يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىدىكى گرانىت تەركىبلىرى: نېمىشقا مىكرون ئاستى مۇقىملىقى ئاساستىن باشلىنىدۇ

زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئىنتايىن مۇرەككەپ بولۇپ، بۇنى ئاشۇرۇپ ئېيتىش تەس. ئالدىنقى قاتاردىكى لوگىكا چىپىدا بىر قانچە نانومېتىر بىلەن ئۆلچەنگەن، يەنى بىر تال DNA نىڭ كەڭلىكىدىن كىچىك بولغان ترانزىستورلار بار. بۇ ئالاھىدىلىكلەرنى كرېمنىي تاختىسىغا بېسىش ئۈچۈن ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقى تەلەپ قىلىنىدۇ، بۇ ئالدىنقى سانائەت دەۋرىدىكى ئەڭ ئېنىق ماشىنىسازلىق قۇرۇلۇشلىرىنى سېلىشتۇرۇشتا قوپال كۆرۈنىدۇ. شۇنداقتىمۇ، بۇ نانو ئۆلچەملىك جەرياننىڭ ئاساسى - كۆپىنچە ھاللاردا راستىنلا - ئېنىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن ماگما تاش پارچىسى.

گرانىت قۇرۇلما تەركىبلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئاساسلىق ئۈسكۈنىلەردە ھەممە يەردە ئۇچرايدۇ، نېمە ئۈچۈن بۇنداق ئىكەنلىكىنى چۈشىنىش ئۈچۈن بۇ ماشىنىلارنىڭ سىستېما سەۋىيىسىدىكى تولۇق قۇرۇلۇشلىرىنى كۆزدىن كەچۈرۈش كېرەك: قانداق خاتالىقلارنى كونترول قىلىش كېرەك، ئۇلارنىڭ سىستېما ئارقىلىق قانداق تارقىلىشى ۋە قانداق ماتېرىيال خۇسۇسىيەتلىرى گرانىتنىڭ رولىغا ماس كېلىدىغانلىقىنى كۆرسىتىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ خاتالىق خامچوتى: قاتلىمىنى چۈشىنىش

ھەر بىر ئېنىقلىق ئورۇن بەلگىلەش سىستېمىسى - يېرىم ئۆتكۈزگۈچ بىر تەرەپ قىلىش ئۈسكۈنىلىرى ئاساسەن ئىنتايىن ئېنىق ئورۇن بەلگىلەش سىستېمىلىرىنىڭ توپلىمى - ئىنژېنېرلار خاتالىق خامچوتى دەپ ئاتايدىغان نەرسىگە قارشى ئىشلەيدۇ. يول قويۇلغان ئومۇمىي ئورۇن بەلگىلەش خاتالىقى سىستېمىدىكى بارلىق خاتالىق مەنبەلىرىگە تەقسىملىنىدۇ: كودلىغۇچنىڭ ئېنىقلىقى، ياستۇقنىڭ تۈزلۈكى، ئىسسىقلىق يۆتكىلىشى، تىترەش، ھەرىكەتلەندۈرگۈچنىڭ سىزىقسىزلىقى ۋە قۇرۇلما شەكلىنىڭ ئۆزگىرىشى قاتارلىقلار.

IC ئىشلەپچىقىرىشتا ئىشلىتىلىدىغان فوتولىتوگرافىيە سىكانىر ياكى باسقۇچلۇق سىكانىر سىستېمىسىدا، ئومۇمىي قاپلاش خاتالىقى (بىر بېسىلغان قەۋەتنىڭ ئالدىنقىسىغا ماسلىشىش توغرىلىقى) بېسىلىۋاتقان ئەڭ كىچىك ئالاھىدىلىك چوڭلۇقىنىڭ بىر قىسمىغىچە كونترول قىلىنىشى كېرەك. 7nm جەريان تۈگۈنلىرىدە، قاپلاش تەلىپى 2nm دىن تۆۋەن بولۇشى مۇمكىن. قۇرۇلما ئاساسىنىڭ بۇ خاتالىق خامچوتىغا قوشقان تۆھپىسى - ئىسسىقلىق يۆتكىلىشى، تىترەش بىرىكمىسى ياكى ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۆلچەمدىكى مۇقىمسىزلىق ئارقىلىق - بۇ ئومۇمىي خاتالىقنىڭ كىچىك بىر قىسمىغىچە ساقلىنىشى كېرەك.

بۇ باشقا كونترول ئالگورىزىمى ياكى تېخىمۇ تېز سېنزور ئىشلىتىش ئارقىلىق ھەل قىلغىلى بولىدىغان چەكلىمە ئەمەس. ئۇ قۇرۇلما ماتېرىيالىنىڭ ئۆز-ئۆزىدىن مۇقىم بولۇشىنى تەلەپ قىلىدۇ. سىز ئۆلچەپ بولالمايدىغان ئۆزگىرىشنى ئىنكاس ئارقىلىق تۈزىتەلمەيسىز، ھەمدە سېنزورنىڭ ئېنىقلىق دەرىجىسىدىن تۆۋەن چاستوتا ياكى ئۇزۇنلۇق ئۆلچىمىدە يۈز بەرگەن خاتالىقلارنى تولۇق تولۇقلىيالمايسىز. شۇڭلاشقا ئاساسىي ماتېرىيالنى تاللاش مۇھىم: ئۇ ئاكتىپ كونترول ياردەم بېرەلمەيدىغان ئاساسىي تۆۋەننى بەلگىلەيدۇ.

ئىسسىقلىق باشقۇرۇش: مەركىزىي خىرىس

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىدىكى قۇرۇلما زاپچاسلىرىغا قويۇلغان بارلىق مۇقىملىق تەلىپى ئىچىدە، ئادەتتە ئىسسىقلىق باشقۇرۇش ئەڭ تەلەپچان تەلەپ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ بىر تەرەپ قىلىش مۇھىتىنىڭ تېمپېراتۇرىسى ئىنتايىن ئېھتىياتچانلىق بىلەن كونترول قىلىنىدۇ - لىتوگرافىيە ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان پاكىز ئۆيلەر ئادەتتە 20 سېلسىيە گرادۇس ± 0.01 سېلسىيە گرادۇس ياكى ئۇنىڭدىنمۇ قاتتىقراق ​​ھالەتتە ساقلىنىدۇ. ئەمما مۇھىتنى كونترول قىلىشنىڭ بۇ سەۋىيىسىگە قارىماي، ئىسسىقلىق گرادۇسى ۋە ۋاقىت تەۋرىنىشى ئۈسكۈنىلەرنىڭ لايىھىسىگە چەكلىمە قويىدۇ.

فوتولىتوگرافىيە سىستېمىسىدا ۋافېر باسقۇچىنى تىرەپ تۇرىدىغان گرانىت گانترى قۇرۇلمىسىنى كۆزدە تۇتۇڭ. ئەگەر بۇ قۇرۇلما بىر ئۇچىدىن يەنە بىر ئۇچىغىچە 0.01°C تېمپېراتۇرا گرادىيېنتىنى باشتىن كەچۈرسە (بۇ ئاللىقاچان ناھايىتى ياخشى كونترول قىلىنغان ئەھۋال) ۋە ئۇنىڭ ئۇزۇنلۇقى 1 مېتىر بولۇپ، CTE 7 × 10⁻⁶/°C بولسا، نەتىجىدە پەيدا بولغان پەرقلىق كېڭىيىش تەخمىنەن 70 پىكومېتر بولىدۇ. بىر قاراشتا، بۇ ئانچە چوڭ ئەمەستەك قىلىدۇ. ئەمما 2nm قاپلاش ئۆلچىمى ئاستىدا، بۇ يەككە ئىسسىقلىق تۆھپىسى ئاللىقاچان ئومۇمىي خاتالىق خامچوتىنىڭ %3.5 نى سەرپ قىلىدۇ. باشقا بارلىق ئىسسىقلىق مەنبەلىرى - ماتور ئىسسىقلىقى، ياستۇق سۈركىلىشى، باسقۇچ تېزلىنىش ئېنېرگىيەسى - قالغان خامچوت ئۈچۈن رىقابەتلىشىدۇ.

شۇڭلاشقا كېڭىيىشنىڭ ئىسسىقلىق كوئېففىتسېنتى پەقەت گرانىتنىڭ ئۆلچىمى ئەمەس، بەلكى ئاساسلىق تاللاش ئۆلچىمى. شۇڭلاشقا زىچلىقنىڭ مۇھىملىقى دەرھال ئېنىق ئەمەس: يۇقىرى زىچلىقتىكى گرانىت (مەسىلەن، زىچلىقى ≈ 3100 kg/m³ بولغان ئالىي دەرىجىلىك قارا گرانىت) نىڭ تۆشۈكلۈكى تۆۋەن، يەنى سۈمۈرۈلۈش مىقدارى ئاز بولىدۇ، شۇڭا مۇھىت نەملىكى ئازراق ئۆزگەرگەندە، نەملىك ئۆلچىمىنىڭ ئۆزگىرىشى ئاز بولىدۇ.يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر، ئالىي دەرىجىلىك گرانىت بىلەن ئادەتتىكى گرانىت ئوتتۇرىسىدىكى بۇ پەرق نەزەرىيەۋى ئەمەس - ئۇنى ماشىنىنىڭ ئاخىرقى ئىقتىدارىدىن ئۆلچىگىلى بولىدۇ.

تىترەشنى ئايرىش ۋە سۈمۈرۈش: تەسىر رايونىنى قوغداش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ تازىلىق ئۆيلىرى سىرتقى تەۋرىنىشنىڭ يەتكۈزۈلۈشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ئايرىم پول تاختىلىرىغا ئورنىتىلىدۇ. ئەمما ئاكتىپ تەۋرىنىش ئايرىش سىستېمىلىرى - ھاۋا ياستۇقلىرى، ئېلېكترو ماگنىتلىق ھەرىكەتلەندۈرگۈچلەر ياكى ئاكتىپ سۈمۈرۈش ھالقىسىغا كىرگۈزۈلىدىغان ئىنېرتسىيە سېنزورلىرى بولسىمۇ، ئۈسكۈنىنىڭ ئۆزىنىڭ قۇرۇلما تەركىبلىرى ئۇلارغا يېتىپ بارىدىغان قالدۇق تەۋرىنىشلەرنى كۈچەيتمەسلىكى ياكى ناچار دەرىجىدە ئاجىزلاشتۇرماسلىقى كېرەك.

گرانىتنىڭ سۈمۈرۈش كوئېففىتسېنتى (مېخانىكىلىق تەۋرىنىش ئېنېرگىيەسىنىڭ ماتېرىيال ئىچىدە سۈمۈرۈلۈپ ئىسسىقلىققا ئايلىنىش سۈرئىتى) ئادەتتە چويۇننىڭكىدىن ئۈچ ھەسسىدىن بەش ھەسسىگىچە يۇقىرى، قۇرۇلما پولاتنىڭكىدىن كۆرۈنەرلىك يۇقىرى. سەزگۈر ئوپتىكىلىق ئېلېمېنتلار ياكى ئورۇنلاشتۇرۇش باسقۇچلىرى ئۈچۈن قاتتىق ئورنىتىش قۇرۇلمىسىنى شەكىللەندۈرىدىغان زاپچاسلار ئۈچۈن، ماتېرىيال سۈمۈرۈشتىكى بۇ پەرق بىر نەچچە مىللىسېكۇنت ئىچىدە چىرىيدىغان تەۋرىنىش قالايمىقانچىلىقى بىلەن ئون نەچچە مىللىسېكۇنت ئۈزۈلۈپ تۇرىدىغان تەۋرىنىش قالايمىقانچىلىقى ئوتتۇرىسىدىكى پەرقنى بىلدۈرىدۇ - بۇ ئۇزۇنلۇقتا ئاشكارلىنىشتا تۇتۇقلۇق، ۋافېر بىر تەرەپ قىلغۇچتا ئورۇنلاشتۇرۇش خاتالىقى ياكى لىنىيە ئىچىدىكى تەكشۈرۈش سىستېمىسىدا ئۆلچەش بۇيۇمى پەيدا بولىدۇ.

ئەمەلىي ئۈسكۈنە لايىھىلەشتە، بۇ ئىنژېنېرلارنىڭ قۇرۇلما ئېلېمېنتلىرىنى قانداق بەلگىلەشتە ئىپادىلىنىدۇ. ۋافېر باسقۇچ سىستېمىسىنىڭ ئورنىتىش كۆۋرۈكى، تىك تەكشۈرۈش ماشىنىسىنىڭ تۈۋرۈك قۇرۇلمىسى، پرويېكسىيە لىنزىسى قۇرۇلمىسىنىڭ ئاساسىي تاختىسى - بۇلارنىڭ ھەممىسى گرانىتنىڭ يۇقىرى قاتتىقلىقى (زىچلىقىغا نىسبەتەن يۇقىرى ئېلاستىكىلىق مودۇلى) ۋە يۇقىرى ماتېرىيال سۈمۈرۈلۈشىنىڭ بىرىكمىسىدىن پايدىلىنىدۇ. بۇ بىرىكمە گرانىت قۇرۇلمىسىغا نىسبەتەن يۇقىرى تەبىئىي چاستوتا ۋە مەجبۇرىي تەۋرىنىشنىڭ تېز چېكىنىشىنى بېرىدۇ، بۇ ئىككى خۇسۇسىيەت ئېنىق ئورۇن بەلگىلەش سىستېمىسى لايىھىلەشتە ئۈمىد قىلىنىدۇ.

ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۆلچەم مۇقىملىقى: ئىشەنچ گېئومېتىرىيەسى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى قىممەت — ئالدىنقى قاتاردىكى لىتوگرافىيە سىستېمىلىرىنىڭ باھاسى يۈز مىليون دوللار — ھەمدە ئۇنىڭ ئۆلچەم دائىرىسىدە نەچچە يىل، ھەتتا ئون يىللارچە ئىشلىشى مۆلچەرلەنمەكتە. بۇ خىزمەت مۇددىتى ئىچىدە، ئاساسلىق قۇرۇلما ئېلېمېنتلىرى ئوتتۇرىسىدىكى ئۆلچەملىك مۇناسىۋەت سىستېمىنىڭ خاتالىق خامچوتى ئىچىدە مۇقىم تۇرۇشى كېرەك. ھەتتا ئاستا ئۆزگىرىشلەر — ئايلارچە ۋاقىت جەدۋىلىدە — ماسلاشتۇرۇش خاتالىقلىرىغا توپلىنىپ، ئۈنۈمنى تۆۋەنلىتىدۇ ياكى پىلانلانمىغان قايتا تەڭشەشنى تەلەپ قىلىدۇ.

بۇ يەردە گرانىتنىڭ گېئولوگىيەلىك تارىخى ئەمەلىي قۇرۇلۇش ئەۋزەللىكىگە ئايلىنىدۇ. قېزىۋېلىنغان، مۇقىملاشتۇرۇلغان ۋە پىششىقلاپ ئىشلەنگەن گرانىت ئاللىقاچان بېسىمنى يېنىكلىتىش ۋە مۇستەھكەملەش جەريانلىرىدىن ئۆتكەن بولۇپ، بۇ جەريانلار ئىشلىتىش جەريانىدا ئۆلچەمنىڭ ئۆزگىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ياخشى پىششىقلاپ ئىشلەنگەن گرانىت قۇرۇلمىسى ئۆز ئېغىرلىقى ئاستىدا سىيرىلىپ كەتمەيدۇ؛ ئۇ بىر نەچچە ئاي ئىچىدە قالغان ئىشلەش بېسىمىنى قويۇپ بەرمەيدۇ؛ ئۇ فازا ئۆزگىرىشى ياكى مىقدارىنى ئۆزگەرتىدىغان يېغىن رېئاكسىيەسىگە ئۇچرىمايدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىدە ئۇچرايدىغان تېمپېراتۇرا ۋە يۈكنىڭ خىزمەت دائىرىسى ئىچىدە، ئېنىق گرانىت قۇرۇلمىسى ئۆزىنىڭ گېئومېتىرىيەسىنى ئاكتىپ ئىسسىقلىق تولۇقلىمىسىز ھېچقانداق ھازىرقى قۇرۇلما مېتالىنىڭ ئوخشاش ۋاقىت دائىرىسىدە يېتەلمەيدىغان مۇقىملىق بىلەن ساقلايدۇ.

بۇ مۇقىملىق ئاپتوماتىك ئەمەس - ئۇ خام ماتېرىيالنىڭ سۈپىتى ۋە پىششىقلاش ئۇسۇلىغا ئىنتايىن باغلىق. يېتەرلىك بېسىمنى يېنىكلىتىش مەزگىلى بولمىغان، بەك تېز كېسىلگەن ۋە پىششىقلانغان تاشلار يەتكۈزۈلگەندىن كېيىنمۇ داۋاملىق ئېقىپ كېتىشى مۇمكىن. شۇڭلاشقا داڭلىق ئېنىقلىقتىكى گرانىت ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئىشلەپچىقىرىش جەريانىغا كونترول قىلىنىدىغان قېرىش مەزگىللىرىنى قوشىدۇ، ھەمدە ھەر بىر تۈركۈمنىڭ زىچلىقى، قاتتىقلىقى ۋە دانچە قۇرۇلمىسىنى تەكشۈرۈش قاتارلىق كىرىدىغان ماتېرىياللارنى تەكشۈرۈش مۇھىم سۈپەت ئەمەلىيىتى.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەردە گرانىت تەركىبلىرىنىڭ ئالاھىدە قوللىنىلىشى

ۋافېر باسقۇچى ئاساسىي تاختىلىرى ۋە پايدىلىنىش يۈزلىرى

لىتوگرافىيە سىستېمىسىدا كرېمنىي لېنتىسىنى ھەرىكەتلەندۈرىدىغان باسقۇچ، ھەر بىر قېلىپ ئورنىنى نۇر مەنبەسىنىڭ نۇرى ئىچىگە نانومېتردىن تۆۋەن تەكرارلىنىش ئىقتىدارى بىلەن ئورۇنلاشتۇرۇشى كېرەك. باسقۇچ يېتەكچىلىك سىستېمىسى ئورنىتىلغان ئاساس تاختىسى ۋە باسقۇچنىڭ ئورنى لازېر ئارىلىشىش ئۆلچەش ئەسۋابى ياكى سىزىقلىق كودلىغۇچ ئارقىلىق ئۆلچەنگەن پايدىلىنىش يۈزى تۈز، مۇقىم ۋە شەكلى ئۆزگەرمىگەن بولۇشى كېرەك.

گرانىت ئاساسىي تاختىلار ئادەتتە پۈتۈن باسقۇچلۇق ھەرىكەت دائىرىسىدە 1 μm دىن تۆۋەن تۈزلۈك قىممىتىگە، بەزى لايىھەلەردە يۈزلىگەن نانومېتىر قىممىتىگە يەتكۈزۈلىدۇ. گرانىت بارلىق ئورۇن بەلگىلەش ئۆلچەشلىرىنىڭ ئېلىپ بېرىلىدىغان فىزىكىلىق پايدىلىنىش نۇقتىسىنى تەمىنلەيدۇ؛ بۇ پايدىلىنىش يۈزىدىكى ھەر قانداق شەكىل خاتالىقى ماشىنىنىڭ ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقىدا بىۋاسىتە كۆرۈلىدۇ.

ئوپتىكىلىق تۈۋرۈك قۇرۇلمىلىرى ۋە لىنزا ئورنىتىش رامكىسى

فوتولىتوگرافىيە سىستېمىسىنىڭ ئوبيېكتىپ لىنزىسى ياكى پرويېكسىيە لىنزىسى قۇرۇلمىسى لىنزا ئېلېمېنتلىرى ئوتتۇرىسىدىكى ئېنىق ماسلىشىشنى يورۇتۇش نۇرىنىڭ دولقۇن ئۇزۇنلۇقىنىڭ بىر قىسمى ئىچىدە ساقلىشى كېرەك. بۇ لىنزا ئېلېمېنتلىرىنى ئورنىتىدىغان قۇرۇلما رامكىسى ئىشلىتىش جەريانىدا ئىسسىقلىق يۈكى، تارتىش كۈچى ۋە دىنامىك كۈچنىڭ دېفورماتسىيەسىگە قارشى تۇرۇشى كېرەك.

گرانىت قۇرۇلمىلىرى بەزى سىستېما لايىھەلىرىدە، بولۇپمۇ ئۇزۇن مۇددەتلىك ماسلىشىش مۇقىملىقى دىنامىك ئىقتىداردىن مۇھىم بولغان سىستېمىلاردا، پرويېكسىيە ئوپتىكىسىنىڭ ئورنىتىش رامكىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ. يۇقىرى قاتتىقلىق، تۆۋەن CTE ۋە نۆل ماگنىت ئۆتكۈزۈشچانلىقى (بۇنىڭدىن باشقا ماگنىتلىق ھەرىكەتلەندۈرۈلىدىغان لىنزا ئېلېمېنتلىرىغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن) نىڭ بىرىكمىسى گرانىتنى بۇ خىل قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن رىقابەت كۈچىگە ئىگە تاللاشقا ئايلاندۇرىدۇ.

جەريان ئۈسكۈنىلىرىدىكى مېترولوگىيە رامكىلىرى

نۇرغۇن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاش قوراللىرىدا -- چۆكمە سىستېمىسى، ئويۇش كامېراسى، تەكشۈرۈش ماشىنىلىرى -- ئەمەلىي پىششىقلاش مۇھىتى گرانىت قۇرۇلمىسى ئۈچۈن بەك كۈچلۈك (خىمىيىلىك ياكى ئىسسىقلىق جەھەتتىن). ئەمما بۇ قوراللار يەنىلا پىششىقلاش ئورنى ئۆلچەنىدىغان مۇقىم سىرتقى پايدىلىنىش رامكىسىغا ئېھتىياجلىق. پىششىقلاش كامېراسىنىڭ سىرتىغا ئورنىتىلغان، ئەمما ئۇنىڭغا ئېنىق كىنېماتىك ئورنىتىش ئارقىلىق ئۇلانغان گرانىت ئۆلچەش رامكىسى بۇ رولنى ئوينايدۇ، بۇ قاتتىق پىششىقلاش مۇھىتىدىن ئايرىۋېتىلگەن ئىسسىقلىق جەھەتتىن مۇقىم ئۆلچەش پايدىلىنىش رامكىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ.

PCB بۇرغىلاش ماشىنىلىرى ۋە ئاساسىي قاتلام بىر تەرەپ قىلىش ئۈسكۈنىلىرى

كرېمنىيلىق لېنتا پىششىقلاپ ئىشلەشتىن باشقا، كەڭ دائىرىلىك ئېلېكترون ئىشلەپچىقىرىش ئېكولوگىيە سىستېمىسى كۆپ قەۋەتلىك توك يولى تاختىسىدا قاتلاملارنى تۇتاشتۇرىدىغان تۆشۈكلەرنى ھاسىل قىلىدىغان PCB بۇرغىلاش ماشىنىلىرى ۋە ئىلغار ئورالما ئۈچۈن ئاساس بىر تەرەپ قىلىش ئۈسكۈنىلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. بۇ ماشىنىلار مىڭلىغان سائەتلىك خىزمەت جەريانىدا كۆپ خىل يۇقىرى سۈرئەتلىك ئوقلار ئوتتۇرىسىدىكى ئورۇن مۇناسىۋىتىنى بىر قانچە مىكرومېتىرلىق چىدامچانلىق دائىرىسى ئىچىدە ساقلايدىغان ئاساس قۇرۇلمىسىنى تەلەپ قىلىدۇ. گرانىت ئاساسلار ئوقلار ئوتتۇرىسىدىكى تىترەش باغلىنىشى ۋە يۇقىرى سۈرئەتلىك بۇرغىلاش ماتورلىرىنىڭ ئىسسىقلىق يۈكىگە قارشى ئۇزۇن مۇددەتلىك مۇقىملىقنى تەمىنلەيدۇ.

سىستېما سەۋىيىسىدىكى لايىھەلەش جەھەتتىكى ئويلىنىش نۇقتىلىرى: گرانىتنى قوللىنىشقا ماسلاشتۇرۇش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر بىر ئىشلىتىلىشى ئوخشاش دەرىجىلىك ئېنىقلىقتىكى گرانىتنى تەلەپ قىلمايدۇ. گرانىت قۇرۇلما زاپچاسلىرى بىلەن ئىشلەيدىغان سىستېما لايىھىلىگۈچىلىرى بىر قانچە ئامىلنى ئويلىشىشى كېرەك:

شەكىل ئامىلى ۋە ئېغىرلىقى — گرانىتنىڭ زىچلىقى (دەرىجىسىگە ئاساسەن 2700–3100 كىلوگرام/مېتىر³) چوڭ زاپچاسلارنى ئېغىرلاشتۇرىدۇ، شۇڭا تىرەك قۇرۇلمىسى شۇنىڭغا ئاساسەن لايىھەلىنىشى كېرەك. ئېغىر گرانىت باسقۇچلىرىنى سۇ ئۈستىدە لەيلىتىشتە ئىشلىتىلىدىغان ھاۋا كۆتۈرۈش سىستېمىسى يۈك سىغىمى ۋە يۈزەكى بېسىمنى ئەستايىدىل ھېسابلاشنى تەلەپ قىلىدۇ.

يۈزەكى پۈركۈش تەلىپى — ھاۋا ئۆتكۈزىدىغان يېتەكلىگۈچ يۈزلەرنىڭ توغرا ئىشلىشى ئۈچۈن ئىنتايىن تۆۋەن پۇراقلىق تەلەپ قىلىنىدۇ (Ra < 0.1 μm ئادەتتە). بۇ، تاشنىڭ چاپلاش جەريانىغا ۋە قاتتىقلىقى ۋە دانچە قۇرۇلمىسىغا تەلەپ قويىدۇ.

گرانىتنىڭ ئۆزىنىڭ ئىسسىقلىق باشقۇرۇشى — ئەڭ تەلەپچان قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن، گرانىت زاپچاسلىرى ئىچكى سوۋۇتۇش سۇيۇقلۇقى قاناللىرىنى (ئادەتتە تېمپېراتۇرا كونترول قىلىنىدىغان سۇ ئېقىمى) ئۆز ئىچىگە ئېلىپ، زاپچاسنىڭ تېمپېراتۇرىسىنى ئاكتىپ كونترول قىلىپ، ئىسسىقلىق ئۆزگىرىشىنى باستۇرۇشى مۇمكىن. بۇ سوۋۇتۇش سۇيۇقلۇقى قاناللىرى بىلەن ئەتراپتىكى تاش ئوتتۇرىسىدىكى ئىسسىقلىق ئارىلىقىنى ئەستايىدىل لايىھىلەشنى ۋە سوۋۇتۇش سۇيۇقلۇقىنىڭ ئېنىق تېمپېراتۇرا كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ.

ئارايۈز لايىھىسى — گرانىت قاتتىق ۋە موزلۇق؛ ئۇنى مېتال بىلەن ئوخشاش ئەركىنلىكتە قىسىپ ياكى بولتلاپ، يېرىلىش ياكى بۇرمىلىنىش خەۋپى يوق. كىنېماتىك ئورنىتىش لايىھىسى — ئۈچ نۇقتىلىق ئۇلىنىش ئارقىلىق ئالتە گرادۇسلۇق ئەركىنلىكنى چەكلەپ، ئارتۇقچە چەكلىمە قويماي، ئېنىق گرانىت زاپچاسلىرىنى تىرەك قۇرۇلمىلىرىغا ئورنىتىشنىڭ ئۆلچەملىك ئۇسۇلى.

ئاساسىي مۇقىملىق بىلەن پايدا نىسبىتى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەت

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى - لېنتىلىق چىپلارنىڭ ئۆلچەمگە ئۇيغۇن كېلىدىغان قىسمى - لىتوگرافىيە جەريانىدىكى سىستېمىلىق بوشلۇق خاتالىقلىرىغا سەزگۈر. ئاشكارلىنىش مەيدانىدا مۇقىم بولغان قاپلاش خاتالىقى مۇھىم ئۆلچەم (CD) ئۆلچەشلىرىنىڭ تارقىلىشىنى ئۆزگەرتىپ، تېخىمۇ كۆپ چىپلارنىڭ ئۆلچەمدىن ھالقىپ كېتىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ بىۋاسىتە ئىقتىسادىي تەسىر: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى مەھسۇلات زىيىنى ھەر بىر لېنتىلىق چىپ ئۈچۈن دوللار بىلەن ئۆلچىنىدۇ، لېنتىلىق چىپلارنىڭ ھەر بىرىنىڭ باھاسى يۈز ياكى مىڭ دوللار.

شۇڭا، قاپلاش خاتالىقىغا سەۋەب بولىدىغان ئاساسىي قۇرۇلمىنىڭ مۇقىمسىزلىقى بىۋاسىتە، مىقدارلاشتۇرغىلى بولىدىغان چىقىمغا ئېلىپ كېلىدۇ. بۇ مۇناسىۋەت ئىشلەپچىقىرىش سانلىق مەلۇماتلىرىدا ھەمىشە روشەن كۆرۈنمەيدۇ - ئاساسىي قۇرۇلمىنىڭ يۆتكىلىشىنىڭ تەسىرى ئاستا توپلىنىدۇ ۋە دائىملىق مەھسۇلات مىقدارىنى نازارەت قىلىشتىكى باشقا سەۋەبلەر بىلەن مۇناسىۋەتلىك بولۇشى مۇمكىن. ئەمما تەپسىلىي مەغلۇبىيەت ھالىتى ئانالىزىدا، ئۈسكۈنە ئاساسىنىڭ قۇرۇلما مۇقىملىقىنىڭ يېتەرلىك بولماسلىقى مەھسۇلات مىقدارىنىڭ تۆۋەنلىشىنىڭ ئاساسلىق سەۋەبى سۈپىتىدە دائىم ئوتتۇرىغا چىقىدۇ.

شۇڭلاشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئاساسىي قۇرۇلما لايىھىسى ۋە ماتېرىيال تاللاشقا زور مىقداردا قۇرۇلۇش كۈچى سەرپ قىلىدۇ، ھەمدە يېڭى سۈنئىي ماتېرىياللارنىڭ مەۋجۇت بولۇشىغا قارىماي، ئېنىقلىق گرانىت نۇرغۇن مۇھىم قۇرۇلما روللىرىدا ئىشلىتىلىپ كەلمەكتە. باشقا ماتېرىيالغا ئالماشتۇرۇشنىڭ ئۈنۈم پايدىسى ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا ئون نەچچە يىل ئىشلىتىلگەن ئىقتىدارغا ئىگە ماتېرىيالنى ئالماشتۇرۇشنى ئاقلاش ئۈچۈن زور بولۇشى كېرەك.

خۇلاسە: كۆرۈنمەس ئاساس

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا، جامائەتچىلىكنىڭ دىققىتىنى تارتىدىغان تەركىبلەر نانو ئۆلچەملىك ترانزىستورلار، يۇقىرى قۇۋۋەتلىك لازېرلار، مۇرەككەپ خىمىيىلىك ماددىلار ۋە مۇرەككەپ كونترول ئالگورىزىملىرى. بۇ تېخنىكىنىڭ ھەممىسىگە تايىنىدىغان گرانىت ئاساس قۇرۇلمىسى ئاخىرقى مەھسۇلاتتا كۆرۈنمەيدۇ، شۇنداقتىمۇ ئۇلار بۇ مەھسۇلاتنى ئەمەلگە ئاشۇرۇشتا مۇھىم رول ئوينايدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ مىكرون ئۆلچىمىدىن نانومېتىر ئۆلچىمىگىچە بولغان تەرەققىياتى گرانىتنىڭ مۇھىملىقىنى تۆۋەنلىتىپ قويمىدى. ئەگەر شۇنداق بولسا، ئۆلچەملەرنىڭ قىسقىرىشى ۋە پىششىقلاپ ئىشلەش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ باھاسى ئۆرلىشىگە ئەگىشىپ، مۇتلەق قۇرۇلما مۇقىملىقىغا بولغان تەلەپ تېخىمۇ كۈچىيدى. توغرا بېكىتىلگەن، قاتتىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن ۋە ئېنىق ئۆلچەنگەن گرانىت دۇنيادىكى ئەڭ ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنىڭ ئاساسىدىكى مۇقىملىقنى ساقلاپ كەلمەكتە.