گرانىت ئېنىقلىق سۇپىلىرىنىڭ تۈزلۈكلىكىنى بايقاش ئۇسۇللىرى.

ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئىلمىي تەتقىقات ساھەلىرىدە، گرانىت ئېنىقلىق سۇپىلىرىنىڭ تۈزلۈكلىكى ئۈسكۈنىلەرنىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدىغان مۇھىم كۆرسەتكۈچ. تۆۋەندە بىر قانچە ئاساسلىق بايقاش ئۇسۇللىرى ۋە ئۇلارنىڭ مەشغۇلات تەرتىپلىرى تەپسىلىي تونۇشتۇرۇلىدۇ.
I. لازېرلىق ئارىلىشىش ئۆلچەش ئۈسكۈنىسىنى بايقاش ئۇسۇلى
لازېرلىق ئارىلىشىش ئۆلچەش ئەسۋابى يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تۈزلۈكنى بايقاش ئۈچۈن ئەڭ ياخشى قورال. مىسال قىلىپ ZYGO GPI XP لازېرلىق ئارىلىشىش ئۆلچەش ئەسۋابىنى ئالساق، ئۇنىڭ ئېنىقلىق دەرىجىسى 0.1nm غا يېتىدۇ. بايقاش ئېلىپ بارغاندا، ئالدى بىلەن ئارىلىشىش ئۆلچەش ئەسۋابىنىڭ نۇر مەنبەسىنى سۇپا بىلەن ماسلاشتۇرۇپ، سۇپا يۈزىنى 50mm × 50mm تور رايونلىرىغا بۆلۈڭ. ئاندىن، ئارىلىشىش چېگرىسى سانلىق مەلۇماتلىرى نۇقتا بويىچە توپلىنىپ، سانلىق مەلۇماتلار Zernike كۆپ نومۇرلۇق سانلىق مەلۇمات ئارقىلىق ماسلاشتۇرۇلۇپ تەھلىل قىلىنىپ، تۈزلۈك خاتالىقىنى قولغا كەلتۈرۈلدى. بۇ ئۇسۇل يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سۇپىلارغا ماس كېلىدۇ ھەمدە ≤0.5μm/m² تۈزلۈك خاتالىقىنى بايقىيالايدۇ. ئۇ ئادەتتە فوتولىتوگرافىيە ماشىنىلىرى ۋە يۇقىرى دەرىجىلىك ئۈچ كوئوردېناتلىق ئۆلچەش ماشىنىسى سۇپىلىرىنى بايقاشتا ئىشلىتىلىدۇ.
II. ئېلېكترونلۇق سەۋىيە قۇرۇلمىسى ئۇسۇلى
ئېلېكترونلۇق سەۋىيە سېپىنى بايقاش ئاسان ۋە يۇقىرى ئۈنۈملۈك. TESA A2 ئېلېكترونلۇق سەۋىيە (ئېنىقلىقى 0.01μm/m) سۇپا X/Y ئوق يۆنىلىشى بويىچە 9×9 سېپىدە تاللىنىپ، ئورۇنلاشتۇرۇلغان. ھەر بىر سەۋىيەنىڭ يانتۇلۇق سانلىق مەلۇماتلىرىنى ماس قەدەمدە توپلاش ۋە ئاندىن ھېسابلاش ئۈچۈن ئەڭ كىچىك كۋادرات ئۇسۇلى ئارقىلىق، تۈزلۈك قىممىتىنى توغرا قولغا كەلتۈرگىلى بولىدۇ. بۇ ئۇسۇل سۇپا يەرلىك ئىچكى ۋە ئىچكى قىسمىنىڭ ئەھۋالىنى ئۈنۈملۈك ئېنىقلىيالايدۇ. مەسىلەن، 50 مىللىمېتىر دائىرىسىدىكى 0.2μm تەۋرىنىشىنىمۇ بايقىغىلى بولىدۇ، بۇ كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىشتا تېز بايقاشقا ماس كېلىدۇ.
III. ئوپتىكىلىق ياپىلاق كرىستال ئۇسۇلى
ئوپتىكىلىق ياپىلاق كىرىستال ئۇسۇلى كىچىك كۆلەمدىكى سۇپىلارنى بايقاشقا ماس كېلىدۇ. ئوپتىكىلىق ياپىلاق كىرىستالنى سۇپىدا سىناق قىلىنىدىغان يۈزگە چىڭ چاپلاڭ ۋە مونوخروماتىك نۇر مەنبەسى (مەسىلەن، ناترىي لامپا) نىڭ يورۇتۇشى ئاستىدا ئۇلارنىڭ ئارىسىدا شەكىللەنگەن ئارىلىشىش چىۋىقلىرىنى كۆزىتىڭ. ئەگەر سىزىقلار پاراللېل تۈز سىزىقلار بولسا، بۇ ياخشى تۈزلۈكنى كۆرسىتىدۇ. ئەگەر ئەگرى سىزىقلار پەيدا بولسا، سىزىقنىڭ ئەگرىلىك دەرىجىسىگە ئاساسەن تۈزلۈك خاتالىقىنى ھېسابلاڭ. ھەر بىر ئەگرى سىزىق 0.316μm ئېگىزلىك پەرقىنى ئىپادىلەيدۇ، تۈزلۈك سانلىق مەلۇماتلىرىنى ئاددىي ئۆزگەرتىش ئارقىلىق قولغا كەلتۈرگىلى بولىدۇ.
تۆتىنچى. ئۈچ كوئوردىناتلىق ئۆلچەش ماشىنىسى تەكشۈرۈش ئۇسۇلى
ئۈچ كوئوردىناتلىق ئۆلچەش ماشىنىسى ئۈچ ئۆلچەملىك بوشلۇقتا يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئۆلچەشنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ. گرانىت سۇپىسىنى ئۆلچەش ماشىنىسىنىڭ خىزمەت ئۈستىلىگە قويۇپ، زوندنى ئىشلىتىپ سۇپا يۈزىدىكى كۆپ خىل ئۆلچەش نۇقتىلىرىدىن بىردەك سانلىق مەلۇماتلارنى توپلاڭ. ئۆلچەش ماشىنىسى سىستېمىسى بۇ سانلىق مەلۇماتلارنى بىر تەرەپ قىلىپ تەھلىل قىلىپ، سۇپىنىڭ تۈزلۈك دوكلاتىنى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ ئۇسۇل پەقەت تۈزلۈكنى بايقاپلا قالماي، سۇپىنىڭ باشقا گېئومېتىرىيەلىك پارامېتىرلىرىنى بىرلا ۋاقىتتا قولغا كەلتۈرەلەيدۇ، شۇنداقلا چوڭ گرانىت سۇپىلىرىنى ئومۇميۈزلۈك بايقاشقا ماس كېلىدۇ.
بۇ بايقاش ئۇسۇللىرىنى ئىگىلەش سىزگە گرانىت ئېنىقلىق سۇپىسىنىڭ تۈزلۈكىنى توغرا باھالاشقا ياردەم بېرىدۇ ھەمدە ئېنىقلىق ئۈسكۈنىلىرىنىڭ مۇقىم ئىشلىشىگە ئىشەنچلىك كاپالەت بېرىدۇ.