نېمىشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىلار تەبىئىي گرانىت ئاساسلىرىنى بەلگىلەيدۇ - 5 مۇھىم سەۋەب

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش ساھەسىدە، ئالاھىدىلىك چوڭلۇقى نانومېتىر بىلەن ئۆلچەنىدىغان بۇ ساھەدە، ماشىنىنىڭ ئاساسى ئوپتىكىلىق ياكى ۋاكۇئۇم سىستېمىسىغا ئوخشاش مۇھىم. ئۇ ۋافېر تەكشۈرۈش ماشىنىسى بولسۇن ياكى چوڭقۇر ئۇلترابىنەفشە نۇرلۇق (DUV) لىتوگرافىيە سىستېمىسى بولسۇن، دۇنياۋى OEM ئىشلەپچىقارغۇچىلار قۇرۇلما ئاساسى ئۈچۈن تەبىئىي قارا گرانىتنى دائىم بەلگىلەيدۇ.

ئەمما نېمە ئۈچۈن تەبىئىي تاش ئەڭ ئىلغار سۈنئىي ماتېرىياللار بىلەن بەلگىلەنگەن كەسىپتە ئالتۇن ئۆلچەم ھېسابلىنىدۇ؟ تۆۋەندە تەبىئىي گرانىتنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن سۆھبەتلىشىشكە بولمايدىغان تاللاش بولۇشىنىڭ بەش تېخنىكىلىق سەۋەبى كۆرسىتىلدى.

1. زاۋۇتنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ «ئالدى تەرەپ» مۇھىتى مۇتلەق ئۆلچەملىك مۇقىملىقنى تەلەپ قىلىدۇ. تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىنىڭ بىر گرادۇسلۇق قىسمىمۇ مېتال قۇرۇلمىلارنىڭ كېڭىيىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، قاپلاش خاتالىقى ياكى لىتوگرافىيەدە «تۇڭغۇلىشىش» نى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

تەبىئىي گرانىتنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى (CTE) ئىنتايىن تۆۋەن. سېلىشتۇرغانداگرانىت ئاساسىپولات ياكى ئاليۇمىننىڭ ئورنىغا لامپا تەكشۈرۈش ماشىنىسىنى ئىشلەتكەندە، گرانىت كىچىك مۇھىت ئۆزگىرىشلىرىگە قارىماي، ئۆلچەملىك جەھەتتىن «توڭلاپ قالغان» ھالەتتە تۇرىدۇ. بۇ ئىسسىقلىق ئىنېرتسىيەسى ئوپتىكىلىق يولنىڭ ئۆزگىرىشنىڭ تۇنجى لامپىسىدىن ئەڭ ئاخىرقىسىغىچە ماسلىشىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

2. نانومېتىر ئېنىقلىقى ئۈچۈن ئالاھىدە تىترەش ئاجىزلىقى

لىتوگرافىيە ئۈسكۈنىلىرى ۋە يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئۆلچەش قوراللىرى زاۋۇتتىن، سوۋۇتۇش شامالدۇرغۇچلىرىدىن ياكى روبوت ۋافېر بىر تەرەپ قىلغۇچتىن كېلىدىغان «شاۋقۇن»غا ئىنتايىن سەزگۈر.

مېتاللار سوقۇلۇشتىن كېيىن ئۇزۇن ۋاقىت تەۋرىنىپ «ئۈزۈك» بولۇشقا مايىل بولسىمۇ، تەبىئىي گرانىت يۇقىرى ئىچكى سۈمۈرۈش ئىقتىدارىغا ئىگە. ئۇ كىنېتىك ئېنېرگىيەنى تېز سۈمۈرۈۋالىدۇ ۋە تارقىتىدۇ. لىتوگرافىيە ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان بۇ تىترەشنى سۈمۈرۈش گرانىت، ماشىنىنىڭ يۇقىرى سۈرئەتلىك باسقۇچ يۆتكىلىشىدىن كېيىن تېزراق چۆكۈشىگە شارائىت يارىتىپ، قورالنىڭ «سائىتىگە بىرلىك» (UPH) ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارىنى زور دەرىجىدە ئاشۇرىدۇ.

3. ماگنىتلىق ئەمەس ۋە ئېلېكتر ئۆتكۈزمەيدۇ

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانلىرى كۆپىنچە سەزگۈر ئېلېكترون نۇرى (E-نۇر) ياكى يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ماگنىتلىق سىزىقلىق ماتورلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. مېتال ئاساس بۇ ماگنىت مەيدانلىرىغا توسقۇنلۇق قىلىشى ياكى سېنزورنىڭ توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان قۇيرۇقلۇق ئېقىملارنى پەيدا قىلىشى مۇمكىن.

تەبىئىي ئىزولياتور بولۇش سۈپىتى بىلەن، گرانىت پاكىز ئۆيلەر ئۈچۈن ماگنىتسىز ئۆلچەش سۇپىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇ قورالنىڭ ئېلېكترو ماگنىت مۇھىتىغا تەسىر كۆرسەتمەيدۇ، بۇ ئارقىلىق ۋافېر توپوگرافىيەسىنى خەرىتىلەش ياكى نۇقسان تەكشۈرۈش جەريانىدا ساپ، بۇزۇلمىغان سانلىق مەلۇماتلارنى قولغا كەلتۈرۈشكە يول قويىدۇ.

4. چىرىشكە قارشى تۇرۇش ۋە پاكىز ئۆينىڭ ماسلىشىشى

پاكىز ئۆيدە (1-دەرىجىلىك ياكى 10-دەرىجىلىك)، گازنىڭ چىقىپ كېتىشى ۋە زەررىچىلەرنىڭ پەيدا بولۇشى مەھسۇلات مىقدارىنىڭ دۈشمىنى. چويۇن ياكى پولاتتىن پەرقلىق ھالدا، تەبىئىي گرانىت داتلىشىپ كەتمەيدۇ، ئوكسىدلانمايدۇ ياكى ۋاقىتنىڭ ئۆتۈشىگە ئەگىشىپ پارچىلىنىپ كېتىشى ياكى گازنىڭ چىقىپ كېتىشى مۇمكىن بولغان خىمىيىلىك بوياق ۋە قاپلاشلارنى تەلەپ قىلمايدۇ.

گرانىت خىمىيىلىك جەھەتتىن ئىنېرتلىق. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتىدا ئىشلىتىلىدىغان ئالاھىدە تازىلاش دورىلىرىغا دۇچ كەلگەندىمۇ، ئۇ يۈزىنىڭ پۈتۈنلۈكىنى ساقلايدۇ. ئۇنىڭ يۇقىرى زىچلىقتىكى قۇرۇلمىسى (تەخمىنەن 3100 كىلوگرام/م³) ئۈسكۈنىنىڭ پۈتۈن ئۆمرىدە «زەررىچىلەرنىڭ نېيتراللىقى»نى ساقلايدۇ.

5. قولدا سۈرتۈش ئارقىلىق «ھەقىقىي تۈزلۈك»كە ئېرىشىش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە، «تەكشى» دېگەن سۆز يېتەرلىك دەرىجىدە تەكشى ئەمەس. زاپچاسلار كۆپىنچە CNC ماشىنىلىرى ئەمەلگە ئاشۇرالمايدىغان نانو دەرىجىلىك ئېنىقلىقنى تەلەپ قىلىدۇ.

تەبىئىي گرانىت قولدا چاپلاش ئۇسۇلى ئارقىلىق پىششىقلاپ ئىشلەشكە يول قويىدۇ، بۇ ئۇسۇلدا كەسپىي تېخنىكلار ±0.001 مىللىمېتىرغىچە بولغان تەكشىلىك چىدامچانلىقىغا ئېرىشىدۇ. بۇ دەرىجىدىكى ئېنىقلىق زامانىۋى ۋافېر سىكانىرلىرىدا ئىشلىتىلىدىغان ھاۋا كۆتۈرگۈچ باسقۇچلار ئۈچۈن ناھايىتى مۇھىم، چۈنكى باسقۇچ بىلەن ئاساس ئوتتۇرىسىدىكى ھاۋا بوشلۇقى پۈتكۈل ھەرىكەت دائىرىسىدە مۇكەممەل بىردەك بولۇشى كېرەك.

ZHHIMG نىڭ ئەۋزەللىكى: نانو دەۋرى ئۈچۈن ئېنىقلىق

UNPARLELLED (ZHHIMG) شىركىتىدە، بىز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتلىرىدىكى گرانىتنىڭ ئىسسىقلىق مۇقىملىقىنى باشقا ھەر قانداق ئادەمدىن ياخشى چۈشىنىمىز. بىز دۇنيادىكى ئالدىنقى قاتاردىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قورال ئىشلەپچىقارغۇچىلارغا خاس لايىھەلەنگەن گرانىت زاپچاسلىرى بىلەن تەمىنلەيمىز، ئۇلار تۆۋەندىكى ساھەلەرگە ئىختىساسلاشقان:

• ۋاكۇئۇمغا ماس كېلىدىغان ئىنتايىن چوڭ ئاساسلار.

• يۇقىرى سۈرئەتلىك دەرۋازا سىستېمىسى ئۈچۈن ئېنىقلىق نۇرلىرى.

• سىزىقلىق ماتور ئورنىتىش ئۈچۈن بىرلەشتۈرۈلگەن قىستۇرمىلار.

بىزنىڭ يۇقىرى زىچلىقتىكى قارا گرانىتىمىز دۇنياۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يول پىلانىنىڭ ئەڭ تەلەپچان ئۆلچەملىرىگە ماس كېلىدىغان قىلىپ ئىشلەپچىقىرىلىدۇ ۋە پىششىقلىنىدۇ.