يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىدە گرانىت تەركىبلىرىنىڭ رولى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ئۆلچەنگىلى ۋە ئىشلەپچىقىرىلغىلى بولىدىغان فىزىكىلىق چەكلىمىلەر ئىچىدە ئىشلەيدۇ. زامانىۋى ئىنتېگرال توك يولى 3 نانومېتىردىن تۆۋەن دەرۋازا ئۇزۇنلۇقىغا ئىگە ترانزىستورلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ - بۇ ئۆلچەملەردە بىر كرېمنىي ئاتومىنىڭ مۇھىم ئالاھىدىلىك چوڭلۇقىنىڭ مەنىلىك بىر قىسمىنى ئىگىلەيدۇ. بۇ قۇرۇلمىلارنى يارىتىدىغان ۋە تەكشۈرىدىغان لىتوگرافىيە سىستېمىلىرى، ۋافېر تەكشۈرۈش قوراللىرى ۋە ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرى يىگىرمە يىل ئىلگىرى مۇمكىن ئەمەس دەپ قارالغان ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقى، تىترەش ئايرىلىشى ۋە ئۆلچەملىك مۇقىملىققا ئېرىشىشى كېرەك.

شۇنداقتىمۇ، بۇ ئادەتتىن تاشقىرى تېخنىكىغا تولغان ئۆيلەر ئىچىدە، ئەڭ مۇھىم قۇرۇلما ماتېرىياللىرىنىڭ بىرى قەدىمكى بىر نەرسە، يەنى گرانىت. ئېنىقلىق بىلەن ئىشلەنگەن، ئىسسىقلىق كونترول قىلىنىدىغان قارا گرانىت دۇنيادىكى ئەڭ ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر سۇپىلىرىنىڭ قۇرۇلما ئاساسىنى تەشكىل قىلىدۇ. نېمە ئۈچۈن - ۋە نېمە ئۈچۈن ھەممە گرانىت ئوخشاش ئەمەسلىكىنى چۈشىنىش، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر قۇرۇلۇشىنىڭ مۇھىم ۋە دائىم نەزەردىن ساقىت قىلىنىدىغان بىر تەرىپىنى ئاشكارىلايدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ مۇھىتى: ئاساسنىڭ قانداق بولۇشى كېرەك

فوتولىتوگرافىيە ئاشكارىلاش سىستېمىسى (سكاننېر ياكى باسقۇچلۇق) ھاۋادىكى زەررىچىلەرنىڭ سانى 1- ياكى 10-دەرىجىلىك سەۋىيەگىچە كونترول قىلىنىدىغان پاكىز ئۆي مۇھىتىدا ئىشلەيدۇ، يەنى 0.5 مىكرومېتىر ياكى ئۇنىڭدىن چوڭراق ھاۋادا ھەر كۇب فۇت ھاۋادا 1 ياكى 10 دىن ئاز زەررىچە بولىدۇ. ئۈسكۈنىنىڭ ئۆزى 1 نانومېتىردىن تۆۋەن باسقۇچلۇق ئورۇن بەلگىلەش تەكرارلىنىشىغا، 2 نانومېتىردىن تۆۋەن قاپلاش توغرىلىقىغا ۋە بىر قانچە نانومېتىر ئىچىدە 300 مىللىمېتىرلىق تاختايدا مەركەزلەشتۈرۈش بىردەكلىكىگە ئېرىشىشى كېرەك.

بۇنى ئەمەلگە ئاشۇرىدىغان ۋافېر باسقۇچى سېكۇنتىغا 1 مېتىردىن ئېشىپ كېتىدىغان سۈرئەتتە ھەرىكەتلىنىدۇ، 10 گرامدىن ئېشىپ كېتىدىغان سۈرئەتتە تېزلىنىدۇ ۋە ئاستىلايدۇ، ھەمدە بۇ دەۋرىيلىكنى سائىتىگە مىڭلىغان قېتىم تەكرارلايدۇ - ھەر سائەت، ھەر كۈنى، نەچچە يىل. بۇ باسقۇچنى قوللايدىغان گرانىت ئاساس باسقۇچنىڭ ئورنىنى ئۆلچەشكە تەسىر كۆرسىتىدىغان شەكىلدە ئېگىلىپ، سىيرىلىپ ياكى رېزونانسقا ئۇچرىماسلىقى كېرەك. ئۇ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىسسىقلىق ئىشلىتىش دائىرىسىدە ئۆلچەم جەھەتتىن مۇقىم تۇرۇشى كېرەك. ھەمدە بۇلارنىڭ ھەممىسىنى سىستېمىنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرى ئىچىدە، يەنى ئون يىل ياكى ئۇنىڭدىنمۇ ئۇزۇن ۋاقىت ئىچىدە ئىشەنچلىك ھالدا ئورۇندىشى كېرەك.

بۇلار يۇمشاق ئىشلىتىش شارائىتى ئەمەس. ئۇلار ھەر بىر زاپچاسقا، شۇ جۈملىدىن پاسسىپ كۆرۈنىدىغان گرانىت ئاساسىغا قاتتىق تەلەپ قويىدۇ.

تىترەش ئىزولياتسىيەسى ۋە سۈمۈرگۈچ: گرانىتنىڭ فىزىكىلىق ئەۋزەللىكى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى بىنا ئاساسىدىن (پنېۋماتىك ئىزولياتورلار قاتارىغا ئورنىتىلىشى مۇمكىن) تارتىپ ئۈسكۈنە دەرىجىسىدىكى ئاكتىپ تىترەشنى بىكار قىلىش سىستېمىلىرىغىچە تىترەشنى ئايرىشقا زور مەبلەغ سالىدۇ. ئەمما بۇ سىستېمىلارنىڭ چەكلىمىسى بار. ئۇلار بارلىق تىترەشنى يوقىتالمايدۇ، ھەمدە بارلىق چاستوتىلارغا دەرھال ئىنكاس قايتۇرالمايدۇ. گرانىت ماشىنا ئاساسى تىترەشنى ئايرىشنىڭ ئاخىرقى پاسسىپ باسقۇچىنى تەمىنلەيدۇ.

تىترەشنى پەسەيتىش فىزىكىسى يۇقىرى ماسسىلىق ۋە ئۆزگىچە تىترەش ئىقتىدارىغا ئىگە ماتېرىياللارنى قوللايدۇ. يۇقىرى زىچلىقتىكى قارا گرانىت — ئۇنىڭدا ئۆز-ئارا باغلىنىپ كەتكەن كۋارتس، دالا شپاتى ۋە سلۇكا كرىستاللىرىدىن تەركىب تاپقان كرىستال مىكرو قۇرۇلمىسى بار — ماسسا تەسىرى ۋە دانچە چېگرىسىدىكى سۈركىلىشنىڭ بىرىكمىسى ئارقىلىق مېخانىكىلىق تىترەشلەرنىڭ ئىچكى تىترەشلىرىنى ئەلا سۈپەتلىك تىترەش بىلەن تەمىنلەيدۇ. يەر ئارقىلىق ياكى ھەرىكەتلىنىۋاتقان باسقۇچنىڭ رېئاكسىيە كۈچى ئارقىلىق ئاساسقا كىرگەن تىترەشلەر سەزگۈر ئۆلچەش سىستېمىسىغا قايتىشتىن بۇرۇن گرانىت ئىچىدە سۈمۈرۈلۈپ تارقىلىپ كېتىدۇ.

پولاتنىڭ سوزۇلۇش كۈچى يۇقىرى بولسىمۇ، بۇ جەھەتتە گرانىت پولاتتىن ئۈستۈن تۇرىدۇ. بۇنىڭ سەۋەبى كىرىستال مىكرو قۇرۇلمىسىدا: گرانىتنىڭ كۆپ كىرىستاللىق دانچە قۇرۇلمىسى دانچە چېگرىسىدا تەۋرىنىش ئېنېرگىيەسىنى چېچىپ سۈمۈرىدۇ، پولاتنىڭ تەرتىپلىك كىرىستال قۇرۇلمىسى بولسا تەۋرىنىشنى تېخىمۇ ئۈنۈملۈك ئۆتكۈزىدۇ. چۆيۈن تۆمۈر سۈمۈرۈش جەھەتتە پولاتتىن ياخشى، شۇڭا ئۇ تارىختا ئېنىقلىق ماشىنا ئەسۋابلىرىنىڭ ئاساسى ئۈچۈن ئىشلىتىلگەن - ئەمما ئېنىقلىق گرانىت يەنىلا ياخشى.

ئىسسىقلىق مۇقىملىقى: نانومېتىر تەكرارلىنىشچانلىقىنىڭ ئاساسى

نانومېتىر ئۆلچىمىدە، ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ئۆلچەمنىڭ تەكرارلىنىشىنى بەلگىلەيدىغان ئاساسلىق ئامىل. 1 مېتىرلىق پولات زاپچاسنىڭ 1°C تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى تەخمىنەن 11.7 مىكرومېتىر ئىسسىقلىق كېڭىيىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ - 11700 نانومېتىر. گرانىتتا، ئوخشاش كېڭىيىش ئادەتتە 6-8 مىكرومېتىر بولۇپ، پولاتنىڭ يېرىمىغا تەڭ. ئىنتايىن تۆۋەن كېڭىيىشچان ئەينەك كېرامىكىلاردا (مەسىلەن، Zerodur ياكى ULE)، ئۇ پەقەت ھەر گرادۇستا 0-0.02 مىكرومېتىر بولىدۇ - ئەمما بۇ ماتېرىياللار ماشىنا ئاساسى ئۈچۈن تەلەپ قىلىنىدىغان چوڭ ئۆلچەملەردە خېلىلا قىممەت ۋە بىر تەرەپ قىلىش تەس.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئاساسى ئۈچۈن، گرانىتنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش خاراكتېرى پەقەت تۆۋەن بولۇپلا قالماي، يەنە مۆلچەرلىگىلى بولىدىغان بولۇشى كېرەك. لايىھىلىگۈچىلەر گرانىتنىڭ مەلۇم CTE نى ئىشلىتىپ، سەھنىگە ئىسسىقلىق تولۇقلىمىسىنى قۇرىدۇ.ئورۇن ئۆلچەش سىستېمىسىسۈپەتسىز ياكى توغرا تاللانمىغان گرانىتتا يۈز بېرىشى مۇمكىن بولغان مۆلچەرلىگىلى بولمايدىغان ياكى بوشلۇق جەھەتتىن ئۆزگىرىدىغان CTE، تولۇقلاشنى مۇمكىن ئەمەس قىلىدۇ ھەمدە تېمپېراتۇرىغا باغلىق ئورۇن خاتالىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇ خاتالىقلارنى ئۆلچەپ بولغىلى بولمايدۇ.

بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىشلىتىلىشىدە گرانىتنىڭ كونكرېت مەنبەسى ۋە ئۆلچىمىنىڭ مۇھىملىقىنىڭ بىر سەۋەبى. بۇ ماتېرىيال پەقەت «قارا گرانىت» دەپ ئاتىلىپلا قالماي، يەنە ئىسسىقلىق خۇسۇسىيىتىنىڭ خاراكتېرىنى بېكىتىشى كېرەك، شۇنداقلا ئۇنىڭ ئىسسىقلىق خۇسۇسىيىتىنىڭ پۈتۈن زاپچاستا بىردەك بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدىغان مۇقىم زىچلىق ۋە بىردەكلىك تەلىپىگە يېتىشى كېرەك.

ھاۋا كۆتۈرگۈچ گرانىت يۈزلىرى: ھەرىكەتچان ئارىلىق

نۇرغۇن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ھەرىكەت سىستېمىسى ھاۋا ياستۇقچىلىرىنى ئىشلىتىدۇ - بۇلار بېسىملىق ھاۋانىڭ نېپىز پەردىسى بولۇپ، باسقۇچلارنىڭ ئۈنۈملۈك ھالدا نۆل سۈركىلىش ۋە نۆل تېگىش ئۇپراشسىز پايدىلىنىش يۈزى ئۈستىدە ھەرىكەت قىلىشىغا يول قويىدۇ. ھاۋا ياستۇقچىلىرى نانومېتردىن تۆۋەن ھەرىكەت راۋانلىقىنى تەمىنلەيدۇ، چاپلىشىپ سىيرىلىش ھالىتىنى يوقىتىدۇ (بۇ نانومېتىر ئۆلچىمىدىكى ئورۇننى بۇزۇۋېتىدۇ) ۋە پاكىز ئۆي مۇھىتىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان مايلاش بۇلغىنىشىنى يوقىتىدۇ.

ھاۋا ياستۇقىنىڭ ئىقتىدارى ئۇنىڭ قايسى يۈزىگە مىنىدىغانلىقىغا ئىنتايىن باغلىق. ياستۇق يۈزىدىكى تۈزلۈك خاتالىقى باسقۇچنىڭ ئورنىنى بېكىتىش خاتالىقىغا ئايلىنىدۇ. يۈزەكى پۇچۇقلۇق ھاۋا پەردىسىنىڭ مۇقىملىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. ئەگەر ھاۋا پەردىسى ئىشلەۋاتقاندا ۋاقىتلىق چۈشۈپ كەتسە، ماتېرىيال ئۇپراشقا قارشى تۇرالايدىغان دەرىجىدە قاتتىق بولۇشى كېرەك. شۇنداقلا، ھاۋا بوشلۇقىنى ئۆزگەرتىدىغان پەرقلىق كېڭىيىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن، ماتېرىيال باسقۇچ ۋە ھاۋا بىلەن تەمىنلەش سىستېمىسىغا ئىسسىقلىق جەھەتتىن ماسلىشىشى كېرەك.

ياستۇقنىڭ يۈرۈش ئارىلىقىدا 1 μm دىن ياخشى تۈزلۈككە يەتكۈزۈلۈپ، 0.1 μm دىن تۆۋەن Ra غىچە سىلىقلانغان ئېنىق گرانىت بۇ تەلەپلەرنىڭ ھەممىسىگە ماس كېلىدۇ. يۇقىرى قاتتىقلىق (ئۇپراشقا قارشى تۇرۇش)، تۆۋەن يۈزەكى پۇراقلىق (مۇقىم ھاۋا پەردىسىنى قوللايدۇ) ۋە ئۆلچەم مۇقىملىقى (ۋاقىتنىڭ ئۆتۈشىگە ئەگىشىپ تۈزلۈكنى ساقلايدۇ) نىڭ بىرىكمىسى گرانىتنى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلىتىشتە ھاۋا ياستۇقى پايدىلىنىش يۈزلىرى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى ماتېرىيالغا ئايلاندۇرىدۇ.

گرانىتلىق لېنتا تەكشۈرۈش ۋە ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرى

لىتوگرافىيەدىن باشقا، گرانىت يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرلارنى تەكشۈرۈش ۋە ئۆلچەشتە ئىشلىتىلىدىغان ئۈسكۈنىلەر توپلىمىدا ئوخشاشلا مۇھىم رول ئوينايدۇ. سىكانىرلاش ئېلېكترون مىكروسكوپلىرى (SEMs)، مەركەزلەشكەن ئىئون نۇرى (FIB) سىستېمىسى، ئوپتىكىلىق نۇقسان تەكشۈرۈش قوراللىرى ۋە قاپلاش ئۆلچەش سىستېمىلىرىنىڭ ھەممىسى تەلەپ قىلىنىدىغان ئۆلچەش توغرىلىقىغا يېتىش ئۈچۈن مۇقىم، تىترەشسىز ئاساسلارغا تايىنىدۇ.

3 نانومېتىرلىق دەرۋازا كەڭلىكىنى ئۆلچەيدىغان مۇھىم ئۆلچەملىك سىكانىرلاش ئېلېكترون مىكروسكوپى (CD-SEM) نانومېتردىن تۆۋەن ئېنىقلىق بىلەن سۈرەتكە ئېلىشى كېرەك. سۈرەتكە ئېلىش جەريانىدا ئەۋرىشكە بىلەن ئېلېكترون نۇرى ئوتتۇرىسىدىكى ھەر قانداق تەۋرىنىش سۈرەتنى تۇتۇقلاشتۇرىدۇ ۋە ئۆلچەش ئېنىقسىزلىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. گرانىت ئاساسى ئەۋرىشكە باسقۇچىنى يەر تەۋرىنىشىدىن ئايرىپ، ئاتوم كۆلەملىك ئۆلچەشنىڭ مۇمكىن بولىدىغان تىنچ مېخانىكىلىق مۇھىتنى تەمىنلەيدۇ.

شۇنىڭغا ئوخشاش، ئوپتىكىلىق تارقاقلاشتۇرۇش سىستېمىسى ۋە ۋافتا گېئومېتىرىيە قوراللىرى ئۆلچەش نۇرى بىلەن ۋافتا يۈزى ئوتتۇرىسىدىكى گېئومېتىرىيەلىك مۇناسىۋەتنى ساقلاش ئۈچۈن گرانىت ئاساسلىرى ۋە پايدىلىنىش يۈزلىرىنى ئىشلىتىدۇ. پۈتۈن قورالنىڭ ئۆلچەش توغرىلىقى - ۋافتانىڭ تەكشۈرۈشتىن ئۆتۈش ياكى ئۆتەلمەسلىكىنى بەلگىلەيدۇ - ئاخىرىدا ئۇنىڭ ئاستىدىكى گرانىتنىڭ ئۆلچەملىك مۇقىملىقىغا باغلىق.

سانائەت قوللىنىشلىرى: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى گرانىتنىڭ قىسمەن خەرىتىسى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا گرانىتنىڭ رولىنى چۈشىنىش ئۈچۈن، ئېنىق گرانىت تەركىبلىرى دائىم ئۇچرايدىغان ئۈسكۈنە تىپلىرىنى كۆزدە تۇتۇڭ: فوتولىتوگرافىيە سىكانىرلىرى ۋە باسقۇچلىرى (ۋاففېر باسقۇچ ئاساسى، تور باسقۇچ ئاساسى، پايدىلىنىش رامكىسى)؛ خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش (CMP) ئۈسكۈنىلىرى (شارائىتلىق دىسكا پايدىلىنىش يۈزى، ئۆلچەش باسقۇچلىرى)؛ ۋاففېر تەكشۈرۈش سىستېمىسى (باسقۇچ ئاساسى، پايدىلىنىش ئەينىكى، تىترەش ئايرىش سۇپىلىرى)؛ تارقاق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى، ئېللىپس ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ۋە ئارىلىشىش قاپلاش قوراللىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرى؛ ئۆلچەملىك مۇقىملىق ۋاففېرنىڭ بۇزۇلۇشىنىڭ ئالدىنى ئالىدىغان ۋاففېر بىر تەرەپ قىلىش ۋە توشۇش سىستېمىسى؛ ئېلېكترون نۇرى تەكشۈرۈش ۋە لىتوگرافىيە سىستېمىسى؛ ۋە نۇرنىڭ ئورنىنىڭ مۇقىملىقى مۇھىم بولغان ئىئون ئىمپلانتاتسىيە ئۈسكۈنىلىرى.

بۇ قوللىنىشلارنىڭ ھەر بىرىدە، گرانىت تاۋار ئەمەس، بەلكى مۇھىم ئېنىقلىق زاپچاسى بولۇپ، ئۇنىڭ ئىقتىدار ئۆلچىمى سىستېما ئىقتىدارىنى بىۋاسىتە بەلگىلەيدۇ. ±10 μm تۈزلۈككە ئىشلەپچىقىرىلغان گرانىت زاپچاس بىلەن ±0.5 μm تۈزلۈككە ئىشلەپچىقىرىلغان زاپچاس ئوتتۇرىسىدىكى پەرق 20 ھەسسە ياخشىلىنىش ئەمەس - ئۇ ئۆزىنىڭ ئۆلچىمىگە يەتكەن قورال بىلەن ئاساسەن يەتمەيدىغان قورال ئوتتۇرىسىدىكى پەرق بولۇشى مۇمكىن.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلىتىش ئۈچۈن ئېنىق گرانىتنى تېپىش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوللىنىشلىرىنىڭ ئىقتىدار تەلىپىنى كۆزدە تۇتقاندا، گرانىت تەمىنلىگۈچىنى تاللاش ۋە سالاھىيەتكە ئىگە قىلىش مۇھىم قۇرۇلۇش قارارى. ئاساسلىق ماتېرىيال ئۆلچىمى - زىچلىق، ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى، تۈزلۈك دەرىجىسىدىن باشقا، سېتىۋالغۇچىلار تەمىنلىگۈچىنىڭ ئەمەلىي ئۆلچەش ئىقتىدارىنى (ئۇلار نېمىگە ئېرىشمەكچى بولغانلىقىنى دەلىللىيەلەمدۇ؟)، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى قوللىنىش تەجرىبىسىنى، سۈپەت باشقۇرۇش سىستېمىسىنىڭ چىدامچانلىقىنى ۋە ئىشلەپچىقىرىش تۈركۈملىرىدە ئىزچىللىقنى ساقلاش ئىقتىدارىنى باھالىشى كېرەك.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ تەمىنلەش زەنجىرى رەھىمسىز: ئۆلچەمگە يەتمىگەن ئېنىقلىقتىكى زاپچاس ئۈسكۈنىلەرنىڭ يەتكۈزۈلۈشىنى كېچىكتۈرۈشى، ئىشلەپچىقىرىش سانلىق مەلۇماتلىرىنىڭ بۇزۇلۇشىغا سەۋەب بولۇشى ياكى قىممەت باھالىق ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىنى رېمونت قىلىشقا توغرا كېلىشى مۇمكىن. ئۆلچەمگە يەتمىگەن ئېنىقلىقتىكى گرانىت ئاساسىنىڭ تەننەرخىگە سېلىشتۇرغاندا ئانچە قىممەت ئەمەس.

خۇلاسە

گرانىتنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىدىكى رولى كۆپىنچە كۆزەتكۈچىلەر ئۈچۈن كۆرۈنمەيدۇ -- بۇ لازېر، ئېلېكترون نۇرى ۋە نانو ئۆلچەملىك ئوپتىكىلىق تېخنىكىلارنىڭ ئاستىغا يوشۇرۇنغان. ئەمما ئۇ ئاساسىي ئامىل. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ نانومېتىر ئۆلچىمىدىكى توغرىلىقى ۋە تەكرارلىنىشى ئېنىق گرانىت زاپچاسلىرىنىڭ ئۆلچەملىك مۇقىملىقى، تىترەشنى پەسەيتىش ۋە يۈزەكى سۈپىتىگە باغلىق.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ترانزىستورنىڭ ئۆلچىمىنى نۆۋەتتىكى چەكتىن تۆۋەنلىتىشنى داۋاملاشتۇرۇۋاتقانلىقتىن، ئۈسكۈنىلەردىكى ھەر بىر زاپچاسقا، شۇ جۈملىدىن گرانىت ئاساسىغا بولغان ئېھتىياج تېخىمۇ ئاشىدۇ. بۇ تەرەققىي قىلىۋاتقان تەلەپلەرگە ماس كېلىدىغان گرانىت زاپچاسلىرىنى تەمىنلىيەلەيدىغان، دەلىللەنگەن ئۆلچەش سانلىق مەلۇماتلىرى بىلەن ئىسپاتلايدىغان ئىشلەپچىقارغۇچىلار كېيىنكى ئەۋلاد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكىسىنى يولغا قويۇشتا مۇھىم رول ئوينايدۇ.