گرانىت ئاساس ئىشلىتىلگەن يەككە ئوقلۇق ھاۋا لەيلىمە ئۇلترا ئېنىقلىقتىكى ھەرىكەت مودۇلىنىڭ قوللىنىش ساھەسى.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش: چىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا، فوتولىتوگرافىيە جەريانى توك يولى شەكلىنى دەل ۋافېرغا يۆتكەشكە موھتاج. يەككە ئوقلۇق ھاۋا لەيلەپ تۇرىدىغان ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ گرانىت ئاساسى لىتوگرافىيە ئۈسكۈنىلىرىدىكى ۋافېر ئۈستىلىگە يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئورۇن بەلگىلەش ۋە مۇقىم تىرەك بىلەن تەمىنلىيەلەيدۇ. مەسىلەن، ASML ۋە باشقا خەلقئارادا داڭلىق لىتوگرافىيە ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئۆزلىرىنىڭ يۇقىرى دەرىجىلىك ئۈسكۈنىلىرىدە گرانىت ئاساسلىق ھاۋا لەيلەپ تۇرىدىغان ھەرىكەت مودۇللىرىنى ئىشلىتىدۇ، بۇ مودۇللار ۋافېرنىڭ ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقىنى نانومېتىر سەۋىيەسىدە كونترول قىلىپ، لىتوگرافىيە شەكلىنىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلالايدۇ، شۇ ئارقىلىق چىپنىڭ بىر گەۋدىلىشىشى ۋە ئىقتىدارىنى ياخشىلىيالايدۇ.
ئېنىقلىق ئۆلچەش ساھەسى: CMM سانائەت ئىشلەپچىقىرىشىدا كۆپ ئىشلىتىلىدىغان ئېنىقلىق ئۆلچەش ئۈسكۈنىسى بولۇپ، ئۇ ئىشلەنگەن بۇيۇمنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى، شەكلى ۋە ئورنىنىڭ توغرىلىقىنى ئۆلچەشكە ئىشلىتىلىدۇ. گرانىت ئاساسىدىكى يەككە ئوقلۇق ھاۋا لەيلىگۈچنىڭ ئىنتايىن ئېنىقلىقتىكى ھەرىكەت مودۇلى CMM نىڭ ھەرىكەت سۇپىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىشى مۇمكىن، بۇ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سىزىقلىق ھەرىكەتنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ ۋە ئۆلچەش زوندى ئۈچۈن مۇقىم ھەرىكەت يولى بىلەن تەمىنلەيدۇ. مەسىلەن، Hexagon نىڭ يۇقىرى دەرىجىلىك CMM بۇ بىرىكمە ئارقىلىق چوڭ ۋە مۇرەككەپ زاپچاسلارنى مىكرون دەرىجىسىگىچە بولغان ئۆلچەش توغرىلىقى بىلەن ئۆلچەيدۇ، بۇ ئاپتوموبىل، ئاۋىئاتسىيە ۋە باشقا كەسىپلەردىكى زاپچاسلارنىڭ سۈپىتىنى كونترول قىلىشقا كۈچلۈك كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ئاۋىئاتسىيە ساھەسى: ئاۋىئاتسىيە زاپچاسلىرىنى بىر تەرەپ قىلىش ۋە سىناق قىلىشتا يۇقىرى ئېنىقلىق تەلەپ قىلىنىدۇ. مەسىلەن، ئايروپىلان ماتورى پىچاقلىرىنى پىششىقلاپ ئىشلەشتە، پىچاقنىڭ شەكلىنىڭ توغرىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن، قورالنىڭ ھەرىكەت يولىنى ئېنىق كونترول قىلىش تەلەپ قىلىنىدۇ. بىر ئوقلۇق ھاۋا لەيلىمە ئۆتكۈر ئېنىقلىقتىكى ھەرىكەت مودۇلىنىڭ گرانىت ئاساسى بەش ئوقلۇق پىششىقلاپ ئىشلەش مەركىزى ۋە باشقا ئۈسكۈنىلەرگە قوللىنىلىپ، قورالنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ھەرىكەت كونتروللۇقى بىلەن تەمىنلىنىدۇ ۋە پىچاقنىڭ پىششىقلاپ ئىشلەش توغرىلىقىنىڭ لايىھە تەلىپىگە ماس كېلىشىگە كاپالەتلىك قىلىنىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، ئاۋىئاتسىيە ماتورىنى يىغىش جەريانىدا، زاپچاسلارنىڭ يىغىش توغرىلىقىنى بايقاش ئۈچۈن يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرىنى ئىشلىتىش كېرەك. گرانىت ئاساسىنىڭ ھاۋا لەيلىمە ھەرىكەت مودۇلى يىغىش سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرىگە مۇقىم تىرەك ۋە توغرا ھەرىكەت بىلەن تەمىنلىيەلەيدۇ.
ئوپتىكىلىق تەكشۈرۈش ساھەسى: ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى ئىشلەپچىقىرىش ۋە سىناق قىلىش جەريانىدا، ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئورۇن بەلگىلەش ۋە ئۆلچەش خىزمىتىنى ئېلىپ بېرىش كېرەك. مەسىلەن، ئەينەك ۋە ئەينەك قاتارلىق يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى ئىشلەپچىقىرىشتا، يۈزەكى شەكىلنىڭ توغرىلىقىنى بايقاش ئۈچۈن ئارىلاشما ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ۋە باشقا ئۈسكۈنىلەرنى ئىشلىتىش كېرەك. يەككە ئوقلۇق ھاۋادا ئۈزۈپ يۈرىدىغان ئىنتايىن ئېنىق ھەرىكەت مودۇلىنىڭ گرانىت ئاساسى ئارىلاشما ئۆلچەش ئەسۋابىنىڭ ھەرىكەت سۇپىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىشى مۇمكىن، بۇ مىكروندىن تۆۋەن ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقىنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ ۋە ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى بايقاش ئۈچۈن توغرا سانلىق مەلۇمات قوللىشى بىلەن تەمىنلەيدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، لازېر بىر تەرەپ قىلىش ئۈسكۈنىلىرىدە، لازېر نۇرىنىڭ سىكانىرلاش يولىنى كونترول قىلىش ئۈچۈن يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ھەرىكەت سۇپىسىنى ئىشلىتىش كېرەك، ھاۋادا ئۈزۈپ يۈرىدىغان ھەرىكەت مودۇلىنىڭ گرانىت ئاساسى بۇ تەلەپنى قاندۇرالايدۇ، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى لازېر بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن.