گرانىت ماشىنىسىنىڭ ئاساسى ۋافېر سىكانىرلاش جەريانىدا ئىسسىقلىق سەۋەبىدىن كېڭىيىپ كېتەمدۇ؟

چىپ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ مۇھىم ھالقىسى بولغان لېنتا سىكانىرلاشتا، ئۈسكۈنىلەرنىڭ توغرىلىقى چىپنىڭ سۈپىتىنى بەلگىلەيدۇ. ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇھىم تەركىبىي قىسمى بولۇش سۈپىتى بىلەن، گرانىت ماشىنا ئاساسىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش مەسىلىسى كۆپچىلىكنىڭ دىققىتىنى تارتتى.

گرانىتنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى ئادەتتە 4 دىن 8 × 10⁻⁶/℃ غىچە بولۇپ، مېتال ۋە مەرمەرنىڭكىدىن خېلىلا تۆۋەن. بۇ دېگەنلىك، تېمپېراتۇرا ئۆزگەرگەندە، ئۇنىڭ چوڭلۇقى نىسبەتەن ئاز ئۆزگىرىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، ئىسسىقلىق كېڭىيىشىنىڭ تۆۋەن بولۇشى ئىسسىقلىق كېڭىيىشى يوق دېگەنلىك ئەمەسلىكىنى ئەسكەرتىش كېرەك. تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى ئىنتايىن ئېغىر بولغاندا، ئەڭ كىچىك كېڭىيىشمۇ ۋافېر سىكانىرلاشنىڭ نانو ئۆلچەملىك توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن.

ۋافېر سىكانىرلاش جەريانىدا، ئىسسىقلىق كېڭىيىشىنىڭ كۆپ خىل سەۋەبلىرى بار. سېختىكى تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى، ئۈسكۈنە زاپچاسلىرىنىڭ ئىشلىتىلىشى سەۋەبىدىن پەيدا بولغان ئىسسىقلىق ۋە لازېر بىر تەرەپ قىلىش ئارقىلىق دەرھال يۇقىرى تېمپېراتۇرا گرانىت ئاساسىنىڭ «تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى سەۋەبىدىن كېڭىيىشى ۋە قىسقىرىشى» نى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئاساس ئىسسىقلىق كېڭىيىشىگە ئۇچرىغاندىن كېيىن، يېتەكلەش رېلىسىنىڭ تۈزلىكى ۋە سۇپا تۈزلىكى ئۆزگىرىشى مۇمكىن، بۇنىڭ نەتىجىسىدە ۋافېر ئۈستىلىنىڭ ھەرىكەت يۆنىلىشى توغرا بولمايدۇ. تىرەش ئوپتىكىلىق زاپچاسلارمۇ يۆتكىلىپ، سىكانىرلاش نۇرىنىڭ «يېتىلىشى» نى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئۇزۇن ۋاقىت ئۈزلۈكسىز ئىشلەش خاتالىقلارنى توپلاپ، توغرىلىقنى بارغانسېرى ناچارلاشتۇرىدۇ.

لېكىن ئەنسىرىمەڭ. كىشىلەردە ئاللىقاچان ھەل قىلىش چارىلىرى بار. ماتېرىيال جەھەتتە، ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى تۆۋەنرەك بولغان گرانىت تومۇرلىرى تاللىنىپ، قېرىش بىر تەرەپ قىلىنىدۇ. تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش جەھەتتە، سېخنىڭ تېمپېراتۇرىسى 23±0.5℃ ياكى ئۇنىڭدىنمۇ تۆۋەن بولغاندا ئېنىق كونترول قىلىنىدۇ، شۇنداقلا ئاساس ئۈچۈن ئاكتىپ ئىسسىقلىق تارقىتىش ئۈسكۈنىسى لايىھەلىنىدۇ. قۇرۇلما لايىھىسى جەھەتتە، سىممېترىك قۇرۇلمىلار ۋە يۇمشاق تىرەكلەر قوللىنىلىدۇ، ھەمدە تېمپېراتۇرا سېنزورلىرى ئارقىلىق ھەقىقىي ۋاقىتلىق نازارەت قىلىنىدۇ. ئىسسىقلىق دېفورماتسىيەسى كەلتۈرۈپ چىقارغان خاتالىقلار ئالگورىزىملار ئارقىلىق دىنامىك تۈزىتىلىدۇ.

ASML لىتوگرافىيە ماشىنىسى قاتارلىق يۇقىرى دەرىجىلىك ئۈسكۈنىلەر بۇ ئۇسۇللار ئارقىلىق گرانىت ئاساسىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش ئۈنۈمىنى ئىنتايىن كىچىك دائىرىدە ساقلاپ، ۋافتا سىكانىرلاش ئېنىقلىقىنى نانومېتىر سەۋىيەسىگە يەتكۈزۈشكە شارائىت ھازىرلايدۇ. شۇڭا، توغرا كونترول قىلىنسا، گرانىت ئاساسى ۋافتا سىكانىرلاش ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن ئىشەنچلىك تاللاش بولۇپ قالىدۇ.