 0.5 μm ئامپلىتۇدا بىلەن ۋاقىتلىق خاتا تەڭشەشكە دۇچ كەلدى. تەكشۈرۈشتە، ئاليۇمىن ئاساس تۇتقۇچلىرىنىڭ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلىشى سەۋەبىدىن تىترەۋاتقانلىقى بايقالدى. ئاليۇمىننى borofloat®33 ئەينەك (CTE نى كرېمنىيغا ئوخشاش، ئەمما يۇقىرى سېلىشتۇرما قاتتىقلىق) بىلەن ئالماشتۇرۇش تىترەش ئامپلىتۇدىسىنى %70 تۆۋەنلىتىپ، ۋاقىتلىق خاتا تەڭشەش خاتالىقىنى يوقاتتى.
يۈك سىغىمى ۋە ئېگىلىش:
ئېغىر ئوپتىكىنى قوللايدىغان تەڭشەش سۇپىلىرى ئۈچۈن، يۈك ئاستىدا ئېگىلىشنى ھېسابلاش كېرەك. دىئامېتىرى 300 مىللىمېتىر، قېلىنلىقى 25 مىللىمېتىر بولغان ئېرىتىلگەن كرېمنىي ئاساسى 10 كىلوگرام مەركەزلىك يۈك ئاستىدا 0.2 مىكرومېتىردىن تۆۋەن ئېگىلىپ قالىدۇ، بۇ 10-100 نانومېتىر دائىرىسىدىكى ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقىنى تەلەپ قىلىدىغان كۆپىنچە ئوپتىكىلىق تەڭشەش قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن ئانچە مۇھىم ئەمەس.
5-ئۆلچەم: خىمىيىلىك مۇقىملىق ۋە مۇھىتقا قارشىلىق كۆرسىتىش
پارامېتىر: گىدرولىزغا چىداملىق 1-دەرىجىلىك (ISO 719 بويىچە)، كىسلاتاغا چىداملىق A3 دەرىجىلىك، ھەمدە پارچىلىنىشسىز 10 يىلدىن ئارتۇق ھاۋارايىغا چىداملىق.
نېمىشقا ماسلاشتۇرۇش سىستېمىسى ئۈچۈن مۇھىم:
خىمىيىلىك مۇقىملىق ھەر خىل مۇھىتلاردا، مەسىلەن ئاكتىپ تازىلاش دورىلىرى ئىشلىتىلگەن تازىلىق ئۆيلەردىن تارتىپ، ئېرىتكۈچ، نەملىك ۋە تېمپېراتۇرا دەۋرىيلىكىگە دۇچ كېلىدىغان سانائەت مۇھىتىغىچە، ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۆلچەم مۇقىملىقى ۋە ئوپتىكىلىق ئىقتىدارنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
خىمىيىلىك قارشىلىق تۈرگە ئايرىش:
ئەينەك ماتېرىياللىرى ھەر خىل خىمىيىلىك مۇھىتلارغا چىدامچانلىقىغا ئاساسەن تۆۋەندىكىدەك تۈرگە ئايرىلىدۇ:
| قارشىلىق تىپى | سىناق ئۇسۇلى | تۈرگە ئايرىش | چەك |
|---|---|---|---|
| گىدرولىت | ISO 719 | 1-سىنىپ | ھەر گرامغا 10 μg Na₂O باراۋەر |
| كىسلاتا | ISO 1776 | A1-A4 سىنىپلىرى | كىسلاتاغا ئۇچرىغاندىن كېيىن يۈزەكى ئېغىرلىقىنىڭ تۆۋەنلىشى |
| ئىشقار | ISO 695 | 1-2-سىنىپ | ئىشقارغا ئۇچرىغاندىن كېيىن يۈزەكى ئېغىرلىقىنىڭ تۆۋەنلىشى |
| ھاۋارايىغا تەسىر كۆرسىتىش | سىرتتا ئاشكارىلىنىش | ناھايىتى ياخشى | 10 يىلدىن كېيىن ئۆلچىگىلى بولىدىغان دەرىجىدە چېكىنىش بولمايدۇ |
تازىلاش ماسلىشىشچانلىقى:
ئوپتىكىلىق تەڭشەش سىستېمىلىرىنىڭ ئىقتىدارىنى ساقلاپ قېلىش ئۈچۈن ۋاقتى-ۋاقتىدا تازىلاش كېرەك. كۆپ ئۇچرايدىغان تازىلاش ۋاسىتىلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
- ئىزوپروپىل ئىسپىرتى (IPA)
- ئاتسېتون
- دېئونلاشتۇرۇلغان سۇ
- ئالاھىدە ئوپتىكىلىق تازىلاش چارىلىرى
ئېرىتىلگەن كرېمنىي ۋە بوروسىلىكات ئەينەكلىرى بارلىق ئادەتتىكى تازىلاش ۋاسىتىلىرىگە ناھايىتى ياخشى قارشىلىق كۆرسىتىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، بەزى ئوپتىكىلىق ئەينەكلەر (بولۇپمۇ قوغۇشۇن مىقدارى يۇقىرى بولغان چاقماق تاش ئەينەكلەر) بەزى ئېرىتكۈچىلەرنىڭ ھۇجۇمىغا ئۇچراپ، تازىلاش تاللانمىلىرىنى چەكلەپ قويىدۇ.
نەملىك ۋە سۇنىڭ سۈمۈرۈلۈشى:
شىشە يۈزىدىكى سۇنىڭ سۈمۈرۈلۈشى ئوپتىكىلىق ئىقتىدار ۋە ئۆلچەم مۇقىملىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. نىسپىي نەملىكنىڭ %50 ىدە، ئېرىگەن كرېمنىي بىر قەۋەتتىن ئاز سۇ مولېكۇلاسىنى سۈمۈرۈۋالىدۇ، بۇ ئۆلچەم ئۆزگىرىشىنىڭ ئاز بولۇشى ۋە ئوپتىكىلىق ئۆتكۈزۈشنىڭ يوقىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، يۈزەكى بۇلغىنىش نەملىك بىلەن بىرلىشىپ سۇ داغلىرىنىڭ شەكىللىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، يۈزەكى سۈپىتىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
گاز چىقىرىش ۋە ۋاكۇئۇم ماسلىشىشچانلىقى:
ۋاكۇئۇم ئىچىدە ئىشلەيدىغان تەڭشەش سىستېمىلىرى (مەسىلەن، بوشلۇقتىكى ئوپتىكىلىق سىستېمىلار ياكى ۋاكۇئۇم كامېراسى سىنىقى) ئۈچۈن، گاز چىقىرىش ئىنتايىن مۇھىم مەسىلە. ئەينەكنىڭ گاز چىقىرىش نىسبىتى ئىنتايىن تۆۋەن:
- ئېرىتىلگەن كرېمنىي: < 10⁻¹⁰ Torr·L/s·cm²
- بوروسىلىكات: < 10⁻⁹ تورر·ل/س·سم²
- ئاليۇمىن: 10⁻⁸ – 10⁻⁷ تورر·ل/س·سم²
بۇ ئەينەك ئاساسنى ۋاكۇئۇمغا ماس كېلىدىغان تەڭشەش سىستېمىسى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى تاللاشقا ئايلاندۇرىدۇ.
رادىئاتسىيەگە قارشىلىق كۆرسىتىش:
ئىئونلاشتۇرۇش رادىئاتسىيەسى (ئالەم بوشلۇقى سىستېمىسى، يادرو ئەسلىھەلىرى، رېنتىگېن نۇرى ئۈسكۈنىلىرى) بىلەن مۇناسىۋەتلىك قوللىنىشچان پروگراممىلاردا، رادىئاتسىيە كەلتۈرۈپ چىقارغان قاراڭغۇلىشىش ئوپتىكىلىق ئۆتكۈزۈشنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن. رادىئاتسىيەگە چىداملىق ئەينەكلەر بار، ئەمما ئۆلچەملىك ئېرىتىلگەن كرېمنىي دىئوكسىدىمۇ ناھايىتى ياخشى قارشىلىق كۆرسىتىدۇ:
- ئېرىتىلگەن كرېمنىي: ئومۇمىي مىقدارى 10 كرادقىچە بولغان ئۆلچەنگىلى بولىدىغان يەتكۈزۈش زىيىنى يوق.
- N-BK7: 1 كرادتىن كېيىن 400 نانومېتىردا يەتكۈزۈش زىيىنى <1%
ئۇزۇن مۇددەتلىك مۇقىملىق:
خىمىيىلىك ۋە مۇھىت ئامىللىرىنىڭ يىغىندى تەسىرى ئۇزۇن مۇددەتلىك مۇقىملىقنى بەلگىلەيدۇ. ئېنىق ماسلاشتۇرۇش ئاساسى ئۈچۈن:
- ئېرىتىلگەن كرېمنىي: نورمال تەجرىبىخانا شارائىتىدا ئۆلچەم مۇقىملىقى يىلدا < 1 نانومېتىر
- Zerodur®: ئۆلچەم مۇقىملىقى يىلىغا < 0.1 nm (كرىستاللىق باسقۇچ مۇقىملىقى سەۋەبىدىن)
- ئاليۇمىن: بېسىمنىڭ يېنىكلىشى ۋە ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكى سەۋەبىدىن يىلىغا 10-100 نانومېتىرلىق ئۆلچەمدىكى يۆتكىلىش
رېئال دۇنيادىكى قوللىنىشچان پروگراممىلار:
بىر دورا شىركىتى پاكىز ئۆي مۇھىتىدا ئاپتوماتىك تەكشۈرۈش ئۈچۈن ئوپتىكىلىق تەڭشەش سىستېمىسىنى باشقۇرىدۇ، كۈندىلىك IPA ئاساسلىق تازىلاش ئېلىپ بېرىلىدۇ. دەسلەپتە پلاستىك ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى ئىشلەتكەندە، ئۇلارنىڭ يۈزى بۇزۇلۇپ، ھەر 6 ئايدا بىر قېتىم ئالماشتۇرۇشقا توغرا كەلدى. borofloat®33 ئەينەك ئاساسىغا ئۆزگەرتىش زاپچاسلارنىڭ ئۆمرىنى 5 يىلدىن ئارتۇق ئۇزارتىپ، ئاسراش تەننەرخىنى %80 تۆۋەنلىتىپ، ئوپتىكىلىق بۇزۇلۇش سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان پىلانسىز توختاپ قېلىشنى يوقاتتى.
ماتېرىيال تاللاش رامكىسى: ئۆلچەملەرنى قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ماسلاشتۇرۇش
بەش ئاساسلىق ئۆلچەمگە ئاساسەن، ئوپتىكىلىق ماسلاشتۇرۇش قوللىنىشچان پروگراممىلىرىنى تۈرگە ئايرىشقا ۋە مۇۋاپىق ئەينەك ماتېرىياللىرى بىلەن ماسلاشتۇرۇشقا بولىدۇ:
ئىنتايىن يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تەڭشەش (≤10 نانومېتىر ئېنىقلىق)
تەلەپلەر:
- تۈزلۈك: ≤ λ/20
- CTE: نۆلگە يېقىن (≤0.05 × 10⁻⁶/K)
- ئۆتكۈزۈشچانلىقى: >95%
- تىترەشنى پەسەيتىش: يۇقىرى Q ئىچكى سۈركىلىش
تەۋسىيە قىلىنغان ماتېرىياللار:
- ULE® (Corning Code 7972): كۆرۈنىدىغان/NIR يەتكۈزۈشنى تەلەپ قىلىدىغان قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن
- Zerodur®: كۆرۈنگەن يەتكۈزۈش تەلەپ قىلىنمايدىغان قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن
- ئېرىتىلگەن كرېمنىي (يۇقىرى دەرىجىلىك): ئوتتۇراھال ئىسسىقلىق مۇقىملىقى تەلىپى بار قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن
ئادەتتىكى قوللىنىشچان پروگراممىلار:
- لىتولوگىيەنى تەڭشەش باسقۇچلىرى
- ئىنتېرفېرومېترىك مېترولوگىيە
- ئالەم بوشلۇقىغا ئاساسلانغان ئوپتىكىلىق سىستېمىلار
- ئېنىق فوتونىك يىغىش
يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تەڭشەش (10-100 نانومېتىر ئېنىقلىق)
تەلەپلەر:
- تۈزلۈك: λ/10 دىن λ/20 گىچە
- CTE: 0.5-5 × 10⁻⁶/K
- ئۆتكۈزۈشچانلىقى: >92%
- خىمىيىلىك قارشىلىق كۆرسىتىش ئىقتىدارى ياخشى
تەۋسىيە قىلىنغان ماتېرىياللار:
- ئېرىتىلگەن كرېمنىي: ئومۇمىي ئىقتىدار ئەلا
- Borofloat®33: ئىسسىقلىق سوقۇلۇشىغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ياخشى، ئوتتۇراھال CTE
- AF 32® eco: MEMS بىرلەشتۈرۈش ئۈچۈن كرېمنىيغا ماس كېلىدىغان CTE
ئادەتتىكى قوللىنىشچان پروگراممىلار:
- لازېرلىق ماشىنا تەڭشەش
- ئوپتىك تالا يىغىش
- يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەكشۈرۈش
- ئوپتىكىلىق سىستېمىلارنى تەتقىق قىلىش
ئادەتتىكى ئېنىقلىق تەڭشەش (100-1000 نانومېتىر ئېنىقلىق)
تەلەپلەر:
- تۈزلۈك: λ/4 دىن λ/10 گىچە
- CTE: 3-10 × 10⁻⁶/K
- ئۆتكۈزۈشچانلىقى: >90%
- ئەرزان
تەۋسىيە قىلىنغان ماتېرىياللار:
- N-BK7: ئۆلچەملىك ئوپتىكىلىق ئەينەك، ئېلاستىكىلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى يۇقىرى
- Borofloat®33: ئىسسىقلىق ئۈنۈمى ياخشى، ئېرىتىلگەن كرېمنىيغا قارىغاندا باھاسى تۆۋەن
- گازلىق-ھايك شىشە: مۇھىم بولمىغان قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن ئەرزان
ئادەتتىكى قوللىنىشچان پروگراممىلار:
- مائارىپ ئوپتىكىسى
- سانائەت تەڭشەش سىستېمىسى
- ئىستېمال ئوپتىكىلىق مەھسۇلاتلىرى
- ئادەتتىكى تەجرىبىخانا ئۈسكۈنىلىرى
ئىشلەپچىقىرىشقا مۇناسىۋەتلىك ئامىللار: بەش مۇھىم ئۆلچەمگە يېتىش
ماتېرىيال تاللاشتىن باشقا، ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرى نەزەرىيەۋى ئۆلچەملەرنىڭ ئەمەلىيەتتە ئەمەلگە ئاشقان-ئاشمىغانلىقىنى بەلگىلەيدۇ.
يۈزەكى پۈشۈرۈش جەريانلىرى
سىلىقلاش ۋە پارقىراقلاشتۇرۇش:
قوپال سىلىقلاشتىن ئاخىرقى سىلىقلاشقىچە بولغان تەرەققىيات يۈزەكى سۈپەت ۋە تۈزلۈكنى بەلگىلەيدۇ:
- قوپال ئۇۋىلاش: كۆپ مىقداردىكى ماتېرىياللارنى چىقىرىۋېتىدۇ، قېلىنلىقىغا چىداملىق ±0.05 مىللىمېتىرغا يېتىدۇ
- ئىنچىكە ئۇۋىلاش: يۈزەكى پۇچۇقلۇقنى Ra ≈ 0.1-0.5 μm غىچە تۆۋەنلىتىدۇ
- سىلىقلاش: ئاخىرقى يۈزەكى رەڭگىگە ئېرىشىدۇ، Ra ≤ 0.5 nm
قاتلاملىق سىلىقلاش بىلەن كومپيۇتېر كونترول قىلىنىدىغان سىلىقلاشنىڭ پەرقى:
ئەنئەنىۋى قاتلاملىق سىلىقلاش كىچىك ۋە ئوتتۇرا قاتلاملىق ئاساسىي تاختىلاردا (150 مىللىمېتىرغىچە) λ/20 تەكشىلىككە ئېرىشەلەيدۇ. چوڭراق ئاساسىي تاختىلار ئۈچۈن ياكى يۇقىرى ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارى تەلەپ قىلىنغاندا، كومپيۇتېر كونترول قىلىنىدىغان سىلىقلاش (CCP) ياكى ماگنىتلىق رېئولوگىيەلىك سىلىقلاش (MRF) تۆۋەندىكىلەرنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ:
- 300-500 مىللىمېتىرلىق ئاساسىي قاتلاملاردا مۇقىم تۈزلۈك
- جەريان ۋاقتىنى %40-60 قىسقارتتى
- ئوتتۇرا بوشلۇق چاستوتا خاتالىقلىرىنى تۈزىتىش ئىقتىدارى
ئىسسىقلىق بىلەن بىر تەرەپ قىلىش ۋە قىزىتىش:
ئىلگىرى دېيىلگەندەك، بېسىمنى يېنىكلىتىش ئۈچۈن توغرا قىزىتىش ئىنتايىن مۇھىم:
- قىزىتىش تېمپېراتۇرىسى: 0.8 × Tg (ئەينەك ئۆتكۈنچى تېمپېراتۇرىسى)
- چىلاش ۋاقتى: 4-8 سائەت (قېلىنلىقى كۋادرات شەكلىدە)
- سوۋۇتۇش سۈرئىتى: سوۋۇتۇش نۇقتىسى ئارقىلىق سائىتىگە 1-5°C
ULE ۋە Zerodur قاتارلىق تۆۋەن CTE كۆزەينەكلىرى ئۈچۈن، ئۆلچەملىك مۇقىملىققا ئېرىشىش ئۈچۈن قوشۇمچە ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكى تەلەپ قىلىنىشى مۇمكىن. Zerodur نىڭ «قېرىش جەريانى» كىرىستاللىق باسقۇچنى مۇقىملاشتۇرۇش ئۈچۈن ماتېرىيالنى 0 سېلسىيە گرادۇستىن 100 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان ئارىلىقتا بىر قانچە ھەپتە دەۋرىيلىك ھالەتتە ئايلاندۇرۇشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
سۈپەت كاپالىتى ۋە مېترولوگىيە
ئۆلچەملەرگە يەتكەنلىكىنى جەزملەشتۈرۈش ئۈچۈن مۇرەككەپ ئۆلچەش ئۇسۇلى تەلەپ قىلىنىدۇ:
تۈزلۈكنى ئۆلچەش:
- ئىنتېرفېرومېتىرىيە: Zygo، Veeco ياكى شۇنىڭغا ئوخشاش λ/100 توغرىلىقتىكى لازېر ئىنتېرفېرومېتىرلىرى
- ئۆلچەش دولقۇن ئۇزۇنلۇقى: ئادەتتە 632.8 nm (HeNe لازېرى)
- دىئافراگما: ئېنىق دىئافراگما ئاساسىي تاختىنىڭ دىئامېتىرىنىڭ %85 تىن ئېشىپ كېتىشى كېرەك
يۈزەكى پۇختىلىقنى ئۆلچەش:
- ئاتوم كۈچ مىكروسكوپى (AFM): Ra ≤ 0.5 nm تەكشۈرۈش ئۈچۈن
- ئاق نۇر ئارىلىشىش ئۆلچەش ئۇسۇلى: 0.5-5 نانومېتىرلىق داغلىق ئۈچۈن
- ئالاقىلىشىش پروفىلومېترىيەسى: 5 نانومېتىردىن يۇقىرى قاتلىمىلىق ئۈچۈن
CTE ئۆلچەش:
- دىلاتومېترىيە: ئۆلچەملىك CTE ئۆلچەش ئۈچۈن، توغرىلىق ±0.01 × 10⁻⁶/K
- ئارىلىق CTE ئۆلچەش: ئىنتايىن تۆۋەن CTE ماتېرىياللىرى ئۈچۈن، توغرىلىق ±0.001 × 10⁻⁶/K
- Fizeau ئارىلىشىش ئۆلچەش ئۇسۇلى: چوڭ سۇبستراتلار ئارقىلىق CTE نىڭ بىردەكلىكىنى ئۆلچەش ئۈچۈن
بىرلەشتۈرۈشنى ئويلىشىش نۇقتىلىرى: ئەينەك ئاساسلىرىنى تەڭشەش سىستېمىسىغا قوشۇش
ئېنىق ئەينەك ئاساسىي تاختىلىرىنى مۇۋەپپەقىيەتلىك ئىشلىتىش ئۈچۈن ئورنىتىش، ئىسسىقلىق باشقۇرۇش ۋە مۇھىتنى كونترول قىلىشقا دىققەت قىلىش كېرەك.
ئورنىتىش ۋە ئورنىتىش
كىنېماتىك ئورنىتىش پىرىنسىپلىرى:
ئېنىق تەڭشەش ئۈچۈن، ئاساسىي تاختىلارنى ئۈچ نۇقتىلىق تىرەك ئارقىلىق كىنېماتىك ئورنىتىش كېرەك، بۇ بېسىمنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. ئورنىتىش سەپلىمىسى قوللىنىلىشقا باغلىق:
- ھەسەل ئۇۋىسى ئورنىتىش: يۇقىرى قاتتىقلىقنى تەلەپ قىلىدىغان چوڭ، يېنىك ئاساسلار ئۈچۈن
- گىرۋەكنى قىسىش: ئىككى تەرىپىنىڭمۇ قولايلىق بولۇشى كېرەك بولغان ئاساسىي تاختىلار ئۈچۈن
- چاپلانغان ئورنىتىش: ئوپتىكىلىق يېلىم ياكى ئاز گاز چىقىرىدىغان ئېپوكسى ئىشلىتىلگەن
بېسىم كەلتۈرۈپ چىقارغان بۇرمىلىنىش:
كىنېماتىك ئورنىتىش ئارقىلىقمۇ، قىسىش كۈچى يۈزەكى بۇرمىلىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. 200 مىللىمېتىرلىق ئېرىتىلگەن كرېمنىي ئاساسىدىكى λ/20 تۈزلۈككە چىداملىق بولۇش ئۈچۈن، تۈزلۈك ئۆلچىمىدىن ئېشىپ كېتىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن، ئەڭ چوڭ قىسىش كۈچى 100 مىللىمېتىر² دىن ئېشىپ كەتمەسلىكى كېرەك.
ئىسسىقلىق باشقۇرۇش
ئاكتىپ تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش:
ئىنتايىن ئېنىق تەڭشەش ئۈچۈن، دائىم ئاكتىپ تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش زۆرۈر بولىدۇ:
- كونترول توغرىلىقى: λ/20 تۈزلۈك تەلىپى ئۈچۈن ±0.01°C
- بىردەكلىك: ئاساسىي قاتلام يۈزىدە < 0.01°C/mm
- مۇقىملىق: مۇھىم مەشغۇلات جەريانىدا تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى < 0.001°C/سائەت
پاسسىپ ئىسسىقلىق ئايرىش:
پاسسىپ ئىزولياتسىيە تېخنىكىسى ئىسسىقلىق يۈكىنى ئازايتىدۇ:
- ئىسسىقلىق قالقانلىرى: تۆۋەن نۇر چىقىرىش قاپلىمىلىق كۆپ قەۋەتلىك رادىئاتسىيە قالقانلىرى
- ئىسسىقلىق ساقلاش ماتېرىيالى: يۇقىرى ئۈنۈملۈك ئىسسىقلىق ساقلاش ماتېرىياللىرى
- ئىسسىقلىق ماسسىسى: چوڭ ئىسسىقلىق ماسسىسى تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىنى توسىدۇ
مۇھىتنى كونترول قىلىش
پاكىز ئۆينىڭ ماسلىشىشى:
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئېنىق ئوپتىكىلىق ئىشلىتىش ئۈچۈن، ئاساسىي تاختىلار پاكىز ئۆي تەلىپىگە ماس كېلىشى كېرەك:
- زەررىچە ھاسىل بولۇش سۈرئىتى: < 100 زەررىچە/ft³/min (100-دەرىجىلىك پاكىز ئۆي)
- گاز چىقىرىش: < 1 × 10⁻⁹ Torr·L/s·cm² (ۋاكۇئۇم ئىشلىتىش ئۈچۈن)
- تازىلاشچانلىقى: IPA تازىلاشنىڭ قايتا-قايتا چىداملىق بولۇشى كېرەك، بۇزۇلۇشسىز بولۇشى كېرەك
چىقىم-پايدا ئانالىزى: ئەينەك ئاساسلىرى بىلەن ئالماشتۇرۇشلار
ئەينەك ئاساسىي تاختىلار يۇقىرى ئىقتىدار بىلەن تەمىنلىسىمۇ، ئۇلار باشلانغۇچ مەبلەغ سېلىشنى تېخىمۇ يۇقىرى قىلىدۇ. ماتېرىيالنى توغرا تاللاش ئۈچۈن، ئىگىدارلىق قىلىشنىڭ ئومۇمىي تەننەرخىنى چۈشىنىش ئىنتايىن مۇھىم.
دەسلەپكى چىقىم سېلىشتۇرۇش
| ئاساسىي ماتېرىيال | دىئامېتىرى 200 مىللىمېتىر، قېلىنلىقى 25 مىللىمېتىر (ئامېرىكا دوللىرى) | نىسبىي چىقىم |
|---|---|---|
| گازلىق-لايىم ئىستاكان | 50-100 دوللار | 1× |
| Borofloat®33 | 200-400 دوللار | 3-5× |
| N-BK7 | 300-600 دوللار | 5-8× |
| ئېرىتىلگەن كرېمنىي | 800-1500 دوللار | 10-20× |
| AF 32® ئېكولوگىيىلىك | 500-900 دوللار | 8-12× |
| Zerodur® | 2000-4000 دوللار | 30-60× |
| ULE® | 3000-6000 دوللار | 50-100× |
ھاياتلىق دەۋرىيلىكى تەننەرخىنى تەھلىل قىلىش
ئاسراش ۋە ئالماشتۇرۇش:
- ئەينەك ئاساسىي تاختىلار: 5-10 يىللىق ئىشلىتىش مۇددىتى، ئەڭ ئاز ئاسراشقا بولىدۇ
- مېتال ئاساس: 2-5 يىلغىچە ئىشلىتىش مۇددىتى، ۋاقتى-ۋاقتىدا يېڭىلاش تەلەپ قىلىنىدۇ
- پلاستىك ئاساس: 6-12 ئاي ئىشلىتىش مۇددىتى، دائىم ئالماشتۇرۇش
توغرىلىقنى تەڭشەشنىڭ پايدىلىرى:
- ئەينەك ئاساسلىرى: باشقا نۇسخىلارغا قارىغاندا 2-10 ھەسسە ياخشىراق تەڭشەش توغرىلىقىنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ.
- مېتال ئاساسلىرى: ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ۋە يۈزەكى پارچىلىنىش بىلەن چەكلىنىدۇ
- پلاستىك ئاساس: سۈرۈلۈپ كېتىش ۋە مۇھىت سەزگۈرلۈكى بىلەن چەكلىنىدۇ
ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ياخشىلاش:
- يۇقىرى ئوپتىكىلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: تەڭشەش دەۋرىيلىكى %3-5 تېزلىشىدۇ
- تېمپېراتۇرا مۇقىملىقىنى ياخشىلاش: تېمپېراتۇرا تەڭپۇڭلۇقىنى ساقلاش ئېھتىياجىنى ئازايتىش
- تۆۋەن ئاسراش: قايتا تەڭشەش ئۈچۈن ئازراق توختاپ قېلىش ۋاقتى
مىسال ROI ھېسابلاش:
فوتونىك ئىشلەپچىقىرىش تەڭشەش سىستېمىسى كۈنىگە 1000 قۇراشتۇرۇشنى بىر تەرەپ قىلىدۇ، دەۋرىيلىك ۋاقتى 60 سېكۇنت. يۇقىرى ئۆتكۈزۈشچانلىققا ئىگە ئېرىتىلگەن كرېمنىي ئاساس ماتېرىياللىرىنى ئىشلىتىش (N-BK7 غا سېلىشتۇرغاندا) دەۋرىيلىك ۋاقتىنى %4 قىسقارتىپ، 57.6 سېكۇنتقا يەتكۈزىدۇ، كۈندىلىك ئىشلەپچىقىرىش مىقدارىنى 1043 قۇراشتۇرۇشقا يەتكۈزىدۇ، بۇ يىللىق ئىشلەپچىقىرىش مىقدارىنى 200 مىڭ دوللارغا يەتكۈزىدۇ، ھەر بىر قۇراشتۇرۇش 50 دوللار بولغاندا يىللىق ئىشلەپچىقىرىش مىقدارى %4.3 ئاشىدۇ.
كەلگۈسىدىكى يۈزلىنىشلەر: ئوپتىكىلىق تەڭشەش ئۈچۈن يېڭىدىن گۈللىنىۋاتقان ئەينەك تېخنىكىلىرى
ئېنىقلىق، مۇقىملىق ۋە بىرلەشتۈرۈش ئىقتىدارىغا بولغان ئېھتىياجنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ، ئېنىقلىق ئەينەك ئاساسىي قەۋىتى ساھەسى داۋاملىق تەرەققىي قىلماقتا.
ئىنژېنېرلىق ئەينەك ماتېرىياللىرى
خاسلاشتۇرۇلغان CTE كۆزەينىكى:
ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش ئەينەك تەركىبىنى تەڭشەش ئارقىلىق CTE نى ئېنىق كونترول قىلىشقا شارائىت ھازىرلايدۇ:
- ULE® ماسلاشتۇرۇلغان: CTE نۆل كېسىشمە تېمپېراتۇرىسىنى ±5°C غىچە بەلگىلەشكە بولىدۇ
- گرادىيېنتلىق CTE كۆزەينىكى: يۈزدىن يادروغىچە بولغان CTE گرادىيېنتى لايىھەلەنگەن
- رايون خاراكتېرلىك CTE ئۆزگىرىشى: ئوخشاش ئاساسنىڭ ھەر خىل رايونلىرىدىكى ھەر خىل CTE قىممەتلىرى
فوتونلۇق ئەينەك بىر گەۋدىلەشتۈرۈش:
يېڭى ئەينەك تەركىبلىرى ئوپتىكىلىق ئىقتىدارلارنى بىۋاسىتە بىرلەشتۈرۈشكە شارائىت ھازىرلايدۇ:
- دولقۇن يولىنى بىرلەشتۈرۈش: ئەينەك ئاساستا دولقۇن يولىنى بىۋاسىتە يېزىش
- قوشۇلغان كۆزەينەك: ئاكتىپ ئىقتىدارلار ئۈچۈن ئېربىي قوشۇلغان ياكى نادر يەر قوشۇلغان كۆزەينەك
- سىزىقسىز كۆزەينەك: چاستوتا ئۆزگەرتىش ئۈچۈن يۇقىرى سىزىقسىز كوئېففىتسېنت
ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش تېخنىكىلىرى
ئەينەك قوشۇمچە ئىشلەپچىقىرىش:
ئەينەكنى 3D بېسىش ئارقىلىق تۆۋەندىكى ئىقتىدارلارنى قولغا كەلتۈرۈشكە بولىدۇ:
- ئەنئەنىۋى شەكىللەندۈرۈش ئارقىلىق مۇرەككەپ گېئومېتىرىيەلەرنى ھاسىل قىلىش مۇمكىن ئەمەس
- ئىسسىقلىق باشقۇرۇش ئۈچۈن بىرلەشتۈرۈلگەن سوۋۇتۇش قاناللىرى
- خاسلاشتۇرۇلغان شەكىللەر ئۈچۈن ماتېرىيال ئىسراپچىلىقى ئازايتىلدى
ئېنىق شەكىللەندۈرۈش:
يېڭى شەكىللەندۈرۈش تېخنىكىلىرى مۇقىملىقنى ياخشىلايدۇ:
- ئېنىق ئەينەك قېلىپلاش: ئوپتىكىلىق يۈزلەردە مىكروندىن تۆۋەن ئېنىقلىق
- ماندرېللار بىلەن چۆكۈش: يۈزەكى رەڭگى Ra < 0.5 nm ئارقىلىق كونترول قىلىنىدىغان ئەگرىلىككە ئېرىشىڭ
ئەقلىي ئەينەك ئاساسىي قەۋەتلىرى
ئىچىگە ئورنىتىلغان سېنزورلار:
كەلگۈسىدىكى ئاساسىي ماتېرىياللار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئېلىشى مۇمكىن:
- تېمپېراتۇرا سېنزورلىرى: تارقاقلاشتۇرۇلغان تېمپېراتۇرا كۆزىتىش
- بېسىم ئۆلچەش ئەسۋابلىرى: ھەقىقىي ۋاقىتلىق بېسىم/دېفورماسىيە ئۆلچەش
- ئورۇن سېنزورى: ئۆزلۈكىدىن تەڭشەش ئۈچۈن بىرلەشتۈرۈلگەن ئۆلچەش تېخنىكىسى
ئاكتىپ تولۇقلىما:
ئەقلىي ئىقتىدارلىق سۇبستراتلار تۆۋەندىكىلەرنى ئىشقا ئاشۇرالايدۇ:
- ئىسسىقلىق بىلەن قوزغىتىش: ئاكتىپ تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش ئۈچۈن بىرلەشتۈرۈلگەن ئىسسىتقۇچلار
- پىئېزوئېلېكترلىق قوزغىتىش: نانومېتىر ئۆلچىمىدىكى ئورۇننى تەڭشەش
- ماسلىشىشچان ئوپتىكا: ھەقىقىي ۋاقىتلىق يۈزە شەكلىنى تۈزىتىش
خۇلاسە: ئېنىق ئەينەك ئاساسىي تاختىلىرىنىڭ ئىستراتېگىيىلىك ئەۋزەللىكلىرى
بەش ئاساسلىق ئۆلچەم - ئوپتىكىلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى، يۈزەكى تۈزلۈك، ئىسسىقلىق كېڭىيىشى، مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەت ۋە خىمىيىلىك مۇقىملىق - نېمە ئۈچۈن ئېنىق ئەينەك ئاساسىي تاختىلارنىڭ ئوپتىكىلىق تەڭشەش سىستېمىسى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى ماتېرىيال ئىكەنلىكىنى بىرلىكتە بەلگىلەيدۇ. دەسلەپكى مەبلەغ سېلىش باشقا ماتېرىياللارغا قارىغاندا يۇقىرى بولۇشى مۇمكىن، ئەمما ئىشلىتىش پايدىسى، ئاسراشنىڭ ئازىيىشى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنىڭ ئېشىشىنى ئويلاشقاندا، ئومۇمىي ئىگىدارلىق تەننەرخى ئەينەك ئاساسىي تاختىلارنى ئۇزۇن مۇددەتلىك ئەڭ ياخشى تاللاشقا ئايلاندۇرىدۇ.
قارار رامكىسى
ئوپتىكىلىق تەڭشەش سىستېمىسى ئۈچۈن ئاساسىي ماتېرىياللارنى تاللىغاندا، تۆۋەندىكىلەرنى كۆزدە تۇتۇڭ:
- تەلەپ قىلىنىدىغان تەڭشەش توغرىلىقى: تۈزلۈك ۋە CTE تەلىپىنى بەلگىلەيدۇ
- دولقۇن ئۇزۇنلۇقى دائىرىسى: ئوپتىكىلىق يەتكۈزۈش ئۆلچىمىنى يېتەكلەيدۇ
- مۇھىت شارائىتى: CTE ۋە خىمىيىلىك مۇقىملىق ئېھتىياجىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ
- ئىشلەپچىقىرىش مىقدارى: چىقىم-پايدا تەھلىلىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ
- نازارەت قىلىش تەلىپى: گۇۋاھنامە بېرىش ئۈچۈن ئالاھىدە ماتېرىياللارنى تەلەپ قىلىشى مۇمكىن
ZHHIMG نىڭ ئەۋزەللىكى
ZHHIMG شىركىتىدە، بىز ئوپتىكىلىق تەڭشەش سىستېمىسىنىڭ ئىقتىدارىنىڭ پۈتكۈل ماتېرىيال ئېكولوگىيە سىستېمىسى تەرىپىدىن بەلگىلىنىدىغانلىقىنى چۈشىنىمىز - ئاساسىي قاتلامدىن تارتىپ قاپلاش ۋە ئورنىتىش ئۈسكۈنىلىرىگىچە. بىزنىڭ كەسپىي ماھارىتىمىز تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
ماتېرىيال تاللاش ۋە مەنبە:
- داڭلىق ئىشلەپچىقارغۇچىلارنىڭ ئالىي دەرىجىلىك ئەينەك ماتېرىياللىرىغا ئېرىشىش
- ئۆزگىچە قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن خاسلاشتۇرۇلغان ماتېرىيال ئۆلچەملىرى
- مۇقىم سۈپەت ئۈچۈن تەمىنلەش زەنجىرىنى باشقۇرۇش
ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش:
- ئەڭ ئىلغار سىلىقلاش ۋە پارقىراقلاش ئۈسكۈنىلىرى
- كومپيۇتېر كونترول قىلىنىدىغان λ/20 تەكشىلىك ئۈچۈن سىلىقلاش
- ئۆلچەمنى تەكشۈرۈش ئۈچۈن ئىچكى ئۆلچەش
خاسلاشتۇرۇلغان قۇرۇلۇش:
- بەلگىلىك قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن ئاساسىي قاتلام لايىھىسى
- ئورنىتىش ۋە ئورنىتىش چارىلىرى
- ئىسسىقلىق باشقۇرۇش بىر گەۋدىلىشىشى
سۈپەت كاپالىتى:
- ئومۇميۈزلۈك تەكشۈرۈش ۋە گۇۋاھنامە بېرىش
- ئىز قوغلاش ھۆججىتى
- كەسىپ ئۆلچىمىگە (ISO, ASTM, MIL-SPEC) ماسلىشىش
ئوپتىكىلىق تەڭشەش سىستېمىلىرىڭىز ئۈچۈن ئېنىق ئەينەك ئاساسىي ماتېرىياللىرى ساھەسىدىكى تەجرىبىمىزدىن پايدىلىنىش ئۈچۈن ZHHIMG بىلەن ھەمكارلىشىڭ. سىزگە ئۆلچەملىك تەييار ئاساسىي ماتېرىياللار ياكى تەلەپچان قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن خاس لايىھەلەنگەن ھەل قىلىش چارىلىرى كېرەك بولسۇن، بىزنىڭ گۇرۇپپىمىز سىزنىڭ ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش ئېھتىياجىڭىزنى قوللاشقا تەييار.
ئوپتىكىلىق تەڭشەش ئاساسى تەلىپىڭىزنى مۇزاكىرە قىلىش ۋە توغرا ماتېرىيال تاللاش سىستېمىڭىزنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى قانداق ئاشۇرۇشى مۇمكىنلىكىنى بىلىش ئۈچۈن بۈگۈن بىزنىڭ قۇرۇلۇش گۇرۇپپىمىز بىلەن ئالاقىلىشىڭ.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 3-ئاينىڭ 17-كۈنى