ۋافېر سايىلەش جەريانىدا ئىسسىقلىق سەۋەبىدىن گرانىت ماشىنا ئاساسى كېڭىلەمدۇ؟

ئۆزەك ياساشنىڭ ئاچقۇچلۇق ئۇلىنىشى - ۋافېر سايىلەشتە ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ توغرىلىقى ئۆزەكنىڭ سۈپىتىنى بەلگىلەيدۇ. ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇھىم تەركىبىي قىسمى بولۇش سۈپىتى بىلەن ، گرانىت ماشىنا بازىسىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش مەسىلىسى كىشىلەرنىڭ دىققىتىنى قوزغىدى.

گرانىتنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى ئادەتتە 4 بىلەن 8 × 10⁻⁶ / between ئارىلىقىدا بولىدۇ ، بۇ مېتال ۋە مەرمەر تاشلارنىڭكىدىن كۆپ تۆۋەن. دېمەك ، تېمپېراتۇرا ئۆزگەرگەندە ئۇنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى بىر ئاز ئۆزگىرىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن ، شۇنىڭغا دىققەت قىلىش كېرەككى ، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ئىسسىقلىق كېڭىيىش يوق دېگەنلىك ئەمەس. پەۋقۇلئاددە تېمپېراتۇرا داۋالغۇشىدا ، ئازراق كېڭىيىشمۇ ۋافېر سايىلەشنىڭ نانوسكولى توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن.

ۋافېر سىكانىرلاش جەريانىدا ئىسسىقلىق كېڭىيىشىنىڭ كۆپ خىل سەۋەبلىرى بار. سېختىكى تېمپېراتۇرىنىڭ داۋالغۇشى ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ زاپچاسلىرىنىڭ مەشغۇلاتى كەلتۈرۈپ چىقارغان ئىسسىقلىق ۋە لازېر پىششىقلاپ ئىشلەش ئېلىپ كەلگەن شۇ ھامان يۇقىرى تېمپېراتۇرىنىڭ ھەممىسى گرانىت بازىسىنىڭ «تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى سەۋەبىدىن كېڭىيىشى ۋە تارىيىشىنى» كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بازا ئىسسىقلىق كېڭىيىشنى باشتىن كەچۈرگەندىن كېيىن ، يېتەكچى تۆمۈر يولنىڭ تۈزلىكى ۋە سۇپىنىڭ تەكشىلىكى چەتنەپ كېتىشى مۇمكىن ، نەتىجىدە ۋافېر جەدۋىلىنىڭ ھەرىكەت يۆنىلىشى توغرا ئەمەس. قوللايدىغان ئوپتىكىلىق زاپچاسلارمۇ ئۆزگىرىپ ، سىكانېرلاش نۇرىنىڭ «چەتنەپ كېتىشى» نى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئۇزاق ۋاقىت ئۇدا ئىشلەشمۇ خاتالىقلارنى توپلاپ ، توغرىلىق دەرىجىسىنى تېخىمۇ ناچارلاشتۇرۇۋېتىدۇ.

لېكىن ئەنسىرىمەڭ. كىشىلەرنىڭ ھەل قىلىش چارىسى بار. ماتېرىيال جەھەتتە ، ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى تۆۋەن بولغان گرانىت تومۇرلار تاللىنىپ قېرىشنى داۋالايدۇ. تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىش جەھەتتە ، سېخنىڭ تېمپېراتۇرىسى 23 ± 0.5 at ھەتتا ئۇنىڭدىنمۇ تۆۋەن كونترول قىلىنىدۇ ، ئاكتىپ ئىسسىقلىق تارقىتىش ئۈسكۈنىسىمۇ بازا ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. قۇرۇلما لايىھىلەش جەھەتتە ، سىممېترىك قۇرۇلما ۋە جانلىق تىرەك قوللىنىلىدۇ ، تېمپېراتۇرا سېنزورى ئارقىلىق دەل ۋاقتىدا نازارەت قىلىش ئېلىپ بېرىلىدۇ. ئىسسىقلىق ئۆزگىرىشى كەلتۈرۈپ چىقارغان خاتالىقلار ھېسابلاش ئۇسۇلى ئارقىلىق ھەرىكەتچان تۈزىتىلىدۇ.

ASML تاش مەتبەئە ماشىنىسى قاتارلىق ئالىي دەرىجىلىك ئۈسكۈنىلەر بۇ ئۇسۇللار ئارقىلىق گرانىت بازىسىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش ئۈنۈمىنى ئىنتايىن كىچىك دائىرىدە ساقلاپ ، ۋافېر سىكانىرلاشنىڭ توغرىلىقىنى نانومېتىر سەۋىيىسىگە يەتكۈزىدۇ. شۇڭلاشقا ، مۇۋاپىق كونترول قىلىنسىلا ، گرانىت بازىسى ۋافېر سايىلەش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىشەنچلىك تاللىشى بولۇپ قالىدۇ.