يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ گرانىت ئاساسلىرىغا قويۇلىدىغان تېخنىكىلىق تەلەپلەر.

1. ئۆلچەم توغرىلىقى
تۈزلۈك: ئاساس يۈزىنىڭ تۈزلۈكى ناھايىتى يۇقىرى ئۆلچەمگە يېتىشى كېرەك، تۈزلۈك خاتالىقى ھەر قانداق 100mm×100mm دائىرىسىدە ±0.5μm دىن ئېشىپ كەتمەسلىكى كېرەك؛ پۈتۈن ئاساس تۈزلۈكى ئۈچۈن، تۈزلۈك خاتالىقى ±1μm ئىچىدە كونترول قىلىنىدۇ. بۇ، لىتوگرافىيە ئۈسكۈنىسىنىڭ ئاشكارلىنىش بېشى ۋە چىپ بايقاش ئۈسكۈنىسىنىڭ زوند ئۈستىلى قاتارلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاساسلىق زاپچاسلىرىنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تۈزلۈككە مۇقىم ئورنىتىلىشى ۋە ئىشلىتىلىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ، ئۈسكۈنىنىڭ ئوپتىكىلىق يولى ۋە توك يولى ئۇلىنىشىنىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ، ھەمدە ئاساس تۈزلۈكىنىڭ تەكشى بولماسلىقى سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان زاپچاسلارنىڭ يۆتكىلىش ئۆزگىرىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ، بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ چىپ ئىشلەپچىقىرىش ۋە بايقاش توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
تۈزلۈك: ئاساسنىڭ ھەر بىر گىرۋىكىنىڭ تۈزلۈكى ناھايىتى مۇھىم. ئۇزۇنلۇق يۆنىلىشىدە، تۈزلۈك خاتالىقى ھەر 1 مېتىردا ±1μm دىن ئېشىپ كەتمەسلىكى كېرەك؛ دىئاگونال تۈزلۈك خاتالىقى ±1.5μm ئىچىدە كونترول قىلىنىدۇ. يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى لىتوگرافىيە ماشىنىسىنى مىسالغا ئالساق، ئۈستەل ئاساسنىڭ يېتەكلەش رېلىسى بويلاپ ھەرىكەت قىلغاندا، ئاساسنىڭ گىرۋىكىنىڭ تۈزلۈكى ئۈستەلنىڭ يۆنىلىش توغرىلىقىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. ئەگەر تۈزلۈك ئۆلچەمگە يەتمىسە، لىتوگرافىيە شەكلى بۇرمىلىنىپ، شەكلى ئۆزگىرىپ، چىپ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى تۆۋەنلەيدۇ.
پاراللېللىق: ئاساسنىڭ ئۈستۈنكى ۋە ئاستىنقى يۈزىنىڭ پاراللېللىق خاتالىقى ±1μm ئىچىدە كونترول قىلىنىشى كېرەك. ياخشى پاراللېللىق ئۈسكۈنىلەر ئورنىتىلغاندىن كېيىن ئومۇمىي ئېغىرلىق مەركىزىنىڭ مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ، ھەمدە ھەر بىر زاپچاسنىڭ كۈچى بىردەك بولىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافتا ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە، ئاساسنىڭ ئۈستۈنكى ۋە ئاستىنقى يۈزى پاراللېل بولمىسا، ۋافتا پىششىقلاش جەريانىدا ئېگىلىپ، ئويۇش ۋە قاپلاش قاتارلىق جەرياننىڭ بىردەكلىكىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ، شۇڭا چىپنىڭ ئىقتىدارىنىڭ مۇقىملىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ئىككىنچىدىن، ماتېرىيال خۇسۇسىيىتى
قاتتىقلىقى: گرانىت ئاساسىي ماتېرىيالنىڭ قاتتىقلىقى Shore قاتتىقلىقى HS70 ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى بولۇشى كېرەك. يۇقىرى قاتتىقلىق ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلىتىلىشى جەريانىدا زاپچاسلارنىڭ دائىم ھەرىكەتلىنىشى ۋە سۈركىلىشى سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان ئۇپراشقا ئۈنۈملۈك قارشى تۇرالايدۇ، بۇ ئاساسنىڭ ئۇزۇن مۇددەت ئىشلەتكەندىن كېيىن يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى چوڭلۇقىنى ساقلىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. چىپ ئورالما ئۈسكۈنىلىرىدە، روبوت قولى دائىم چىپنى تۇتۇپ، ئاساسقا قويىدۇ، ئاساسنىڭ يۇقىرى قاتتىقلىقى يۈزنىڭ ئاسانلا چىزىلىپ كەتمەسلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ ۋە روبوت قولىنىڭ ھەرىكىتىنىڭ توغرىلىقىنى ساقلايدۇ.
زىچلىقى: ماتېرىيال زىچلىقى 2.6-3.1 گرام/سانتىمېتىر³ ئارىلىقىدا بولۇشى كېرەك. مۇۋاپىق زىچلىق ئاساسنىڭ ياخشى سۈپەتلىك مۇقىملىقىنى ساقلايدۇ، بۇ ئۈسكۈنىلەرنى تىرەپ تۇرۇش ئۈچۈن يېتەرلىك قاتتىقلىققا كاپالەتلىك قىلىدۇ، ھەمدە ئۈسكۈنىلەرنى ئورنىتىش ۋە توشۇشتا ئېغىرلىقنىڭ ئېشىپ كېتىشى سەۋەبىدىن قىيىنچىلىق تۇغدۇرمايدۇ. چوڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرىدە، مۇقىم ئاساس زىچلىقى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلىتىلىشى جەريانىدا تىترەشنىڭ ئۆتكۈزۈلۈشىنى ئازايتىشقا ۋە بايقاش توغرىلىقىنى يۇقىرى كۆتۈرۈشكە ياردەم بېرىدۇ.
ئىسسىقلىق مۇقىملىقى: سىزىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى 5×10⁻⁶/℃ دىن تۆۋەن. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىگە ئىنتايىن سەزگۈر بولۇپ، ئاساسنىڭ ئىسسىقلىق مۇقىملىقى بىۋاسىتە ئۈسكۈنىلەرنىڭ توغرىلىقى بىلەن مۇناسىۋەتلىك. لىتوگرافىيە جەريانىدا، تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى ئاساسنىڭ كېڭىيىشى ياكى قىسقىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، ئاشكارلىنىش شەكلىنىڭ چوڭلۇقىدا ئۆزگىرىش پەيدا قىلىدۇ. سىزىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى تۆۋەن بولغان گرانىت ئاساس ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى ئۆزگەرگەندە (ئادەتتە 20-30 سېلسىيە گرانىت) چوڭلۇق ئۆزگىرىشىنى ناھايىتى كىچىك دائىرىدە كونترول قىلىپ، لىتوگرافىيەنىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ.
ئۈچىنچىدىن، يۈزەكى سۈپەت
داغلىق: ئاساسىي يۈزىنىڭ داغلىق Ra قىممىتى 0.05μm دىن ئېشىپ كەتمەيدۇ. ئىنتايىن سىلىق يۈز چاڭ-توزان ۋە ئارىلاشمىلارنىڭ سۈمۈرۈلۈشىنى ئازايتىپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ چىپ ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىنىڭ پاكىزلىقىغا بولغان تەسىرىنى ئازايتالايدۇ. چىپ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ چاڭ-توزانسىز سېخىدا، كىچىك زەررىچىلەر چىپنىڭ قىسقا تۇتىشىش قاتارلىق نۇقسانلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن، ئاساسىي يۈزىنىڭ سىلىق بولۇشى سېخنىڭ پاكىز مۇھىتىنى ساقلاشقا ۋە چىپ مەھسۇلاتىنى ئاشۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ.
مىكروسكوپتىكى نۇقسانلار: ئاساسنىڭ يۈزىدە كۆرۈنگەن يېرىق، قۇم تۆشۈكى، تۆشۈك ۋە باشقا نۇقسانلارنىڭ بولۇشىغا يول قويۇلمايدۇ. مىكروسكوپتا، ھەر كۋادرات سانتىمېتىردا دىئامېتىرى 1μm دىن چوڭ بولغان نۇقسانلارنىڭ سانى ئېلېكترونلۇق مىكروسكوپ ئارقىلىق 3 تىن ئېشىپ كەتمەسلىكى كېرەك. بۇ نۇقسانلار ئاساسنىڭ قۇرۇلما كۈچى ۋە يۈزەكى تۈزلۈكىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ، ئاندىن ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇقىملىقى ۋە توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
تۆتىنچى، مۇقىملىق ۋە سوقۇلۇشقا چىداملىق
دىنامىك مۇقىملىق: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىشلىتىلىشى سەۋەبىدىن پەيدا بولغان تىترەش مۇھىتىدا (تىترەش چاستوتا دائىرىسى 10-1000Hz، ئامپلىتۇدا 0.01-0.1mm)، ئاساستىكى ئاچقۇچلۇق ئورنىتىش نۇقتىلىرىنىڭ تىترەش يۆتكىلىشى ±0.05μm ئىچىدە كونترول قىلىنىشى كېرەك. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سىناق ئۈسكۈنىلىرىنى مىسالغا ئالساق، ئەگەر ئۈسكۈنىنىڭ ئۆزىنىڭ تىترەشى ۋە ئەتراپتىكى مۇھىتنىڭ تىترەشى ئىشلىتىش جەريانىدا ئاساسقا يەتكۈزۈلسە، سىناق سىگنالىنىڭ توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن. ياخشى دىنامىك مۇقىملىق ئىشەنچلىك سىناق نەتىجىسىگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ.
يەر تەۋرەشكە چىداملىق بولۇش: ئاساسنىڭ يەر تەۋرەشكە چىداملىق بولۇش ئىقتىدارى ناھايىتى ياخشى بولۇشى كېرەك، شۇنداقلا ئۇشتۇمتۇت سىرتقى تەۋرىنىشكە (مەسىلەن، يەر تەۋرەش دولقۇنى سىمۇلياتسىيەسى تەۋرىنىشىگە) ئۇچرىغاندا تەۋرىنىش ئېنېرگىيەسىنى تېز سۈرئەتتە ئاجىزلاشتۇرالايدۇ، ھەمدە ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئاساسلىق زاپچاسلىرىنىڭ نىسپىي ئورنىنىڭ ±0.1μm ئىچىدە ئۆزگىرىشىگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ. يەر تەۋرەشكە مايىل رايونلاردىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتلىرىدا، يەر تەۋرەشكە چىداملىق ئاساسلار قىممەت باھالىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنى ئۈنۈملۈك قوغداپ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ بۇزۇلۇشى ۋە تەۋرىنىش سەۋەبىدىن ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئۈزۈلۈپ قېلىش خەۋپىنى ئازايتالايدۇ.
5. خىمىيىلىك مۇقىملىقى
چىرىشكە چىداملىقلىقى: گرانىت ئاساسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا كۆپ ئۇچرايدىغان خىمىيىلىك ماددىلارنىڭ، مەسىلەن، گىدروفتور كىسلاتاسى، سۇ ئۈستى سۇيۇقلۇقى قاتارلىق ماددىلارنىڭ چىرىشىگە چىداملىق بولۇشى كېرەك. ماسسا نىسبىتى %40 بولغان گىدروفتور كىسلاتاسى ئېرىتمىسىگە 24 سائەت چىلىغاندىن كېيىن، يۈز سۈپىتىنىڭ يوقىلىش نىسبىتى %0.01 تىن ئېشىپ كەتمەسلىكى كېرەك؛ سۇ ئۈستى سۇيۇقلۇقى (گىدروفتور كىسلاتاسى بىلەن ئازوت كىسلاتاسىنىڭ ھەجىم نىسبىتى 3:1) گە 12 سائەت چىلىغاندا، يۈزدە روشەن چىرىش ئىزلىرى قالمايدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى ھەر خىل خىمىيىلىك ئويۇش ۋە تازىلاش جەريانلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، ئاساسنىڭ ياخشى چىرىشكە چىدامچانلىقى خىمىيىلىك مۇھىتتا ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىتىشنىڭ چىرىمەسلىكىگە، توغرىلىقى ۋە قۇرۇلما پۈتۈنلۈكىنىڭ ساقلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ.
بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش: ئاساسىي ماتېرىيال يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا كۆپ ئۇچرايدىغان بۇلغىمىلارنى، مەسىلەن ئورگانىك گازلار، مېتال ئىئونلىرى قاتارلىقلارنى سۈمۈرۈش نىسبىتى ئىنتايىن تۆۋەن. 72 سائەت ئىچىدە 10 PPM ئورگانىك گاز (مەسىلەن، بېنزول، تولۇئېن) ۋە 1 ppm مېتال ئىئونلىرى (مەسىلەن، مىس ئىئونلىرى، تۆمۈر ئىئونلىرى) بار مۇھىتقا قويۇلغاندا، ئاساسىي يۈزىدىكى بۇلغىمىلارنىڭ سۈمۈرۈلۈشى سەۋەبىدىن كېلىپ چىقىدىغان ئىقتىدار ئۆزگىرىشى ئانچە چوڭ ئەمەس. بۇ بۇلغانمىلارنىڭ ئاساسىي يۈزىدىن چىپ ئىشلەپچىقىرىش رايونىغا كۆچۈپ كىرىپ، چىپ سۈپىتىگە تەسىر كۆرسىتىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.