تازا ئۆيلەرگە بېغىشلانغان گرانىت سۇپا: مېتال ئىئونى قويۇپ بېرىلمەيدۇ، ۋافېر تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى تاللاش.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېر تەكشۈرۈش ساھەسىدە، پاكىز ئۆي مۇھىتىنىڭ ساپلىقى مەھسۇلاتنىڭ مەھسۇلات مىقدارى بىلەن بىۋاسىتە مۇناسىۋەتلىك. چىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىنىڭ ئېنىقلىقى ئۈزلۈكسىز ياخشىلىنىۋاتقانلىقتىن، تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ كۆتۈرۈش سۇپىلىرىغا بولغان تەلەپ بارغانسېرى قاتتىقلىشىۋاتىدۇ. نۆل مېتال ئىئون قويۇپ بېرىش ۋە تۆۋەن زەررىچە بۇلغىنىش خۇسۇسىيىتىگە ئىگە گرانىت سۇپىلىرى ئەنئەنىۋى داتلاشماس پولات ماتېرىياللىرىدىن ئېشىپ، ۋافېر تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى ھەل قىلىش چارىسىگە ئايلاندى.

گرانىت ئاساسلىقى كۋارتس، دالا شپاتى ۋە مىكا قاتارلىق مېتال بولمىغان مىنېراللاردىن تەركىب تاپقان تەبىئىي ماگماتىك تاش. بۇ خۇسۇسىيەت ئۇنىڭغا نۆل مېتال ئىئونى قويۇپ بېرىش ئەۋزەللىكىنى بېرىدۇ. ئەكسىچە، تۆمۈر، خروم ۋە نىكېل قاتارلىق مېتاللارنىڭ قېتىشمىسى بولۇش سۈپىتى بىلەن، پاكىز ئۆي مۇھىتىدا سۇ پارى ۋە كىسلاتالىق ياكى ئىشقارلىق گازلارنىڭ ئېروزىيەسى سەۋەبىدىن يۈزىدە ئېلېكتروخىمىيىلىك چىرىشكە مايىل بولۇپ، Fe²⁺ ۋە Cr³⁺ قاتارلىق مېتال ئىئونلىرىنىڭ چۆكمىسىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ كىچىك ئىئونلار ۋافېرنىڭ يۈزىگە چاپلاشقاندىن كېيىن، كېيىنكى فوتولىتوگرافىيە ۋە ئويۇش قاتارلىق جەريانلاردا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيالنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتىدۇ، ترانزىستورنىڭ چەك توك بېسىمىنىڭ يۆتكىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، ھەتتا توك يولىدا قىسقا توك يولىنىڭ پەيدا بولۇشىغا سەۋەب بولىدۇ. كەسپىي ئاپپاراتلارنىڭ سىناق سانلىق مەلۇماتلىرىدىن مەلۇم بولۇشىچە، گرانىت سۇپىسى 1000 سائەت ئىچىدە ئۈزلۈكسىز پاكىز ئۆي تېمپېراتۇرىسى ۋە نەملىكى مۇھىتىغا (23±0.5℃، 45%±5% RH) دۇچ كەلگەندىن كېيىن، مېتال ئىئونلىرىنىڭ قويۇپ بېرىلىشى بايقاش چېكىدىن (<0.1ppb) تۆۋەن بولغان. داتلاشماس پولات سۇپىلارنى ئىشلەتكەندە، مېتال ئىئون بۇلغىنىشى سەۋەبىدىن ۋافلىلارنىڭ نۇقسان نىسبىتى %15 تىن %20 گىچە بولىدۇ.

زەررىچە بۇلغىنىشىنى كونترول قىلىش جەھەتتە، گرانىت سۇپىلىرىنىڭ ئۈنۈمىمۇ ئالاھىدە ياخشى. تازىلاش ئۆيلىرىنىڭ ھاۋادىكى لەيلىمە زەررىچىلەرنىڭ قويۇقلۇقىغا بولغان تەلىپى ئىنتايىن يۇقىرى. مەسىلەن، ISO 1-دەرىجىلىك تازىلاش ئۆيلىرىدە، ھەر كۇب مېتىرغا يول قويۇلغان 0.1μm زەررىچە سانى 10 دىن ئېشىپ كەتمەيدۇ. داتلاشماس پولات سۇپا پارقىراقلىق بىر تەرەپ قىلىنغان تەقدىردىمۇ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ تىترىشى ۋە خادىملارنىڭ ئىشلىشى قاتارلىق سىرتقى كۈچلەر سەۋەبىدىن مېتال قالدۇقلىرى ياكى ئوكسىد قالدۇقلىرىنىڭ سويۇلۇپ كېتىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن، بۇلار بايقاش ئوپتىكىلىق يولىغا توسقۇنلۇق قىلىشى ياكى تاختاينىڭ يۈزىنى چىزىشى مۇمكىن. زىچ مىنېرال قۇرۇلمىسى (زىچلىقى ≥2.7g/cm³) ۋە يۇقىرى قاتتىقلىقى (موھس ئۆلچىمى بويىچە 6-7) بولغان گرانىت سۇپىلىرى ئۇزۇن مۇددەت ئىشلەتكەندە ئۇپراش ياكى سۇنۇپ كېتىشكە مايىل ئەمەس. ئۆلچەنگەن ئۆلچەشلەر شۇنى كۆرسىتىپ بېرىدۇكى، ئۇلار بايقاش ئۈسكۈنىلىرى رايونىنىڭ ھاۋاسىدىكى لەيلىمە زەررىچىلەرنىڭ قويۇقلۇقىنى داتلاشماس پولات سۇپىلىرىغا سېلىشتۇرغاندا %40 تىن ئارتۇق تۆۋەنلىتىپ، پاكىز ئۆي دەرىجىسى ئۆلچىمىنى ئۈنۈملۈك ساقلايدۇ.

پاكىزلىق خۇسۇسىيىتىدىن باشقا، گرانىت سۇپىلىرىنىڭ ئومۇميۈزلۈك ئىقتىدارى داتلاشماس پولاتتىن خېلىلا ئېشىپ كېتىدۇ. ئىسسىقلىق مۇقىملىقى جەھەتتە، ئۇنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى پەقەت (4-8) × 10⁻⁶/℃ بولۇپ، داتلاشماس پولاتنىڭ يېرىمىدىنمۇ تۆۋەن (تەخمىنەن 17×10⁻⁶/℃)، بۇ پاكىز ئۆيدىكى تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى بىلەن بايقاش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئورنىنى بېكىتىش توغرىلىقىنى تېخىمۇ ياخشى ساقلىيالايدۇ. يۇقىرى سۈمۈرۈش خۇسۇسىيىتى (سۈمۈرۈش نىسبىتى > 0.05) ئۈسكۈنىلەرنىڭ تىترىشىنى تېز سۈرئەتتە پەسەيتىپ، بايقاش زوندىنىڭ تەۋرىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. ئۇنىڭ تەبىئىي چىرىشكە چىدامچانلىقى، قوشۇمچە قاپلاش قوغداشقا ئېھتىياجلىق بولماستىن، فوتورېزىست ئېرىتكۈچىلەر، ئويۇش گازلىرى ۋە باشقا خىمىيىلىك ماددىلارغا دۇچ كەلگەندىمۇ مۇقىم تۇرۇشىغا شارائىت ھازىرلايدۇ.

ھازىر، گرانىت سۇپىلىرى ئىلغار ۋافلى ئىشلەپچىقىرىش زاۋۇتلىرىدا كەڭ قوللىنىلىۋاتىدۇ. سانلىق مەلۇماتلاردىن قارىغاندا، گرانىت سۇپىسىنى قوللانغاندىن كېيىن، ۋافلى يۈزى زەررىچىلىرىنى بايقاشتىكى خاتا ھۆكۈم قىلىش نىسبىتى %60 تۆۋەنلىگەن، ئۈسكۈنىلەرنى تەڭشەش دەۋرى ئۈچ ھەسسە ئۇزارتىلغان، ئومۇمىي ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخى %25 تۆۋەنلىگەن. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى يۇقىرى ئېنىقلىققا قاراپ ئىلگىرىلىگەندە، نۆل مېتال ئىئونى قويۇپ بېرىش ۋە تۆۋەن زەررىچە بۇلغىنىشى قاتارلىق ئاساسلىق ئەۋزەللىكلىرىگە ئىگە گرانىت سۇپىلىرى ۋافلى تەكشۈرۈشىگە مۇقىم ۋە ئىشەنچلىك قوللاش بىلەن تەمىنلەشنى داۋاملاشتۇرۇپ، سانائەتنىڭ تەرەققىياتىغا تۈرتكە بولىدىغان مۇھىم كۈچكە ئايلىنىدۇ.