زامانىۋى تېخنىكىنى بەلگىلەيدىغان كىچىكلىتىش ۋە ئىقتىدارنى ئۈزلۈكسىز قوغلىشىش جەريانىدا، قۇرۇلما ماتېرىياللىرى ئەمدى ئىككىنچى ئورۇندا تۇرىدىغان ئامىل ئەمەس. نانومېتىر ئۆلچىمىدە توك يولى ئالاھىدىلىكلىرىنى ئېنىقلىيالايدىغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لىتوگرافىيە سىستېمىلىرىدىن تارتىپ، مىكروندىن تۆۋەن سەۋىيەدە ئۆلچەم توغرىلىقىنى تەكشۈرىدىغان ئوپتىكىلىق تەكشۈرۈش سۇپىلىرىغىچە، بۇ سىستېمىلارنىڭ قۇرۇلۇشىدىكى ئاساس ئۇلارنىڭ ئەڭ ئاخىرقى ئىقتىدارىنى بىۋاسىتە بەلگىلەيدۇ.
ئېنىقلىق گرانىت يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئوپتىكىلىق سىستېمىلاردا ئەڭ تەلەپچان قوللىنىشلار ئۈچۈن ئەڭ ياخشى ماتېرىيال سۈپىتىدە بارلىققا كەلدى. گېئولوگىيەلىك مىڭ يىللىق تەرەققىيات جەريانىدا پىششىقلاپ ئىشلەنگەن بۇ تەبىئىي ماتېرىيال، مېتاللار لايىھىلىيەلمەيدىغان فىزىكىلىق خۇسۇسىيەتلەرنىڭ ئۆزگىچە بىرىكمىسىنى تەمىنلەيدۇ، مەسىلەن، ئۆلچەم ئۆزگىرىشىگە قارشى تۇرىدىغان ئىسسىقلىق مۇقىملىقى، سەزگۈر جەريانلارنى مۇھىت شاۋقۇنىدىن ئايرىيدىغان تىترەشنى پەسەيتىش ۋە زامانىۋى ئىشلەپچىقىرىشنىڭ تاجاۋۇزچىلىق مۇھىتىغا قارشى تۇرىدىغان خىمىيىلىك ئىنېرتلىق.
بۇ ماقالىدە، خاسلاشتۇرۇلغان گرانىت ئېرىتمىلىرىنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلەر ئىشلەپچىقارغۇچىلار دۇچ كېلىۋاتقان مۇھىم قىيىنچىلىقلارنى قانداق ھەل قىلىدىغانلىقى، ئىنژېنېرلار ۋە مال سېتىۋېلىش مۇتەخەسسىسلىرىنىڭ ئەڭ ياخشى سىستېما لايىھىسى ئۈچۈن تېخنىكىلىق ئاساس بىلەن تەمىنلەيدىغانلىقى تەكشۈرۈلىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ خىرىسى: نانومېتىر ئۆلچىمىدىكى ئېنىقلىق
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش تەلىپىنى چۈشىنىش
زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش ئېنىقلىق ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئەڭ يۇقىرى پەللىسىنى نامايان قىلىدۇ. چىپ گېئومېتىرىيەسى 7nm جەريان تۈگۈنلىرىدىن تۆۋەنگە قاراپ كىچىكلەۋاتقانلىقتىن، بۇ ئۈسكۈنىلەرنى ياساشتا ئىشلىتىلىدىغان ئۈسكۈنىلەر مىسلى كۆرۈلمىگەن دەرىجىدە ئېنىقلىق ۋە مۇقىملىق بىلەن ئىشلىشى كېرەك.
مۇھىم ئېنىقلىق تەلىپى:
| جەريان | ئادەتتىكى چىدامچانلىق | ھوسۇلغا تەسىرى |
|---|---|---|
| لىتولوگىيە قاپلىمىسى | <3nm تەڭشەش توغرىلىقى | بىۋاسىتە كەمتۈكلۈك نىسبىتىنىڭ باغلىنىشى |
| ۋافېر تەكشۈرۈش | <10nm ئالاھىدىلىك بايقاش | سۈپەت كاپالىتى ئىقتىدارى |
| CMP (خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش) | <50nm بىردەكلىك | قەۋەت قېلىنلىقىنى كونترول قىلىش |
| ئويۇش ئورنىنى بەلگىلەش | ئورۇنلاشتۇرۇش توغرىلىقى <5nm | ئەندىزە سادىقلىقى |
| نېپىز پەردە چۆكمىسى | <1nm قېلىنلىقنى كونترول قىلىش | ئېلېكتر ئىقتىدارى |
بۇ ئېنىقلىق دەرىجىسىدە، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئاساسى ۋە ھەرىكەت سۇپىلىرىدىكى كىچىك قۇرۇلما مۇقىمسىزلىقىمۇ قىممەت باھالىق نۇقسانلار ۋە مەھسۇلات مىقدارىنىڭ تۆۋەنلىشىگە ئېلىپ كېلىشى مۇمكىن. شۇڭا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ قۇرۇلما ئاساسى تۆۋەندىكىلەرنى تەمىنلىشى كېرەك:
- ھەر خىل ئىسسىقلىق شارائىتى ئاستىدا ئۆلچەم مۇقىملىقى
- ئىشلەپچىقىرىش مەيدانى مۇھىتىدىن تىترەشنى ئايرىش
- پىششىقلاپ ئىشلەنگەن گازلار ۋە تازىلاش دورىلىرىغا خىمىيىلىك چىداملىق
- ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىك، ئەڭ ئاز ئاسراش تەلىپى بىلەن
لىتوگرافىيە سىستېمىسىدىكى گرانىت
لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا ئېنىقلىق گرانىت ئۈچۈن ئەڭ تەلەپچان قوللىنىش دائىرىسىنى ئىپادىلەيدۇ. نانومېتىر ئۆلچىمىدە شەكىللىك توك يولىغا ئىگە بولغان ئىنتايىن ئۇلترا بىنەپشە رەڭلىك (EUV) لىتوگرافىيە سىستېمىلىرى ئۇزۇن مۇددەتلىك مەشغۇلات جەريانىدا مۇتلەق مۇقىملىقنى ساقلايدىغان قۇرۇلما سۇپىلىرىنى تەلەپ قىلىدۇ.
لىتوگرافىيە تەركىبلىرىنىڭ قوللىنىلىشى:
ئاساسىي تاختىلار ۋە ئاساسلىق رامكىلار:
- ئوپتىكىلىق تۈۋرۈك ۋە ۋافېر باسقۇچلۇق يىغىنلارنى تولۇق قوللايدۇ
- ئېغىر يۈك ئاستىدا (بىر قانچە توننىغىچە) گېئومېتىرىيەلىك توغرىلىقنى ساقلاڭ
- ئەسلىھە ئۇل ئەسلىھەلىرىدىن تىترەشنى ئايرىۋېتىش بىلەن تەمىنلەڭ
- چوڭ يۈزلەردە 1-3 µm ئىچىدە تۈزلۈككە چىداملىق بولۇشنى ئەمەلگە ئاشۇرۇڭ
يېتەكلىگۈچ رېلىس ۋە ھەرىكەت باسقۇچلىرى:
- نانومېتىر دەرىجىسىدىكى ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقىنى قوزغىتىش
- ھاۋا ياستۇقى ياكى سىزىقلىق ماتور سىستېمىسىنى قوللايدۇ
- دىنامىك يۈك ئاستىدا تۈزلۈك ۋە تەكشىلىكنى ساقلاڭ
- ئورۇن قايتۇرۇش سىستېمىسى ئۈچۈن مۇقىم پايدىلىنىش يۈزى بىلەن تەمىنلەڭ
كۆۋرۈك ۋە دەرۋازا قۇرۇلمىلىرى:
- چوڭ خىزمەت ھەجىمىنى ئېگىلىشسىز قاپلايدۇ
- سىكانىرلاش ئوپتىكىسى ۋە ئاشكارلىنىش سىستېمىسىنى قوللايدۇ
- كۆپ خىل ھەرىكەت ئوقلىرى ئوتتۇرىسىدىكى ماسلىشىشنى ساقلاڭ
- تەسىرگە ئۇچرىغان جەريانلارنىڭ ئىسسىقلىق گرادىيېنتىسىغا قارشى تۇرۇڭ
ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە تەكشۈرۈش سۇپىلىرى
ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش ئۈسكۈنىلىرى مىكروندىن تۆۋەن گېئومېتىرىيەلىك توغرىلىقنى ساقلاپ قېلىش بىلەن بىرگە، تاجاۋۇزچى خىمىيىلىك مۇھىتقا بەرداشلىق بېرەلەيدىغان گرانىت سۇپىلىرىنى تەلەپ قىلىدۇ:
ۋافېر تەكشۈرۈش سىستېمىلىرى:
- نانومېتىر ئېنىقلىقتىكى نۇقسانلارنى بايقاش
- يۇقىرى چوڭايتىشلىق ئوپتىكىلىق ۋە ئېلېكترون نۇرى رەسىملىرى
- ۋافېر سىكانىرلاش ۋە ئورۇن بەلگىلەشتە ئېنىق ھەرىكەت
- رەسىمنىڭ مۇقىملىقى ئۈچۈن تىترەش ئىزولياتسىيەسى
ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش ئۈستەللىرى:
- توغراش، ئويۇش ۋە چۆكمە ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاساسى
- كىسلاتا، ئاساس ۋە ئېرىتكۈچىلەرگە خىمىيىلىك قارشىلىق كۆرسىتىش
- تەكشىلىكنى ساقلاش ئارقىلىق بىر خىل جەريان نەتىجىسىگە ئېرىشكىلى بولىدۇ
- زەررىچە بۇلغىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن ئانتىستاتىك يۈزە بىر تەرەپ قىلىش
خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش (CMP):
- سىلىقلاش باشلىرى ئۈچۈن يۇقىرى يۈك كۆتۈرۈش ئىقتىدارى
- دىنامىك بېسىم ئاستىدا تۈزلۈك مۇقىملىقى
- خىمىيىلىك ماددىلارغا ۋە تازىلاش دورىلىرىغا قارشى تۇرۇش
- ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۇپراشقا چىداملىق
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گرانىتنىڭ ئەۋزەللىكى
| مۈلۈك | يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىشلىرىدىكى قىممەت | پايدا |
|---|---|---|
| تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى | ≈3×10⁻⁶/°C (پولاتنىڭ 1/3 قىسمى) | تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى ئاستىدا ئۆلچەم مۇقىملىقى |
| يۇقىرى قاتتىقلىق ۋە سۈمۈرگۈچلۈك | سۈمۈرۈش نىسبىتى 0.012-0.015 | تىترەشنى باستۇرىدۇ، نانو كۆلەمدىكى توغرىلىقنى كاپالەتلەندۈرىدۇ |
| خىمىيىلىك ئىنېرتلىق | pH مۇقىملىقى 1-14 | چىرىشچان جەريان مۇھىتىغا چىداملىق |
| يۇقىرى قاتتىقلىق | موھس 6-7 | ئۇپراشقا چىداملىق، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ |
| ئىزولياتسىيە خۇسۇسىيىتى | توك ئۆتكۈزمەيدىغان، ماگنىتلىق ئەمەس | سەزگۈر زاپچاسلارنىڭ ئېلېكتروستاتىك زەخمىلىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ |
ئوپتىكىلىق سىستېمىلار: مۇقىملىق ئېنىقلىقنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ
ئوپتىكىلىق سۇپا رىقابىتى
ئوپتىكىلىق سىستېمىلار - تەكشۈرۈش، ئۆلچەش ياكى لازېرلىق بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىشى بولسۇن - يورۇقلۇق ۋە ئېنىقلىق مېخانىكىسىنىڭ كېسىشكەن نۇقتىسىدا ئىشلەيدۇ. ئوپتىكىلىق سۇپىدىكى ھەر قانداق مۇقىمسىزلىق ئۆلچەش خاتالىقى، رەسىمنىڭ بۇزۇلۇشى ياكى جەرياننىڭ ئۆزگىرىشىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ئوپتىكىلىق سىستېما خاتالىقىنىڭ مەنبەلىرى:
- ئىسسىقلىق يۆتكىلىشى: سۇپا ئۆلچىمىدىكى ئۆزگىرىشلەر ئوپتىكىلىق يول ئۇزۇنلۇقى ۋە زاپچاسلارنىڭ تەڭشىلىشىنى ئۆزگەرتىدۇ.
- تىترەش: مۇھىت تىترەشلىرى ئوپتىكىلىق ئېلېمېنتلار بىلەن ئەۋرىشكىلەر ئارىسىدا نىسپىي ھەرىكەتنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
- قۇرۇلمىلىق تەۋرىنىش: ئۇزۇن مۇددەتلىك دېفورماتسىيە كالىبرلانغان ماسلىشىشلارغا تەسىر كۆرسىتىدۇ
- ماگنىتلىق ئارىلىشىش: ئوپتىكىلىق سىستېمىلاردىكى ئېنىقلىق سېنزورلىرى ۋە ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچلەرگە تەسىر كۆرسىتىدۇ
گرانىت ئوپتىكىلىق سۇپىلار: قۇرۇلۇش ئەۋزەللىكلىرى
ئەلا سۈپەتلىك تىترەشنى پەسەيتىش:
ئوپتىكىلىق سىستېمىلار كىچىك يۆتكىلىشلەرگە ئىنتايىن سەزگۈر. زاۋۇت ئۈسكۈنىلىرى، HVAC سىستېمىسى ياكى ھەتتا يىراقتىكى قاتناش ۋاسىتىلىرىدىن كېلىپ چىققان تاشقى تەۋرىنىشلەر نىسپىي ھەرىكەتنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، رەسىملەرنى تۇتۇقلاشتۇرۇشى ياكى ئۆلچەشنىڭ ئىناۋەتسىز بولۇشىغا سەۋەب بولۇشى مۇمكىن.
زىچلىقى ≈3100 كىلوگرام/مېتىر³ بولغان ئالىي دەرىجىلىك قارا گرانىت مېخانىكىلىق ئېنېرگىيەنى تارقىتىشتا يۇقىرى ئۈنۈملۈك كىرىستاللىق قۇرۇلمىغا ئىگە. تىترەشنى ئۆتكۈزىدىغان مېتال ئاساسلاردىن پەرقلىق ھالدا، گرانىت ئۆزىنىڭ كىرىستاللىق ماترىتسىسى ئىچىدە ئېنېرگىيەنى سۈمۈرۈپ، ئوپتىكىلىق سىستېمىلار ئۈچۈن تىنچ مېخانىكىلىق پول ھاسىل قىلىدۇ.
تىترەشنى پەسەيتىش ئىقتىدارى:
| ماتېرىيال | سۈمۈرۈش نىسبىتى | تىترەشنىڭ ئاجىزلىشىشى (50-500Hz) |
|---|---|---|
| گرانىت | 0.012-0.015 | 95% |
| چويۇن | 0.003-0.005 | 60-70% |
| پولات | 0.001-0.002 | 20-30% |
| ئاليۇمىن | 0.0001-0.0005 | <10% |
ئىنتايىن ئىسسىقلىق مۇقىملىقى:
ئوپتىكىلىق ئۆلچەشلەر كۆپىنچە ئۇزۇن مەزگىللەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ - مۇرەككەپ ئارىلىق ئۆلچەش تەكشۈرۈشلىرى ياكى ئۇزۇن سۈرەتكە ئېلىش تەرتىپلىرى ئۈچۈن بىر قانچە سائەت. بۇ مەزگىللەردە، سۇپادىكى ھەر قانداق ئۆلچەم ئۆزگىرىشى سىستېمىلىق خاتالىقنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
گرانىتنىڭ يۇقىرى ماسسىسى ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى كىچىك كېڭىيىش ۋە قىسقىرىشقا قارشى تۇرۇش ئۈچۈن زۆرۈر بولغان ئىسسىقلىق ئىنېرتسىيەسىنى تەمىنلەيدۇ. بۇ مۇقىملىق كالىبرلانغان فوكۇس ئارىلىقى ۋە ئوپتىكىلىق ماسلىشىشنىڭ ئۇزارتىلغان ئۆلچەش تەرتىپلىرىدە مۇقىم تۇرۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
نانومېتىر دەرىجىسىدىكى تۈزلۈككە ئېرىشىش:
سانائەت دەرىجىلىك گرانىت سۇپىلىرى بىلەن ئوپتىكىلىق دەرىجىلىك گرانىت سۇپىلىرىنىڭ ئەڭ روشەن پەرقى تۈزلۈك تەلىپىدە. ئۆلچەملىك سانائەت بازىلىرى 0 ياكى 00-دەرىجىلىك ئۆلچەملەرگە (مىكرون بىلەن ئۆلچەنسە) ماس كېلىشى مۇمكىن، ئەمما ئوپتىكىلىق سىستېمىلار نانومېتىر بىلەن ئۆلچەنگىلى بولىدىغان تۈزلۈك تەلىپىنى قويىدۇ.
تۈزلۈك دەرىجىسىنى سېلىشتۇرۇش:
| قوللىنىش | تەلەپ قىلىنىدىغان تۈزلۈك | ئادەتتىكى دەرىجە |
|---|---|---|
| ئۆلچەملىك سانائەت | ±5-10 µm/m | 0/1-دەرىجىلىك |
| ئېنىقلىق مېترولوگىيە | ±1-3 µm/m | 00-دەرىجىلىك |
| ئوپتىكىلىق تەكشۈرۈش | ±0.5-1 µm/m | 000-دەرىجىلىك |
| ئىلغار ئوپتىكا/لىتوگرافىيە | <0.5 µm/m | ئىنتايىن ئېنىق |
ئوپتىكىلىق سۇپا قوللىنىشچان پروگراممىلىرى
لازېرلىق ئىنتېرفېرومېتىر ئاساسلىرى:
- مىكرون ۋە مىكروندىن تۆۋەن ئۆلچەمدىكى يۆتكىلىشنى ئۆلچەش
- كېڭەيتىلگەن ئۆلچەش تەرتىپلىرىنىڭ ئىسسىقلىق مۇقىملىقى
- ئىنتېرفېرومېتىرىك مۇقىملىق ئۈچۈن تىترەش ئىزولياتسىيەسى
- ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنىڭ ئېنىق ئورنىتىش ئىنتېرفېيسلىرى
ئاپتوماتىك ئوپتىكىلىق تەكشۈرۈش (AOI):
- يۇقىرى چوڭايتىشلىق سۈرەتكە تارتىش سىستېمىسى
- زاپچاسلارنى سىكانىرلاش ئۈچۈن ئېنىق ھەرىكەت
- نۇقسان بايقاش ئالگورىزىملىرىنىڭ رەسىم مۇقىملىقى
- مۇقىم نەتىجىلەر ئۈچۈن مۇھىتنى ئايرىش
ئوپتىكىلىق تەڭشەش سىستېمىسى:
- لازېر نۇرىنى تەڭشەش ۋە ئورۇنلاشتۇرۇش
- ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى ئورنىتىش ۋە تەڭشەش
- كۆپ ئوقلۇق تەڭشەش ئۈچۈن پايدىلىنىش تۈزلەڭلىكى
- كالىبراتسىيەنى ساقلاش ئۈچۈن ئۇزۇن مۇددەتلىك مۇقىملىق
ئوپتىكىلىق نان تاختىسىنىڭ قوللىنىلىشى:
- مودۇللۇق ئوپتىكىلىق ئورنىتىشنىڭ جانلىقلىقى
- يىپلىق ئورنىتىش تۆشۈك تورلىرى
- ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلەر ئۈچۈن تىترەشنى پەسەيتىدىغان سۇپا
- تەجرىبە مۇقىملىقى ئۈچۈن ئىسسىقلىق مۇقىملىقى
خاسلاشتۇرۇلغان گرانىت ئىشلەش: ئالاھىدە تەلەپلەرگە ئاساسەن لايىھەلەنگەن
ئۆلچەملىك سەپلىمىلەردىن باشقا
زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلەر ئادەتتە ئۆلچەملىك تىك تۆت بۇلۇڭلۇق تاختىلارنى تەلەپ قىلمايدۇ. ئەكسىچە، ئىشلەپچىقارغۇچىلار بەلگىلىك سىستېما سەپلىمىسىگە ماس كېلىدىغان خاسلاشتۇرۇلغان گرانىت قۇرۇلمىلىرىنى تەلەپ قىلىدۇ، بۇ قۇرۇلمىلار ئورنىتىش ئالاھىدىلىكلىرى، سىم يولى، مۇلازىمەت يوللىرى ۋە ھەر بىر قوللىنىشچان پروگراممىنىڭ ئىقتىدارىنى ئەلالاشتۇرىدىغان مۇرەككەپ گېئومېتىرىيەلەرنى بىرلەشتۈرىدۇ.
ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارى
5 ئوقلۇق CNC پىششىقلاش:
- مۇرەككەپ ئۈچ ئۆلچەملىك گېئومېتىرىيە
- بىرلەشتۈرۈلگەن ئورنىتىش ئالاھىدىلىكلىرى ۋە سانلىق مەلۇمات يۈزلىرى
- ئېنىق قىستۇرمىلار، يىپلىق تۆشۈكلەر ۋە تەڭشەش ئويمىلىرى
- ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقى: ≤±0.01mm
ئېنىقلىق بىلەن سىلىقلاش ۋە چاپلاش:
- يۈزەكى رەڭ بېرىش ئۈچۈن ئالماس چاقلىق سىلىقلاش
- تۈزلۈك نەتىجىسى: ئۆلچەملىك ئېنىقلىق ئۈچۈن <1 µm
- نانومېتىرلىق يۈزلەر ئۈچۈن ئىنتايىن ئېنىقلىقتىكى چاپلاش
- يۈزەكى پۇختىلىقى: Ra 0.1-0.4 µm
بىرلەشتۈرۈلگەن ئالاھىدىلىكلەر:
- يىپلىق بۇتلار ۋە باغلاش ئۈچۈن پولات قىستۇرمىلار
- كابېل ۋە ھاۋا يوللىرى
- ئېنىقلىق تەڭشەش سانلىق مەلۇماتلىرى
- زاپچاسلارنى ئورنىتىش ئۈچۈن خاسلاشتۇرۇلغان تۆشۈك شەكىللىرى
سۈپەت تەكشۈرۈشى:
- لازېرلىق ئارىلىق ئۆلچەش (Renishaw XL-80)
- ئېلېكترونلۇق سەۋىيە تەكشۈرۈش (Wyler سىستېمىسى)
- كوئوردىنات ئۆلچەش ماشىنىسىنى تەكشۈرۈش
- يۈزەكى پروفىل ۋە گېئومېتىرىيەلىك ئانالىز
يۇقىرى تېخنىكىلىق قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن ماتېرىيال تاللاش
ئالىي دەرىجىلىك قارا گرانىت ئۆلچىمى:
| مۈلۈك | ئۆلچەم | مۇھىملىقى |
|---|---|---|
| زىچلىق | >3000 كىلوگرام/مېتىر³ | تىترەشنى پەسەيتىش ۋە ماسسا مۇقىملىقى |
| قاتتىقلىق | موھس 6-7 | كىيىشكە چىداملىق ۋە چىداملىق |
| سۇ سۈمۈرۈش | <0.1% | نەم مۇھىتتا ئۆلچەم مۇقىملىقى |
| سىقىلىش كۈچى | >200 مېگاپالون | دېفورماسىيەسىز يۈك سىغىمى |
| ئىسسىقلىق كېڭىيىشى | 4-9 ×10⁻⁶/°C | تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى ئاستىدا ئۆلچەم مۇقىملىقى |
ماتېرىيال دەرىجىسى:
- G350 (ئۆلچەملىك دەرىجە): ئادەتتىكى ئېنىقلىق ئىشلىتىشلەرگە ماس كېلىدۇ، تۈزلۈك ±0.005mm/m²
- G650 (ئۆلچەملىك ئېنىقلىق دەرىجىسى): ئەڭ يۇقىرى ئېنىقلىق تەلىپى ئۈچۈن لايىھەلەنگەن، تۈزلۈك ±0.0015mm/m²
خاسلاشتۇرۇلغان قۇرۇلۇش جەريانى
1-باسقۇچ: لايىھىلەش ھەمكارلىقى
- دەسلەپكى قۇرۇلۇش باسقۇچلىرىدا قۇرۇلۇش مەسلىھەتچىلىكى
- ئىشلەپچىقىرىشنى ئەلالاشتۇرۇش بىلەن CAD مودېللاشتۇرۇش
- ماتېرىيال ۋە ئىقتىدار ئۆلچىمى
- يۈك ئانالىزى ۋە قۇرۇلمىنى ئەلالاشتۇرۇش
2-باسقۇچ: ماتېرىيال تاللاش ۋە بىر تەرەپ قىلىش
- ئالىي دەرىجىلىك قارا گرانىت تاللىشى
- تەبىئىي قېرىش ۋە ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكى ئارقىلىق بېسىمنى يېنىكلىتىش
- دەسلەپكى قوپال پىششىقلاش، ئاخىرقى ئۆلچەمگە يېقىنلىشىش
- ئوتتۇرا ئۆلچەملىك تەكشۈرۈش
3-باسقۇچ: ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاش
- مۇرەككەپ ئىقتىدارلار ئۈچۈن 5 ئوقلۇق CNC فرېزېرلاش
- يۈزەكى توغرىلىق ئۈچۈن ئېنىق سىلىقلاش
- ئورنىتىش ئىقتىدارلىرى ۋە قىستۇرمىلارنى بىرلەشتۈرۈش
- خاسلاشتۇرۇلغان تۆشۈك نەقىشلىرى ۋە سانلىق مەلۇمات يۈزلىرى
4-باسقۇچ: ئاخىرقى بىر تەرەپ قىلىش ۋە تەكشۈرۈش
- ئەڭ يۇقىرى تۈزلۈك ئۈچۈن ئېنىق چاپلاش
- ئومۇميۈزلۈك ئۆلچەم تەكشۈرۈشى
- يۈزەكى رەڭ ئۆلچەش
- گۇۋاھنامە ۋە ھۆججەتلەر
كەسىپ قوللىنىشلىرى: رېئال دۇنيادىكى يولغا قويۇش
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش قوللىنىشچان پروگراممىلىرى
EUV لىتوگرافىيە سىستېمىلىرى:
- ئاشكارلىنىش ئوپتىكىسىنى قوللايدىغان قۇرۇلما ئاساسلىرى
- ۋافلىنىڭ ئورنىنى بېكىتىش ئۈچۈن ھەرىكەت باسقۇچلىرى
- ئېنىقلىق بىلەن سىكانىرلاش ئۈچۈن يېتەكلىگۈچ رېلىسلار
- 0.12nm تىترەش ئىزولياتسىيەسىگە ئېرىشىش
ۋافېر تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرى:
- نۇقسانلارنى بايقاش ئۈچۈن تەكشۈرۈش سۇپىلىرى
- ۋافلى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن ھەرىكەت ئاساسى
- ئوپتىكىلىق سىستېمىلارنىڭ پايدىلىنىش يۈزلىرى
- پىششىقلاپ ئىشلەش مۇھىتى ئۈچۈن خىمىيىلىك ماددىلارغا چىداملىق يۈزلەر
CMP ئۈسكۈنىلىرى:
- ئېغىر يۈك كۆتۈرۈش ئىقتىدارىغا ئىگە سىلىقلاش سۇپىلىرى
- دىنامىك بېسىم ئاستىدا تۈزلۈكنى ساقلاش
- خىمىيىلىك ماددىلارغا قارشى تۇرۇش
- ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۇپراشقا چىداملىق
ئوپتىكىلىق ۋە لازېرلىق قوللىنىشلار
لازېرلىق بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىلىرى:
- نۇر يەتكۈزۈش سۇپىلىرى
- لازېرلىق كېسىش ۋە بەلگە قويۇش ئۈچۈن ھەرىكەت ئاساسى
- نۇرنى تەڭشەش ئۈچۈن ئىسسىقلىق مۇقىملىقى
- ئېنىق بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن تىترەشنى تۆۋەنلىتىش
ئوپتىكىلىق مېترولوگىيە:
- ئىنتېرفېرومېتىر ئاساسلىرى
- كوئوردىنات ئۆلچەش ماشىنىسى سۇپىلىرى
- پروفىلومېتر ۋە يۈزە ئۆلچەش ئاساسلىرى
- كالىبراتسىيە ۋە پايدىلىنىش ئۆلچەملىرى
ئىلمىي ئەسۋابلار:
- رېنتىگېن نۇرى دىفراكسىيەسى (XRD) ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاساسلىرى
- ئېلېكترونلۇق مىكروسكوپىيە سۇپىلىرى
- سپېكتروسكوپىيە ئەسۋابلىرىنىڭ ئاساسى
- تەتقىقات لابوراتورىيىسىنىڭ ئوپتىكىلىق ئۈستەللىرى
ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش قوللىنىشچان پروگراممىلىرى
ياپلاق تاختا كۆرسىتىش ئىشلەپچىقىرىش:
- a-Si Array ئۈسكۈنىلىرى سۇپىلىرى
- LTPS سان بىر تەرەپ قىلىش ئۈسكۈنىلىرى
- چوڭ دائىرىلىك ئاساسىي سۇبسترات بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى
- چوڭ يۈزلەردە بىردەك جەريان كونترول قىلىش
ئېنىقلىق ئاپتوماتلاشتۇرۇش:
- يېرىم ئۆتكۈزگۈچ بىر تەرەپ قىلىدىغان روبوتلار
- ئاپتوماتىك تەكشۈرۈش سىستېمىسى
- ئېنىق يىغىش ئۈسكۈنىلىرى
- تازىلاش ئۆيى بىلەن ماس كېلىدىغان سۇپىلار
مۇھىت ۋە ئىشلىتىش جەھەتتىكى ئامىللار
پاكىز ئۆينىڭ ماسلىشىشى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئوپتىكىلىق ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتى قاتتىق پاكىزلىق ئۆلچىمىگە ئۇيغۇن ئۈسكۈنىلەرنى تەلەپ قىلىدۇ:
پاكىز ئۆيدە ئىشلىتىشنىڭ گرانىت ئەۋزەللىكلىرى:
- زەررىچە ھاسىل قىلمايدىغان، تۆكۈلمەيدىغان يۈزە
- خىمىيىلىك تۇراقلىقلىق بىلەن تازىلاش قائىدىلىرىگە ماس كېلىدۇ
- ماگنىتسىز خۇسۇسىيەتلەر زەررىچىلەرنىڭ جەلپ قىلىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ
- ئىنتايىن پاكىز قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن يۈزەكى بىر تەرەپ قىلىش ئۇسۇللىرى بار
خىمىيىلىك قارشىلىق
يېرىم ئۆتكۈزگۈچنى پىششىقلاپ ئىشلەش جەريانىدا ئاгрессив خىمىيىلىك ماددىلارغا ئۇچراش ئەھۋالى كۆرۈلىدۇ:
| خىمىيىلىك مۇھىت | گرانىت ئىقتىدارى | مېتال ئىقتىدارى |
|---|---|---|
| كىسلاتالار (HCl، H₂SO₄، HF) | ناھايىتى ياخشى قارشىلىق كۆرسىتىش | قوغداش قەۋىتى تەلەپ قىلىنىدۇ |
| ئاساسلار (NH₄OH، KOH) | ناھايىتى ياخشى قارشىلىق كۆرسىتىش | چىرىشكە ئاسان ئۇچرايدۇ |
| ئېرىتكۈچىلەر | بۇزۇلۇش يوق | قاپلاملارغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن |
| پىششىقلاپ ئىشلەنگەن گازلار | ئىنېرتلىق جاۋاب | ئالاھىدە ماتېرىياللار تەلەپ قىلىنىشى مۇمكىن |
ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىك
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرى ئادەتتە ئون نەچچە يىلغا سوزۇلىدۇ. قۇرۇلما ئاساسى بۇ ئۇزارتىلغان خىزمەت مۇددىتى ئىچىدە ئىقتىدارىنى ساقلاپ قېلىشى كېرەك:
گرانىتنىڭ ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش ئەۋزەللىكى:
- ئىچكى بېسىمنىڭ يېنىكلىشى يوق (مېتاللاردىن پەرقلىق)
- چىرىش ياكى ئوكسىدلىنىش يوق
- 20 يىلدىن ئارتۇق خىزمەت مۇددىتى ئىچىدە مۇقىم گېئومېتىرىيە
- ئەڭ تۆۋەن ئاسراش تەلىپى
- زاپچاسلارنىڭ ھەرىكىتىدىن كېلىپ چىققان ئۇپراشقا قارشى تۇرۇش
تاللاش ۋە سېتىۋېلىش كۆرسەتمىلىرى
ئىلتىماسنى باھالاش
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياكى ئوپتىكىلىق قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن خاسلاشتۇرۇلغان گرانىت قۇرۇلمىسىنى بەلگىلىگەندە، تۆۋەندىكىلەرنى كۆزدە تۇتۇڭ:
ئېنىقلىق تەلىپى:
- تەلەپ قىلىنىدىغان تۈزلۈك ۋە گېئومېتىرىيەلىك توغرىلىق
- يۈك سىغىمى ۋە تەقسىماتى
- ھەرىكەت سىستېمىسى بىلەن بىرلەشتۈرۈش
- ئىسسىقلىق مۇقىملىقى تەلىپى
مۇھىت ئامىللىرى:
- تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى ۋە ئۆزگىرىشچانلىقى
- پاكىز ئۆينى تۈرگە ئايرىش تەلىپى
- خىمىيىلىك تەسىرگە ئۇچراش ئېھتىماللىقى
- تىترەش مۇھىتىنىڭ ئالاھىدىلىكلىرى
ئىشلىتىش تەلىپى:
- خىزمەت ئۆمرى مۆلچەرى
- ئاسراش قولايلىقلىقى
- بىرلەشتۈرۈشنىڭ مۇرەككەپلىكى
- ھۆججەتلەشتۈرۈش ۋە ئىز قوغلاش ئېھتىياجى
تەمىنلىگۈچىنىڭ سالاھىيەت ئۆلچىمى
ئىقتىدارى كۆرسىتىلگەن گرانىت پىششىقلاپ ئىشلەش ھەمراھلىرىنى تاللاڭ:
- تەجرىبە: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ/ئوپتىكىلىق كەسىپلەردە كەم دېگەندە 10 يىل خىزمەت قىلغان
- گۇۋاھنامىلىرى: ISO 9001 سۈپەت باشقۇرۇش، ISO 14001 مۇھىت ئاسراش
- ئىقتىدارى: ئۆي ئىچىدىكى 5 ئوقلۇق CNC، ئېنىقلىق بىلەن سىلىقلاش، لازېرلىق كالىبرلاش
- ئىنژېنېرلىق قوللاش: لايىھىلەش ھەمكارلىقى ۋە ئەلالاشتۇرۇش مۇلازىمىتى
- سۈپەت سىستېمىسى: تولۇق ئىز قوغلاش ۋە ئومۇميۈزلۈك ھۆججەتلەشتۈرۈش
- پايدىلىنىش ئۈسكۈنىلىرى: ئوخشاش قوللىنىشچان پروگراممىلاردا ئىسپاتلانغان ئىقتىدار
سۈپەت ھۆججەت تەلىپى
ئومۇميۈزلۈك ھۆججەتلەر سۈپەت باشقۇرۇش سىستېمىلىرىنى قوللايدۇ:
ئۆلچەملىك ھۆججەتلەر:
- ماتېرىيال گۇۋاھنامىسى ۋە كېلىش مەنبەسى ھۆججىتى
- ئۆلچەم تەكشۈرۈش دوكلاتلىرى
- تۈزلۈك ۋە گېئومېتىرىيەلىك تەكشۈرۈش
- يۈزەكى رەڭ ئۆلچەش
ئىلغار ھۆججەتلەر:
- لازېرلىق ئىنتېرفېرومېتىر ئۆلچەش سانلىق مەلۇماتلىرى
- ئىسسىقلىق ۋېلىسىپىت گۇۋاھنامىسى
- خىمىيىلىك قارشىلىق سىنىقى (قوللىنىشقا بولىدىغان بولسا)
- پاكىز ئۆينىڭ ماسلىشىشچانلىقى گۇۋاھنامىسى
بازار يۈزلىنىشى ۋە كەلگۈسىدىكى يۆنىلىشلەر
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ ئېشىشى
دۇنياۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى داۋاملىق كېڭىيىۋاتىدۇ، بۇنىڭ بىلەن ئېنىق ئۈسكۈنىلەرگە بولغان ئېھتىياج ئېشىپ بارماقتا:
- يېڭى زاۋۇت قۇرۇلۇشى: دۇنيا مىقياسىدا 78+ يېڭى 300 مىللىمېتىرلىق زاۋۇت قۇرۇلۇشى داۋاملىشىۋاتىدۇ
- ئىلغار جەريان تۈگۈنلىرى: EUV لىتوگرافىيە سىستېمىسىغا بولغان ئېھتىياجنىڭ ئېشىشى
- ئۈسكۈنىلەرگە مەبلەغ سېلىش: ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش قوراللىرىغا كېتىدىغان مەبلەغ سېلىشنىڭ ئېشىشى
- سۈپەت تەلىپى: چىپ گېئومېتىرىيەسى كىچىكلىگەنسىرى چىدامچانلىقنى كۈچەيتىش
ئوپتىكىلىق سىستېمىلارنىڭ تەرەققىياتى
ئىلغار ئوپتىكىلىق سىستېمىلار كەسىپلەر بويىچە يېڭى ئىقتىدارلارنى بارلىققا كەلتۈرمەكتە:
- ئاپتوماتىك ھەيدەيدىغان ئاپتوموبىللار: LIDAR ۋە ئوپتىكىلىق سېزىش سىستېمىسى
- بىئومېدىتسىنا ئۈسكۈنىلىرى: يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئوپتىكىلىق سۈرەتكە تارتىش ۋە ئۆلچەش
- كۋانت ھېسابلاش: كۋانت سىستېمىلىرى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇقىم ئوپتىكىلىق سۇپىلار
- ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش: لازېرلىق بىر تەرەپ قىلىش ۋە ئوپتىكىلىق تەكشۈرۈش
تېخنىكا بىرلەشتۈرۈش يۈزلىنىشلىرى
كەلگۈسىدىكى گرانىت چارىلىرى يېڭىدىن گۈللىنىۋاتقان تېخنىكىلار بىلەن بىرلەشتۈرۈلىدۇ:
- ئارىلاشما قۇرۇلمىلار: ئەڭ ياخشى ئىقتىدار ئۈچۈن كېرامىكا ۋە كومپوزىتلار بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەن
- ئىچكى سېنزورلار: تېمپېراتۇرا ۋە تىترەش كۆزىتىشنى بىرلەشتۈرۈش
- ئەقلىي ئىقتىدارلار: گرانىت سۇپىلىرى بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەن ئاكتىپ تولۇقلىما سىستېمىسى
- مودۇللۇق لايىھەلەر: ئۈسكۈنىلەرنى تېز سۈرئەتتە تەرەققىي قىلدۇرۇش ئۈچۈن تەڭشىگىلى بولىدىغان سىستېمىلار
خۇلاسە
ئېنىقلىق گرانىت يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئوپتىكىلىق سىستېمىلارنىڭ ئۆلچەش ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارى چەكلىمىسىدە ئىشلەيدىغانلىقى ئۈچۈن سۆھبەتلىشىشكە بولمايدىغان ئاساسقا ئايلاندى. چىپ گېئومېتىرىيەسى 7nm جەريان تۈگۈنلىرىدىن تۆۋەنگە چۈشۈپ، ئوپتىكىلىق سىستېمىلار مىكروندىن تۆۋەن ئېنىقلىقنى تەلەپ قىلغاچقا، قۇرۇلما ماتېرىيالىنى تاللاش قۇرۇلۇش ئەۋزەللىكىدىن ئىقتىدار ئېھتىياجىغا ئۆتتى.
ئېنىقلىق گرانىت تەمىنلىگەن ئىسسىقلىق مۇقىملىقى، تىترەشنى پەسەيتىش، خىمىيىلىك قارشىلىق ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىكنىڭ ئۆزگىچە بىرىكمىسىنى قۇرۇلۇش مېتاللىرى ياكى باشقا ماتېرىياللار بىلەن قايتا ئىشلەتكىلى بولمايدۇ. نانومېتىر دەرىجىسىدىكى قاپلاش توغرىلىقىغا ئېرىشكەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لىتوگرافىيە سىستېمىلىرى، ئاتوم ئۆلچىمىدىكى نۇقسانلارنى بايقايدىغان ۋافېر تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرى ۋە نانومېتىر بىلەن ئۆلچەنگەن مۇقىملىقنى تەلەپ قىلىدىغان ئوپتىكىلىق ئۆلچەش سىستېمىلىرى ئۈچۈن، گرانىت بۇ ئىقتىدارلارنى ئىشقا ئاشۇرالايدىغان بىردىنبىر ئاساس بىلەن تەمىنلەيدۇ.
خاسلاشتۇرۇلغان گرانىت بىر تەرەپ قىلىش چارىلىرى زامانىۋى يۇقىرى تېخنىكىلىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇرەككەپ تەلىپىگە ماسلىشىش ئۈچۈن تەرەققىي قىلدى. ئىلغار 5 ئوقلۇق CNC بىر تەرەپ قىلىش، ئېنىق سىلىقلاش ۋە يۇمىلاقلاش، ھەمدە ئومۇميۈزلۈك سۈپەت تەكشۈرۈش ئارقىلىق، گرانىت زاپچاسلىرى مۇرەككەپ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئوپتىكىلىق سىستېمىلار بىلەن مۇكەممەل بىرلەشتۈرۈلىدىغان قىلىپ لايىھەلەندى.
تېخنىكىنىڭ ئالدىنقى سېپىدە ئىشلەۋاتقان ئۈسكۈنە ئىشلەپچىقارغۇچىلار، تەتقىقات ئاپپاراتلىرى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئورۇنلىرى ئۈچۈن، ئېنىقلىقتىكى گرانىت زاپچاسلىرىنى تاللاش، قولغا كەلتۈرگىلى بولىدىغان ئېنىقلىق، ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىك ۋە رىقابەت ئىقتىدارىنى بەلگىلەيدىغان ئىستراتېگىيىلىك قارار. نانومېتىر ئۆلچىمىدىكى ئېنىقلىققا ئېرىشىشتە، مۇقىملىق تاللاش خاراكتېرلىك ئەمەس، بەلكى ئەڭ مۇھىم.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئوپتىكىلىق تېخنىكىلارنىڭ داۋاملىق تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ، ئېنىقلىق گرانىت بۇ ئىقتىدارلارنى تەمىنلەيدىغان ئۈسكۈنىلەرنىڭ يادرولۇق قىسمى بولۇپ قالىدۇ. گېئولوگىيەلىك ۋاقىت دائىرىسى ئىچىدە تەرەققىي قىلغان بۇ ماتېرىيال ھازىر ئىنسانىيەتنىڭ ئەڭ ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش نەتىجىلىرىنىڭ ئاساسى بولۇپ خىزمەت قىلماقتا.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 4-ئاينىڭ 17-كۈنى