ئوپتىكىلىق سىستېمىلاردىكى ئېنىق ئەينەك زاپچاسلىرى: قوللىنىشچانلىقى ۋە ئىشلەپچىقىرىشتىكى قىيىنچىلىقلار

ئوپتىكىلىق ئەينەك زامانىۋى فوتونىك تېخنىكىسىنىڭ ئاساسى. ئالاقە قىلىشتىن تارتىپ مۇداپىئەلىنىشكىچە، بۇ زاپچاسلارغا بولغان تەلەپ بارغانسېرى قاتتىقلىشىۋاتىدۇ.

يۇقىرى قۇۋۋەتلىك لازېر سىستېمىسىدا، ئوپتىكىلىق زاپچاسلار غايەت زور ئېنېرگىيە زىچلىقىغا بەرداشلىق بېرىشى كېرەك. ئەينەكتىكى ھەر قانداق مىكروسكوپ نۇقسان ياكى ئارىلاشما لازېرنىڭ كەلتۈرۈپ چىقارغان بۇزۇلۇشىغا ئېلىپ كېلىپ، پۈتكۈل سىستېمىغا زىيان يەتكۈزۈشى مۇمكىن. بۇ يەردىكى ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئاساسلىق نۇقتىسى يەر ئاستىدىكى بۇزۇلۇشنى يوقىتىش ۋە نۇرنىڭ بۇرمىلىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن يۇقىرى بىردەكلىككە كاپالەتلىك قىلىشقا قارىتىلغان.

ئالەم تېلېسكوپلىرى ۋە يىراقتىن سېزىش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ دىئافراگما چوڭلۇقىنىڭ چوڭىيىشىغا ئەگىشىپ (ھازىر 4 مېتىردىن ئېشىپ كەتتى)، يېنىكلىك ۋە يۈزەكى ئېنىقلىققا بولغان تەلەپ كۈچىيىۋاتىدۇ. ئالەم بوشلۇقى ئۈچۈن ئوپتىكىلىق زاپچاسلار ئىنتايىن ئىسسىقلىق مۇھىتىدا شەكلىنى ساقلاپ قېلىشى كېرەك، بۇنىڭ ئۈچۈن ئىنتايىن تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى بار ماتېرىياللار لازىم.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە، EUV لىتوگرافىيە سىستېمىسى يۈزەكى پۇچۇقلۇقى 0.1 nm (RMS) دىن تۆۋەن بولغان نۇر قايتۇرغۇچ ئەينەكلەرگە تايىنىدۇ. ھەتتا ئاتوم دەرىجىسىدىكى پۇچۇقلارمۇ نۇرنى چېچىپ، چىپنىڭ ئېنىقلىقىنى بۇزىدۇ. بۇ ئوپتىكىلىق ئەينەك ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئەڭ يۇقىرى پەللىسىنى نامايان قىلىدۇ.

ئىشلەپچىقىرىش خىرىسى: بېسىم، تۈزلۈك ۋە سىلىقلىق

1. ئىچكى بېسىمنى كونترول قىلىش

• قىيىنچىلىق: قاتتىق، مۇرۇت ئەينەكلەرنى پىششىقلاپ ئىشلەش كۆپىنچە مىكرو بېسىملارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
• بىزنىڭ ئۇسۇلىمىز: بىز ئىلغار قىزىتىش جەريانلىرى ۋە تۆۋەن زىيانلىق شەكىللەندۈرۈش تېخنىكىسىنى قوللىنىمىز. سوۋۇتۇش سۈرئىتىنى قاتتىق كونترول قىلىش ۋە بېسىمنى يېنىكلىتىش ئۇسۇللىرىنى قوللىنىش ئارقىلىق، ئەينەكنىڭ ئىچكى قۇرۇلمىسىنىڭ نېيترال ۋە مۇقىم بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىمىز.

2. ئىنتايىن يۇقىرى تۈزلۈككە ئېرىشىش (تۆۋەن چاستوتا توغرىلىقى)

• قىيىنچىلىق: ئەنئەنىۋى سىلىقلاش دولقۇنلۇق كۆرۈنۈش قالدۇرۇشى ياكى دولقۇن يۈزىنىڭ توغرىلىقىنى تۆۋەنلىتىدىغان خاتالىقلارنى پەيدا قىلىشى مۇمكىن.
• بىزنىڭ ئۇسۇلىمىز: بىز يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى كومپيۇتېر كونترول قىلىدىغان ئوپتىكىلىق يۈزە (CCOS) نى قوللىنىمىز. بۇ بىزگە تۆۋەن چاستوتىلىق خاتالىقلارنى (شەكىل ئۆزگىرىشى) تۈزىتىش ئارقىلىق چوققا-ۋادىي (PV) قىممىتىنى كۆپىنچە 1 nm دىن تۆۋەن قىلىپ، ئوپتىكىلىق يولنىڭ مۇكەممەل تەڭشىلىنىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.

3. يۈزەكى پۇراقلىق (يۇقىرى چاستوتىلىق سىلىقلىق)

• قىيىنچىلىق: سىلىقلاش جەريانىدا پەيدا بولغان «تۇمان» ۋە مىكرو تىرناقلارنى يوقىتىش ئۈچۈن، ماتېرىيالنى چىقىرىۋېتىشتىن يۈزەكى سىلىقلاشقا ئۆتۈش كېرەك.
• بىزنىڭ ئۇسۇلىمىز: بىز ماگنىتلىق ياردەملىك پىششىقلاش قاتارلىق ئىلغار سىلىقلاش تېخنىكىلىرىنى قوللىنىمىز. بۇ تېخنىكا مۇرەككەپ شەكىللەرنى (مەسىلەن، ئەركىن شەكىللىك ئەينەكلەرنى) تۈركۈملەپ پىششىقلاپ ئىشلەشكە يول قويىدۇ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا يېڭى يەر ئاستى بۇزۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقارماي، نانومېتىردىن تۆۋەن يۈزەكى پۇختىلىققا (Ra < 0.6 nm) ئېرىشىدۇ.

ZHHIMG: سىزنىڭ ئىنتايىن ئېنىقلىقتىكى ھەمراھىڭىز

• مۇرەككەپ گېئومېتىرىيە: ئەركىن شەكىللىك، ئاسفېرىيىلىك ۋە تۈزلەڭلىك ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى پىششىقلاپ ئىشلەش.
• ئۆلچەش ۋە تەكشۈرۈش: يۈزە سۈپىتى ۋە شەكىلنىڭ توغرىلىقىنى ھەقىقىي ۋاقىتتا تەكشۈرۈش ئۈچۈن ئارىلاشما ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ۋە پىروفىلومېتىرلارنى ئىشلىتىش.
• ماتېرىيال مۇتەخەسسىسلىكى: ئېرىتىلگەن كرېمنىي، كۋارتس ۋە يۇقىرى ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە تۆۋەن كېڭىيىشى بىلەن داڭلىق ئالاھىدە ئوپتىكىلىق ئەينەكلەر بىلەن چوڭقۇر تەجرىبە.