ئۇلترا ئېنىقلىقتىكى تەنتەربىيە مودۇلىنىڭ گرانىت ئېنىقلىق ئاساسى ئۈچۈن مۇھىتقا ماسلىشىش قوللانمىسى.

يۇقىرى دەرىجىلىك ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئالدىنقى قاتاردىكى ئىلمىي تەتقىقات ساھەسىدە، ھاۋا لەيلىگۈچنىڭ ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلى ئەلا سۈپەتلىك ئېنىقلىق ئىقتىدارى بىلەن ئىنچىكە ئىشلىتىش ۋە ئۆلچەش ئۈچۈن مۇھىم ئۈسكۈنە بولۇپ قالدى. گرانىت ئېنىقلىق ئاساسى، تىرەك يادروسى بولۇش سۈپىتى بىلەن، خىزمەت مۇھىتىغا قاتتىق تەلەپ قويىدۇ، مۇۋاپىق مۇھىت شارائىتى ئۇنىڭ مۇقىم ئىقتىدارى ۋە ئەڭ ياخشى ئۈنۈمگە كاپالەتلىك قىلىشنىڭ ئاساسى.

بىرىنچى، تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش: ئېنىقلىق «مۇقىملاشتۇرغۇچ»
گرانىت ئۆزىنىڭ مۇقىملىقى بىلەن داڭلىق بولسىمۇ، تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىگە تولۇق چىداملىق ئەمەس. ئۇنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى تۆۋەن بولسىمۇ، ئادەتتە 5-7 × 10⁻⁶/℃ بولسىمۇ، ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت كونترول قىلىش ئەھۋاللىرىدا، تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى يەنىلا ئۆلچەم ئۆزگىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى ۋە مودۇلنىڭ توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ چىپ ئىشلەپچىقىرىش سېخىدا، لىتوگرافىيە جەريانى دانامى دەرىجىلىك ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقىنى تەلەپ قىلىدۇ، مۇھىت تېمپېراتۇرىسى 1 سېلسىيە گرادۇس ئۆزگىرىدۇ، يان تەرىپى ئۇزۇنلۇقى 1 مېتىر كېلىدىغان گرانىت ئاساسى 5-7 مىكرون سىزىقلىق كېڭىيىش ياكى قىسقىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. بۇ كىچىك ئۆزگىرىش ھاۋا لەيلىمە ئۈسكۈنىسىنىڭ ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلى تەرىپىدىن يەتكۈزۈلىدۇ، بۇ چىپ لىتوگرافىيە ئەندىزىسىنىڭ ئۆزگىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ۋە مەھسۇلات مىقدارىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىدۇ. شۇڭا، ھاۋادا لەيلەپ تۇرىدىغان ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ گرانىت ئېنىقلىق ئاساسى بىلەن تەمىنلەنگەن بولۇپ، ئەڭ ياخشى خىزمەت مۇھىتى تېمپېراتۇرىسىنى 20 سېلسىيە گرادۇس ± 1 سېلسىيە گرادۇس ئەتراپىدا كونترول قىلىش كېرەك. بۇنىڭ ئۈچۈن يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تۇراقلىق تېمپېراتۇرا ئۈسكۈنىلىرى، مەسىلەن تۇراقلىق تېمپېراتۇرا ۋە نەملىك ھاۋا تەڭشىگۈچ سىستېمىسى، مۇھىت تېمپېراتۇرىسىنى ئۈزلۈكسىز نازارەت قىلىش ۋە تەڭشەش قاتارلىقلار ئىشلىتىلىدۇ. بۇ ئارقىلىق تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىنىڭ ناھايىتى كىچىك دائىرىدە بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىنىدۇ، ئاساس چوڭلۇقىنىڭ مۇقىملىقىنى ساقلايدۇ ۋە مودۇلنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئىشلىشىگە كاپالەتلىك قىلىنىدۇ.
ئىككىنچىدىن، نەملىكنى باشقۇرۇش: نەملىكتىن ساقلىنىشنىڭ ئاچقۇچى «تاش»
نەملىك گرانىت ئاساسىنىڭ ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان يەنە بىر مۇھىم ئامىل. يۇقىرى نەملىك مۇھىتتا، گرانىت ئاسانلا سۇ پارىنى سۈمۈرۈۋالىدۇ، بۇ يۈزەكى قويۇقلىشىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇ پەقەت گرانىت بىلەن ھاۋا لەيلىگۈچنىڭ ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ ئۇلىنىش مۇقىملىقىغا تەسىر كۆرسىتىپلا قالماي، يەنە يۈزەكى ئېروزىيە پەيدا قىلىپ، ئۇزۇن مۇددەتتە پارقىراقلىق ۋە ئېنىقلىقنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن. ئوپتىكىلىق لىنزا ئۇۋىلاش سېخىدا، ئەگەر نەملىك ئۇزۇن ۋاقىت RH 60% تىن يۇقىرى بولسا، گرانىت ئاساسىنىڭ يۈزىگە سۈمۈرۈلگەن سۇ پارى گاز لەيلىگۈچنىڭ ھەرىكىتىگە توسقۇنلۇق قىلىدۇ، شۇڭا لىنزا ئۇۋىلاش ئېنىقلىقى تۆۋەنلەيدۇ ۋە يۈزەكى نۇقسانلارغا ئۇچرايدۇ. شۇڭا، خىزمەت مۇھىتىنىڭ نىسپىي نەملىكىنى قاتتىق كونترول قىلىش كېرەك، بۇ 40% دىن 60% گىچە بولغان ئارىلىقتا بولۇشى كېرەك، بۇ گرانىت ئاساسىنىڭ يۇقىرى نەملىكتىن بۇزۇلۇشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن نەملىكنى قۇرۇتقۇچ، نەملىك سېنزورى ۋە باشقا ئۈسكۈنىلەرنى ئورنىتىش ئارقىلىق ھەقىقىي ۋاقىتتا نازارەت قىلغىلى ۋە تەڭشىگىلى بولىدۇ، ھەمدە ھاۋا لەيلىگۈچنىڭ ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ راۋان ئىشلىشىگە كاپالەتلىك قىلغىلى بولىدۇ.
ئۈچىنچىدىن، پاكىزلىق كاپالىتى: ئېنىقلىقنىڭ «قوغدىغۇچىسى».
ھاۋا لەيلىتىشنىڭ ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ ئېنىق گرانىت ئاساسىغا چاڭ-توزان زەررىچىلىرىنىڭ زىيىنىنى كەمسىتكىلى بولمايدۇ. كىچىك زەررىچىلەر گاز لەيلىتىش سىيرىلمىسى بىلەن گرانىت ئاساسى ئارىسىدىكى گاز پەردىسى بوشلۇقىغا كىرگەندىن كېيىن، گاز پەردىسىنىڭ بىردەكلىكىنى بۇزۇپ، سۈركىلىش كۈچىنى ئاشۇرۇپ، ھەتتا ئاساسنىڭ يۈزىنى چىزىپ، ھەرىكەت توغرىلىقىنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن. ئاۋىئاتسىيە زاپچاسلىرىنىڭ ئىنتايىن ئېنىق پىششىقلاپ ئىشلەش سېخىدا، ھاۋادىكى چاڭ-توزان زەررىچىلىرى گرانىت ئاساسىغا چۈشۈپ كەتسە، پىششىقلاپ ئىشلەش قورالىنىڭ ھەرىكەت يولى بۇرۇلۇپ، زاپچاسلارنىڭ پىششىقلاپ ئىشلەش توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن. شۇڭا، خىزمەت رايونىنى يۇقىرى ئۈنۈملۈك ھاۋا سۈزگۈچ (HEPA) قاتارلىق ھاۋا تازىلاش ئۈسكۈنىلىرىنى ئورنىتىش ئارقىلىق 10 مىڭ ياكى ئۇنىڭدىنمۇ يۇقىرى پاكىزلىق ئۆلچىمىگە يەتكۈزۈپ، ھاۋادىكى چاڭ-توزان زەررىچىلىرىنى سۈزۈپ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، خىزمەتچىلەرنىڭ چاڭ-توزانسىز كىيىم، ئاياغ قاپقىقى قاتارلىقلارنى كىيىشى كېرەك، بۇ ئارقىلىق ئىنسانلار ئېلىپ كەلگەن چاڭ-توزاننى ئازايتىش كېرەك. گرانىت ئاساسى ۋە ھاۋا لەيلىتىش ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى مەشغۇلات مۇھىتىنى ساقلاش كېرەك.

تۆتىنچى، تىترەش ئىزولياتسىيەسى: «سوقۇش ياستۇقچىسى» نىڭ راۋان ئىشلىشى
تاشقى تىترەش ھاۋا لەيلىگۈچنىڭ ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ ئېنىقلىقىنىڭ دۈشمىنى. ئېنىق گرانىت ئاساسى بەلگىلىك تىترەشنى ئاجىزلاشتۇرۇش ئىقتىدارىغا ئىگە بولسىمۇ، يۇقىرى كۈچلۈك تىترەش يەنىلا ئۇنىڭ بۇففېر چەكلىمىسىنى بۇزۇۋېتىشى مۇمكىن. زاۋۇت ئەتراپىدىكى قاتناش ۋە چوڭ مېخانىكىلىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلىتىلىشى سەۋەبىدىن پەيدا بولغان تىترەش يەر ئارقىلىق گرانىت ئاساسىغا يەتكۈزۈلىدۇ، بۇ ھاۋا لەيلىگۈچنىڭ ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ ھەرىكەت ئېنىقلىقىغا توسقۇنلۇق قىلىدۇ. يۇقىرى دەرىجىلىك CMM دا، تىترەش ئۆلچەش زوندى بىلەن ئۆلچەنگەن ئىشخانا ئارىسىدىكى ئۇچرىشىشنىڭ مۇقىمسىز بولۇشىغا سەۋەب بولۇپ، ئۆلچەش سانلىق مەلۇماتلىرىنىڭ چەتنىشىگە سەۋەب بولۇشى مۇمكىن. بۇ مەسىلىنى ھەل قىلىش ئۈچۈن، ئۈسكۈنە ئورنىتىش رايونىغا تىترەش ئايرىش ياستۇقچىلىرىنى قويۇش، تىترەش ئايرىش ئاساسىنى قۇرۇش ياكى تاشقى تىترەشنى ئاكتىپ ھالدا يوقىتىش ئۈچۈن ئاكتىپ تىترەش ئايرىش سىستېمىسىنى ئىشلىتىش قاتارلىق ئۈنۈملۈك تىترەش ئايرىش تەدبىرلىرىنى قوللىنىش، شۇنداقلا گرانىت ئېنىق ئاساس ۋە ھاۋا لەيلىگۈچنىڭ ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلى ئۈچۈن تىنچ ۋە مۇقىم خىزمەت مۇھىتى يارىتىش كېرەك.
پەقەت تېمپېراتۇرا، نەملىك، پاكىزلىق ۋە تىترەشنى كونترول قىلىش قاتارلىق مۇھىت تەلىپىنى تولۇق قاندۇرۇش ئارقىلىقلا، ھاۋا ئۈزۈش ئۈسكۈنىسىنىڭ ئۇلترا ئېنىقلىقتىكى ھەرىكەت مودۇلىنىڭ گرانىت ئېنىقلىق ئاساسى ئۇنىڭ ئىقتىدار ئەۋزەللىكىنى تولۇق جارى قىلدۇرۇپ، ھەر خىل ساھەلەردىكى ئۇلترا ئېنىقلىقتىكى مەشغۇلاتلارغا ئىشەنچلىك كاپالەت بىلەن تەمىنلىيەلەيدۇ ھەمدە سانائەتنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئىلمىي تەتقىقات سەۋىيەسىگە قاراپ ئىلگىرىلىشىگە ياردەم بېرەلەيدۇ.